公开(公告)号：CN101120279A

公开(公告)日：2008-02-06

申请号：CN200680000840.1

申请日：2006-08-18

申请人： 维索株式会社

发明人： 李龙求

IPC分类号： G02F1/13

CPC分类号： C03B29/025 ,  F27B17/00 ,  F27D1/1858 ,  F27D19/00 ,  G02F1/1303

摘要： 本发明涉及一种LCD玻璃烤炉系统。具体地说，本发明提供了一种LCD玻璃烤炉系统门，该门可打开地设置在该烤炉系统的烤炉室和冷却室中的每一个上。该LCD玻璃烤炉系统门包括：门框(120a、120b)，两个空气填充部(110)，这两个空气填充部分别设置在所述门框的上端部和下端部中；通气口(130)，通过该通气口向相应的所述空气填充部供应空气或者从相应的所述空气填充部排出空气；以及供排气管(140)，该供排气管连接至相应的所述通气口，以向相应的所述空气填充部供应空气或者从相应的所述空气填充部排出空气。因此，本发明可以提供这样一种LCD玻璃基板烤炉系统门及其控制装置，其可以保持LCD玻璃基板烤炉系统的密封状态并且可以减小安装所述门所需的空间，由此增加可以容纳在所述LCD玻璃基板烤炉系统中的玻璃基板的数量。

公开(公告)号：CN1283409C

公开(公告)日：2006-11-08

申请号：CN02804763.X

申请日：2002-08-09

申请人： 三星钻石工业股份有限公司

发明人： 若山治雄

IPC分类号： B23K26/36 ,  C03B29/08 ,  H01L21/304 ,  B23K101/40

CPC分类号： C03B29/025 ,  B23K26/0736 ,  B23K26/40 ,  B23K2101/40 ,  B23K2103/50 ,  C03B25/025 ,  C03C23/0025

摘要： 形成椭圆形状的第1激光点(LS1)，其一端位于玻璃基片(50)的侧边缘的预定倒角的棱边(51)上。第1激光点(LS1)的长轴相对棱边成为倾斜θ角度的状态，另一端位于棱边(51)的附近部分。第1激光点(LS1)的热能强度，在位于棱边(51)的附近部分的端部小，而在预定倒角的棱边(51)上的端部达到最大。当玻璃基片(50)在X方向移动时，玻璃基片(50)的棱边(51)的附近部分由第1激光点(LS1)预热之后，棱边(51)熔融而倒角。另外，棱边(51)熔融倒角之后，由第2激光点(LS2)加热，通过使基片退火，缓和了残留应力，可以防止微小裂缝的发生。这样，就可以不产生裂缝而可靠地倒角玻璃基片的棱边(51)。

公开(公告)号：CN1557018A

公开(公告)日：2004-12-22

申请号：CN02818626.5

申请日：2002-09-12

申请人： 东京毅力科创株式会社

发明人： 杉山智一 ,  三枝秀仁 ,  冈山信幸 ,  饭室俊一 ,  今福光祐 ,  长山将之 ,  三桥康至 ,  中山博之 ,  黄亚辉

IPC分类号： H01L21/3065

CPC分类号： C03C15/02 ,  C03B29/025 ,  C03C19/00 ,  Y02P40/57

摘要： 本发明提供一种抑制了使用初期的微粒产生和其后的碎屑产生的等离子体处理装置用石英部件的加工方法、等离子体处理装置用石英部件和安装有该石英部件的等离子体处理装置。利用例如粒度为320～400#的磨料进行表面加工，除去在进行金刚石研磨以后在用作屏蔽环和聚焦环等的等离子体处理装置用石英部件151上产生的许多裂纹155。然后，再用小粒径的磨料进行表面加工，在维持能够附着并保持堆积物的凹凸的同时，去除破碎层163。

