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公开(公告)号：CN101634811A
公开(公告)日：2010-01-27
申请号：CN200910101947.0
申请日：2009-08-20
申请人： 浙江大学
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 本发明公开了一种用于浸没式光刻机的柔性密封和自适应回收装置。所述装置是安放在投影透镜组和硅片之间的装置，由注液回收构件和随动盘片组成，用于约束浸没液体流场边界。当液体由于硅片高速运动对随动盘片产生冲击时，随动盘片会顺着运动方向产生一定的偏移，从而缓减流场边界压力，并增多回收口数量加速回收；反之，当硅片高速运动使得流场一侧压力减小时，该侧的柔性密封盘片也会顺着运动方向产生一定的偏移，进行压力补偿，并减少回收口数量减少同侧的液体回收量。通过自适应的调整回收孔与流场接触的数量可以实现液体的自适应回收，有效地提高了回收效率并减少了回收带来的振动和噪声。
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公开(公告)号：CN101575977A
公开(公告)日：2009-11-11
申请号：CN200910099291.3
申请日：2009-06-01
申请人： 浙江大学
IPC分类号： E21D9/093 , F15B13/042
摘要： 本发明公开了一种盾构推进系统突变载荷快速响应液控直调机构。包括阀体、用于快速响应突变载荷的锥阀芯、具有导通和锁紧双重功能的滑阀芯、圆锥阀芯、球阀芯、调压弹簧。直调机构液控油直接引自液压缸工作腔，提高了推进液压系统对突变载荷的快速响应能力。由于控制液压油流动方向的滑阀芯一端具有一定锥度，使得系统在暂停推进时仍能够保持工作腔具有一定的压力，并将液压缸在原有位置处可靠锁紧。直调机构的工作全部采用液压油控制，简化了盾构推进电控系统，特别适合于盾构掘进机推进液压系统的工况需要。
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公开(公告)号：CN101550830A
公开(公告)日：2009-10-07
申请号：CN200910098625.5
申请日：2009-05-18
申请人： 浙江大学
摘要： 本发明公开了一种采用成组蓄能器控制的盾构刀盘液压节能控制系统。包括由第一电机通过第一联轴器与双向变量泵连接组成的变量泵系统，双向变量马达两端同二位三通插装阀的A、B连接和由蓄能器经二位二通阀、节流阀和二位三通插装阀的p口和第四单向阀连接组成的变量马达控制单元，定量泵通过第二联轴器和第二电机连接组成的定量泵系统。本发明主油路采用的是变量泵控制多组变量马达的控制系统，泵控马达闭式系统减少了溢流损失和节流损失，提高了系统的效率；通过成组蓄能器的设置以提高系统的速度响应，吸收油液的冲击震动，在刀盘受困时候提供备用的流量和压力能量用于脱困，减小了系统的装机功率。
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公开(公告)号：CN101503960A
公开(公告)日：2009-08-12
申请号：CN200910096408.2
申请日：2009-03-02
申请人： 浙江大学
摘要： 本发明涉及一种采用多泵组合驱动的盾构刀盘液压系统。本发明包括电机、比例变量泵、单向阀、先导溢流阀、调速阀、功率限制阀、比例溢流阀、二通插装阀、二位三通换向阀、三位四通换向阀、分油阀快、两点控制型双向变量马达。该系统中采用大排量主驱动比例变量泵组和小排量辅助驱动比例变量泵组组合驱动盾构刀盘运动，控制方式为电控比例变量。通过对比例泵组的排量控制可以实现刀盘在很宽范围连续调速。通过对两点控制型双向变量马达的排量控制，实现高低速档的切换。本发明装机功率适中，液压泵可灵活组合，正常工况下，单个液压泵的负载率高，可以提高动力源效率，增加可靠性，系统节能效果好。
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公开(公告)号：CN100520087C
公开(公告)日：2009-07-29
申请号：CN200810059078.5
申请日：2008-01-09
申请人： 浙江大学
摘要： 本发明公开了一种变转速驱动盾构刀盘节能液压控制系统。包括变转速电机、双向液压泵、单向阀、液压马达、液压锁、换向阀、溢流阀组成的主液压回路和补油回路。驱动双向液压泵的异步电动机输出转速采用变转速控制，根据刀盘切削土体所需要的转速来实时调整转速控制器输出信号改变异步电机转速，从而控制双向液压泵输出的流量，驱动液压马达输出刀盘克服负载所需要的力矩和转速。主液压回路采用闭式液压回路，通过双向液压泵直接将液压马达排油口的油液送入马达的吸油口，减小液压系统泵站的体积。设置高低两档工作压力供盾构刀盘在软土和硬岩两种不同地质条件中工作的需要。采用变转速控制，液压泵输出的流量与刀盘负载功率相匹配，节能效果明显。
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公开(公告)号：CN101408107A
公开(公告)日：2009-04-15
申请号：CN200810122369.4
