公开(公告)号：CN101611470B

公开(公告)日：2012-04-18

申请号：CN200880004910.X

申请日：2008-03-04

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫 ,  白数广 ,  工藤芳彦

IPC: H01L21/027 ,  B23Q1/62 ,  G03F7/20 ,  G12B5/00 ,  H01L21/68

CPC classification number: G03F7/70758 ,  G03F7/70716 ,  G03F7/70791 ,  H01L21/682

Abstract: 本发明提高一种移动体装置、图案形成装置及图案形成方法、设备制造方法、移动体装置的制造方法以及移动体驱动方法。分体地构成基板载台(21)、支承基板载台(21)的自重的自重消除机构(27)。由此与一体地构成基板载台和自重消除机构的情况相比能够使基板载台(包括基板载台的构造体)小型化、轻型化。而且，通过X驱动机构(97X)、Y驱动机构(97Y)对X粗调载台(23X)、Y粗调载台(23Y)进行的移动，在XY平面内驱动基板载台，并且也驱动支承基板载台的自重的自重消除机构。由此，即使分体地构成基板载台和自重消除机构，也可无阻碍地驱动基板载台。

公开(公告)号：CN101512712B

公开(公告)日：2011-12-07

申请号：CN200780032265.8

申请日：2007-08-30

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 白数广 ,  青木保夫 ,  小山元夫 ,  菊池孝幸

IPC: H01J5/50 ,  H01J61/86 ,  F21V29/00 ,  H01L21/027 ,  H01J61/52 ,  H01R33/22

CPC classification number: F21V19/006 ,  G03F7/70016 ,  H01J5/56 ,  H01J61/523 ,  H01J61/822

Abstract: 本发明提供一种能够容易且短时间内进行放电灯相对于安装机构的安装等的光源装置。本发明的光源装置，具备：具有形成发光部的玻璃管(25)和与其连结的灯头部(26)的放电灯(1)；经由灯头部(26)保持放电灯(1)的安装装置(31)，其中，灯头部(26)具有与安装装置(31)的定位板(50)抵接的凸缘部(26a)；被施加将凸缘部(26a)向定位板(50)推压的推压力的固定部(26h)，安装装置(31)具有利用压缩螺旋弹簧(44A)推靠固定部(26h)的固定用臂(55A)。

公开(公告)号：CN111650818B

公开(公告)日：2024-03-15

申请号：CN202010477970.6

申请日：2016-09-29

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫 ,  原笃史 ,  下山隆司 ,  川口透 ,  岛竹克大 ,  野田伊织

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提供一种曝光装置、平面显示器的制造方法、组件制造方法、及曝光方法，其中，液晶曝光装置经由投影光学系统(16)以照明光使基板(P)曝光，其具备：保持基板(P)的基板保持具(34)、包含读头单元(60)与标尺(52、56)并根据读头单元(60)的输出取得基板保持具(34)的位置信息的基板编码器系统(50)、以及使基板保持具(34)上的读头单元(60)与标尺(52)中的一方相对于另一方相对移动的驱动部。

公开(公告)号：CN111965948B

公开(公告)日：2023-06-27

申请号：CN202010832457.4

申请日：2016-09-29

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫

IPC: G03F7/20 ,  G03F9/00 ,  H01L21/68 ,  H01L21/683

Abstract: 曝光装置的基板载台装置(20)具备：非接触保持具(32)，将基板(P)的第1区域及在Y轴方向与前述第1区域排列设置的第2区域的至少一部分区域以非接触方式支承；基板载具(40)，在X轴方向不与非接触保持具(32)重叠的位置保持被非接触保持具(32)以非接触方式支承的基板(P)；Y线性致动器(62)及Y音圈马达(64)，使基板载具(40)在Y轴方向相对非接触保持具(32)相对移动；X音圈马达(66)，使基板载具(40)在X轴方向移动；以及致动器，使非接触保持具(32)在X轴方向移动。

公开(公告)号：CN111149060B

公开(公告)日：2022-08-30

申请号：CN201780095289.1

申请日：2017-09-29

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/677

Abstract: 本发明为了缩短基板更换所耗的时间而提供一种基板搬运、曝光装置、方法、平板显示器及元件制造方法，所述基板搬运装置，其向保持装置的保持面搬运基板，且包括：第一保持部，设于所述保持面的上方，且保持所述基板的一部分与所述保持面的距离较所述基板的其他部分与所述保持面的距离更短的状态的所述基板；第二保持部，保持经所述第一保持部保持的所述基板的其他部分；以及驱动部，以所述第一保持部自所述保持装置的上方退避的方式，使所述保持装置及所述第二保持部与所述第一保持部向沿着所述保持面的方向相对移动。