公开(公告)号：CN104379518B

公开(公告)日：2016-10-12

申请号：CN201380028661.9

申请日：2013-05-29

申请人： 阿格拉斯有限公司

发明人： 朴在勋

IPC分类号： C03B33/02 ,  C03B35/00 ,  C03B5/235 ,  C03B5/183

CPC分类号： B65G49/061 ,  B65G49/067 ,  B65G2249/045 ,  C03B29/025 ,  Y02P40/57

摘要： 本发明涉及用于去除在薄板玻璃板的剪切边形成的细微裂纹的薄板玻璃的剪切边加工装置。本发明包括用于使玻璃板的剪切边熔融的燃烧器、用于向燃烧器供应燃烧气体的燃烧气体供应机构、用于吸附把持玻璃板并使玻璃板接近燃烧器的旋转真空吸附夹具。燃烧器包括火焰放射面、在火焰放射面形成的多个火焰放射孔。旋转真空吸附夹具包括配置得与燃烧器的火焰放射面垂直的旋转轴、固定于旋转轴的叶毂、一端固定于叶毂且在另一端上形成有吸附面的真空吸附臂。真空吸附臂设置成在旋转轴旋转时使在既定位置吸附把持的玻璃板的一面朝向燃烧器的火焰放射面。

公开(公告)号：CN103792590B

公开(公告)日：2016-09-21

申请号：CN201410033542.9

申请日：2014-01-23

申请人： 深圳市华星光电技术有限公司

发明人： 王松

IPC分类号： G01V8/12 ,  G01V9/00

CPC分类号： G01V8/12 ,  C03B29/025 ,  C03B29/08 ,  G01V9/00

摘要： 一种在高温腔体中侦测物品存在的侦测装置，用于侦测玻璃基板在高温腔体中的进出，侦测装置包括感测探针和侦测元件，感测探针装配于高温腔体的侧壁，其包括在同一直线上的固定探针和偏转探针，当玻璃基板进入高温腔体内时，玻璃基板触碰到偏转探针时，偏转探针接通侦测元件，则侦测元件发出感应信号，以表征玻璃基板进入高温腔体内。通过简单地机械结构和常规的侦测元件，就可以实时地判断玻璃基板或其他元器件是否存在于高温设备中，保障了物料侦测的实时性和准确性。

公开(公告)号：CN103466927B

公开(公告)日：2016-06-08

申请号：CN201310408421.3

申请日：2013-09-09

申请人： 深圳市华星光电技术有限公司

发明人： 孙世英

IPC分类号： C03B32/00

CPC分类号： H01L21/68742 ,  C03B29/025 ,  C03B35/24 ,  G03F7/0387 ,  G03F7/168 ,  G03F7/38 ,  G03F7/40 ,  H01L21/67109 ,  Y02P40/57

摘要： 本发明公开了一种对基板进行烤焙处理的装置及方法，该装置包括：加热基板(1)；和用于支撑待加工基板(3)的支撑件(2)，所述支撑件(2)位于加热基板(1)和待加工基板(3)之间，且所述支撑件(2)相对于加热基板(1)可移动从而调整与待加工基板(3)的接触位置。该装置能使基板受热更均匀从而提高基板的合格率。

公开(公告)号：CN102123817B

公开(公告)日：2016-04-27

申请号：CN200980131178.7

申请日：2009-06-11

申请人： 三星钻石工业股份有限公司

发明人： 熊谷一星 ,  砂田富久 ,  清水政二

IPC分类号： B23K26/50 ,  B23K26/40 ,  C03B29/02 ,  G02F1/13 ,  B23K26/082

CPC分类号： C03B29/025 ,  B23K26/082 ,  B23K26/40 ,  B23K26/50 ,  B23K2103/50 ,  G02F1/1303

摘要： 本发明提供一种可形成C面或R面等去角加工面的脆性材料基板的去角加工装置。其具备：射束偏向部(14)，是设于激光光源(13)与聚光构件(15)间的激光束的光路，使激光束的射入聚光构件的射入光路偏向以使从聚光构件射出的激光束所形成的聚光点的位置进行扫描；以及基板支撑部(2)、(7)、(11)、(12)，是将基板支撑成从边缘线EL的斜前方朝向边缘线照射激光束，以沿与边缘线交叉的面扫描边缘线附近的基板表面或基板内部；聚光构件(15)，由成为在与边缘线交叉的面形成的聚光点的扫描轨迹从聚光构件观看时成凹状或直线状的光学元件单元，来进行朝向基板外侧呈凸状的去角加工。