申请日：2008-11-11
申请人： 浙江大学
摘要： 本发明公开了一种采用分区控制的节能型盾构推进液压系统。在每个分区中，电机与变量泵连接，变量泵的出油口分别与安全阀的进油口、比例节流阀的进油口、二位二通换向阀的油口A6和变量缸油口A3连通；变量缸油口B3与二位三通比例换向阀油口P4连通；二位三通比例换向阀油口A4分别与比例节流阀油口T7和二位二通换向阀的油口A6连通；比例节流阀的油口T7和比例溢流阀的进油口与进油管连通；在进油管和回油管中并联多组结构相同的执行部件。各分区采用单独油源，用小排量泵代替大排量泵，特别是在大型盾构掘进设备中具有明显的优势。各区既可独立控制，又能协调控制。各区液压油源只输出与本区工作压力相适应的压力油，系统更加节能。
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公开(公告)号：CN101403902A
公开(公告)日：2009-04-08
申请号：CN200810121876.6
申请日：2008-10-21
申请人： 浙江大学
IPC分类号： G05B19/048 , B60H3/00 , F24F11/02 , G08C19/00
CPC分类号： Y02B30/78
摘要： 本发明公开了一种基于遥控技术的车内空气品质实时监控系统。包括手持遥控端和汽车控制端，汽车控制端的内部模块连接关系为：汽车控制端分别与温度信号采集模块、气体浓度信号采集模块、人车位置判断模块、无线收发电路、通道选择模块、失效报警模块、压缩机驱动模块相连接。本发明采用基于遥控技术的车内空气品质实时监控系统，一改传统空气净化装置被动调节的模式，实现车内空气品质的实时监控，并能够远程遥控该系统的调节过程，达到用户与车内受污染气体零接触的效果，同时还能根据污染程度或者用户指令选择进气通道加快调节速度，该系统中的失效报警模块能够及时提醒用户更换失效净化部件，在混合动力汽车以及电动汽车上将有较大的应用空间。
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公开(公告)号：CN100439895C
公开(公告)日：2008-12-03
申请号：CN200610049177.6
申请日：2006-01-19
申请人： 浙江大学
摘要： 本发明公开了一种基于体积弹性模量定义的油液弹性模量检测装置。加载缸中的活塞杆伸入到测试腔中能作轴向移动，单向阀的进油口与加载缸的有杆腔连通，出油口与测试腔连通，压力传感器与测试腔连通，内置式位移传感器置于活塞和活塞杆中，加载缸的无杆腔和有杆腔以及测试腔分别与液压系统连通。它通过加载缸对测试腔内一定体积的油液施加压力，改变压力的大小，得到相应的油液体积的变化量。加压过程中活塞和活塞杆的摩擦力与测量结果无关，解决了加载力难以准确计算的问题。被测油液经过循环，保证测量结果能代表系统中油液的实际情况。它能实时自动检测油液的弹性模量，其检测信号可用于控制去除油液中的空气含量提高液压系统油液的弹性模量。
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公开(公告)号：CN1560482A
公开(公告)日：2005-01-05
申请号：CN200410016939.3
申请日：2004-03-12
申请人： 浙江大学
IPC分类号： F15B13/042 , E21D9/093
摘要： 本发明公开了一种采用比例流量压力复合控制的盾构掘进机液压推进系统。它包括二位二通电磁球阀、比例调速阀、比例溢流阀、三位四通电磁换向阀、液压锁、平衡阀、压力传感器及带内置式位移传感器的液压油缸。推进系统中采用比例调速阀控制推进速度，采用比例溢流阀控制推进压力，通过合适的控制策略实现推进速度和推进压力的复合控制。本发明由于采用了比例流量压力复合控制技术，可实时控制盾构推进过程中的推进速度和推进压力，从而实现在施工过程中对土仓压力、地层稳定和地表沉降的控制。采用本发明的推进系统能够使盾构适应各种复杂的地层，实现精确的姿态和方向控制，系统节能效果好。适合于大功率、大流量、变负载的应用场合。
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公开(公告)号：CN1177161C
公开(公告)日：2004-11-24
申请号：CN02145385.3
申请日：2002-11-21
申请人： 浙江大学
IPC分类号： F16K11/065 , F16K1/44 , F16K17/04
摘要： 本发明公开了一种并联阀口式溢流阀。它包括调节螺母、端盖、调节杆、调压弹簧、弹簧座、阀芯、阀座，阀芯装在阀座里，端盖通过调节杆和弹簧座将调压弹簧压在阀芯上，调节螺母安装在端盖上；在阀座的流体入口和流体出口相连接的流道上，装有能同步调节流体入口和流体出口形成相通和隔断的两个并联阀口的阀芯，在阀芯或阀座上开有阻尼孔。本发明在相同流量下，由于具有两个可同步调节的并联阀口，每一阀口处的流体流量减少，因而流体流速减小，可改善噪声和汽穴、汽蚀现象。同时，由于具有两个可同步调节的并联阀口，且流体流出阀腔的方向相反，可使阀芯上所受的液动力平衡掉一部分，改善溢流阀的静、动态性能。
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