公开(公告)号：CN113826048A

公开(公告)日：2021-12-21

申请号：CN202080036828.6

申请日：2020-03-12

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/677

Abstract: 为了实现装置的小型化(占用区域(footprint)的窄小化)，曝光装置(100)包括：曝光装置本体(10)；腔室(200)，收容所述曝光装置本体；基板保持部(160)，接纳并保持由所述腔室(200)外的外部搬送机器人(300)搬送而来的基板(P)，且设在所述腔室内；以及基板交接装置(140)，进行所述基板(P)从所述外部搬送机器人(300)向所述基板保持部(160)的交接、所述基板(P)从所述基板保持部(160)向所述曝光装置本体(10)所具有的保持装置(28)上的交接、所述基板(P)从所述保持装置(28)上向所述外部搬送机器人(300)的交接。

公开(公告)号：CN109557771B

公开(公告)日：2021-12-07

申请号：CN201811373746.1

申请日：2011-09-12

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫

IPC: G03F7/20 ,  G03F7/22

Abstract: 本发明涉及移动体装置、曝光装置、曝光方法、元件制造方法、平板显示器的制造方法及物体交换方法。于支承搬出对象的基板(Pa)的第1空气悬浮单元(69)的+X侧配置支承搬入对象的基板(Pa)的第2空气悬浮单元(70)，于第2空气悬浮单元(70)下方将第3空气悬浮单元(75)于θy方向倾斜配置。第1空气悬浮单元(69)配合第3空气悬浮单元(75)而于θy方向倾斜，在基板(Pa)从第1空气悬浮单元(69)上搬送至第3空气悬浮单元(75)上后，第1空气悬浮单元(69)成为水平，基板(Pa)从第2空气悬浮单元(70)上搬送至第1空气悬浮单元(69)上。亦即，对第1空气悬浮单元(69)的基板搬入路径与搬出路径相异。

公开(公告)号：CN113641082A

公开(公告)日：2021-11-12

申请号：CN202110935995.0

申请日：2017-09-29

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明的移动体装置，具备可保持基板(P)往X轴及Y轴方向移动的基板保持具(32)、可往Y轴方向移动的Y粗动载台(24)、将基板保持具(32)的位置信息通过设于基板保持具(32)的读头(74x、74y)与设于Y粗动载台(24)的标尺(72)加以取得的第1测量系统、将Y粗动载台(24)的位置信息通过设于Y粗动载台(24)的读头(80x、80y)与标尺(78)加以取得的第2测量系统、以及根据以第1及第2测量系统取得的位置信息控制基板保持具(32)的位置的控制系统，第1测量系统一边使读头(74x、74y)相对标尺(72)往X轴方向移动一边照射测量光束，第2测量系统则一边使读头(80x、80y)相对标尺(78)往Y轴方向移动一边照射测量光束。

公开(公告)号：CN113433802A

公开(公告)日：2021-09-24

申请号：CN202110729623.2

申请日：2017-09-29

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫

IPC: G03F7/20 ,  G03F7/22 ,  G01B11/00 ,  G01B11/27 ,  G01D5/38 ,  G03F9/00 ,  H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  H01L21/68

Abstract: 本发明的移动基板(P)的移动体装置，具备：保持基板(P)可往X轴及Y轴方向移动的基板保持具(32)、可往Y轴方向移动的Y粗动载台(24)、通过设在基板保持具(32)的读头(74x、74y)与设在Y粗动载台(24)的标尺(72)取得基板保持具(32)的位置信息的第1测量系统、通过设在Y粗动载台(24)的读头(80x、80y)与标尺(78)取得Y粗动载台(24)的位置信息的第2测量系统、根据以第1及第2测量系统取得的位置信息控制基板保持具(32)的位置的控制系统，第1测量系统一边使读头(74x、74y)相对标尺(72)往X轴方向移动一边照射测量光束，第2测量系统一边使读头(80x、80y)相对标尺(78)往Y轴方向移动一边照射测量光束。

公开(公告)号：CN113238461A

公开(公告)日：2021-08-10

申请号：CN202110485378.5

申请日：2017-09-29

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫

IPC: G03F7/20 ,  G03F7/22 ,  H01L21/68

Abstract: 一种液晶曝光装置，其使由非接触固定器(32)非接触地支撑的基板(P)相对于投影光学系统而相对移动，从而相对于基板(P)进行扫描曝光，所述液晶曝光装置包括：保持垫(10044)，保持位于非接触固定器(32)的上方的第1位置的基板(P)的一部分；吸附垫，保持基板(P)的其他部分；第1驱动部，于基板(P)位于第1位置并由吸附垫保持的状态下，使保持垫(10044)自基板(P)的下方朝与上下方向交叉的方向相对移动；以及第2驱动部，使保持基板(P)的第2保持部朝基板(P)非接触地支撑于非接触固定器(32)的第2位置移动；第2驱动部于扫描曝光中，使保持非接触地支撑于非接触固定器(32)的基板(P)的吸附垫相对于投影光学系统而相对移动。