公开(公告)号：CN105271671A

公开(公告)日：2016-01-27

申请号：CN201510785677.5

申请日：2011-08-29

申请人： 康宁股份有限公司

发明人： F·T·科波拉 ,  M·J·马申斯基

IPC分类号： C03B32/00

CPC分类号： C03B32/00 ,  C03B23/0093 ,  C03B23/02 ,  C03B25/025 ,  C03B29/025 ,  C03B35/205 ,  C03B2225/02

摘要： 本发明涉及在熔炉内热处理多个玻璃基材的方法。该方法包括：将至少一个间隔件定位在所述多个玻璃基材的成对相邻玻璃基材之间，所述至少一个间隔件包括界定开口内部的封闭外部框部分，且其中一个或多个间隔件的热膨胀系数与所述多个玻璃基材的热膨胀系数之差小于10x10-7/℃；将所述多个玻璃基材以大致垂直定向支承在支承平台上，在所述熔炉内加热所述多个玻璃基材；冷却所述多个玻璃基材；以及其中所述多个玻璃基材冷却后的偏离平面扭曲不超过100μm。

公开(公告)号：CN104379518A

公开(公告)日：2015-02-25

申请号：CN201380028661.9

申请日：2013-05-29

申请人： 阿格拉斯有限公司

发明人： 朴在勋

IPC分类号： C03B33/02 ,  C03B35/00 ,  C03B5/235 ,  C03B5/183

CPC分类号： B65G49/061 ,  B65G49/067 ,  B65G2249/045 ,  C03B29/025 ,  Y02P40/57

摘要： 本发明涉及用于去除在薄板玻璃板的剪切边形成的细微裂纹的薄板玻璃的剪切边加工装置。本发明包括用于使玻璃板的剪切边熔融的燃烧器、用于向燃烧器供应燃烧气体的燃烧气体供应机构、用于吸附把持玻璃板并使玻璃板接近燃烧器的旋转真空吸附夹具。燃烧器包括火焰放射面、在火焰放射面形成的多个火焰放射孔。旋转真空吸附夹具包括配置得与燃烧器的火焰放射面垂直的旋转轴、固定于旋转轴的叶毂、一端固定于叶毂且在另一端上形成有吸附面的真空吸附臂。真空吸附臂设置成在旋转轴旋转时使在既定位置吸附把持的玻璃板的一面朝向燃烧器的火焰放射面。

公开(公告)号：CN102971110A

公开(公告)日：2013-03-13

申请号：CN201180032807.8

申请日：2011-06-24

申请人： 第一太阳能有限公司

发明人： 丹尼尔·布加德 ,  约书亚·康利 ,  杰姆斯·欣克尔 ,  史蒂芬·墨菲 ,  托马斯·杜鲁门

IPC分类号： B23K26/40 ,  B65G49/06 ,  C03B25/02 ,  C03B29/02 ,  C03B35/18 ,  H01L31/18

CPC分类号： H01L31/1864 ,  B23K26/361 ,  B23K26/362 ,  B23K26/40 ,  B23K2103/50 ,  B24B1/00 ,  B24B9/10 ,  B65G49/068 ,  B65G49/069 ,  C03B25/025 ,  C03B29/025 ,  C03B35/181 ,  H01L31/03921 ,  H01L31/1876 ,  Y02E10/50 ,  Y02P40/57 ,  Y02P70/521

摘要： 一种用于处理有涂覆层的玻璃基底的方法可包括高温活化工艺。