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公开(公告)号：CN1274839A
公开(公告)日：2000-11-29
申请号：CN00106255.7
申请日：2000-05-19
申请人： 松下电器产业株式会社
CPC分类号： G01M11/0271 , G01M11/0228
摘要： 透镜的评价方法包括,(a)衍射从透镜射出的光,让不同次数的2个衍射光(例如0次衍射光31和+1次衍射光32)干涉获得共用干涉象50的工序、(b)改变衍射光的相位工序、(c)在共用干涉象中,通过连接2个衍射光的光轴的线段的中点的测线上的多个测点求出光强度变化的相位的工序、(d)以相位为基础求出透镜的特性(散焦量、慧形象差、象散、高阶象差)的工序。
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公开(公告)号：CN1244657A
公开(公告)日：2000-02-16
申请号：CN99111149.4
申请日：1999-07-27
申请人： 松下电器产业株式会社
IPC分类号： G01M11/02
CPC分类号： G01M11/0271
摘要： 一种测定与诸如DVD的光学系统一起使用的光学元件如光学头象差的方法。在此方法中,光束透过光学元件并衍射成如0,±1,±2级衍射光。其中,第一和第二光束(如0和+1,0和－1,+1和－1,或0或±1级衍射光)叠加形成第一和第二光束共有的一个图象。然后测得在共有图象中第一和第二点处的光强度。此时,使第一和第二点处的光强变化。之后测得第一和第二点之间光强的相位差。利用相位差判定光学元件的象差。
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公开(公告)号：CN85106007B
公开(公告)日：1988-03-02
申请号：CN85106007
申请日：1985-08-06
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
CPC分类号： G01M11/0271 , G01J9/02 , G01J2009/0261 , G01M11/005
摘要： 偏振条纹扫描数字干涉仪是用于光学检验的仪器，它利用起编器、偏振小孔、菲涅尔相板组成的位相偏振编码器将被测的位相分布φ（Ｘ、Ｙ）编码为不同偏振角分布φ（Ｘ、Ｙ）／２，通过旋转检编器进行条纹扫描，其干涉图由电视摄像机接收，送入微机进行数据处理。发明提供了测量透镜、球面和平面等光学元件的实用的偏振条纹扫描数字干涉仪。该发明的特点是结构简单，操作方便，在一般环境条件下工作，可获得高精密的测量。
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公开(公告)号：CN104903678B
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：CN201380062841.9
申请日：2013-11-22
申请人： QED技术国际股份有限公司
CPC分类号： G01M11/005 , G01M11/025 , G01M11/0271
摘要： 一种用于测量非球面光学表面的仪器，包括：光学波前传感器和单点光学轮廓测定仪这两者。所述光学波前传感器测量在非球面测试表面的一个或者多个区上的表面高度变化。所述单点轮廓测定仪测量沿着所述非球面测试表面上的一条或者多条轨迹的表面高度变化。至少一条所述轨迹与至少一个所述区相交，并且，通过使所述区和轨迹之间的名义上的重合点之间的差值最小化，将用于所述轨迹和区的各自的空间参照系彼此相对地适配。
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公开(公告)号：CN104662402B
公开(公告)日：2018-10-02
申请号：CN201380050456.2
申请日：2013-09-26
申请人： 诺华股份有限公司
IPC分类号： G01M11/02
CPC分类号： G01M11/0228 , B29D11/00259 , B29D11/0098 , G01M11/0207 , G01M11/0235 , G01M11/0271
摘要： 一种用于眼透镜(5)的屈光力的自动化线内确定的方法，所述方法包含下列步骤：提供包含具有凹内表面(210)的光学透明底部(21)和包含浸入液体中的所述眼透镜(5)的检查池，并且提供光源(42)和包含检测器的波前传感器(6)。所述光来自所述光源(42)并且已经通过包含在所述检查池中的所述眼透镜(5)，并且在所述检测器上撞击而产生在所述检测器处的信号。通过将在所述检测器处产生的所述信号与表示参考屈光力的预定的信号进行对比，从而确定所述眼透镜(5)的所述屈光力。
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公开(公告)号：CN104169704B
公开(公告)日：2018-04-24
申请号：CN201380013373.6
申请日：2013-03-08
申请人： 依视路国际集团(光学总公司)
发明人： 斯泰凡·古厄 , 尼库拉斯·拉维隆尼厄 , 法比恩·穆拉多雷 , 阿斯马·拉克豪埃
CPC分类号： G01M11/025 , G01B11/24 , G01M11/0264 , G01M11/0271
摘要： 本发明的主题是一种用于测量光学组件的几何或光学结构的方法和系统。具体地，本发明涉及一种用于测量由一个第一侧面(10)和一个第二侧面(20)所界定的组件的几何结构的方法，所述方法包括以下步骤：(S1)测量一个第一信号(MS1)，该第一信号是由至少所述第一侧面(10)对一个第一探测信号(PS1)进行的一次第一转化所产生的；(S2)测量一个第二信号(MS2)，该第二信号是由至少所述第二侧面(20)对一个第二探测信号(PS2)进行的一次第二转化所产生的；(S3)确定一次第三转换，该第三转换使得可以将与对该第一信号(MS1)的测量相关联的一个第一坐标系(R1)转换成与对该第二信号(MS2)的测量相关联的一个第二坐标系(R2)；(S10)使用该第一信号(MS1)、所述第一模拟和一个对该估计与该第一信号(MS1)之间的差别进行量化的第一代价标准对所述第一侧面(10)进行估计；以及(S20)使用该第二信号(MS2)、所述第二模拟、所述第三转换和一个对该估计和该第二信号(MS2)之间的差异进行量化的第二代价标准对所述第二侧面(20)进行估计。
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公开(公告)号：CN105424325B
公开(公告)日：2018-03-20
申请号：CN201510982270.1
申请日：2015-12-24
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G01M11/02
CPC分类号： G01M11/0271 , G01J9/0215 , G01J2009/0223 , G01J2009/0226 , G01J2009/0265 , G03F7/706
摘要： 一种点衍射干涉波像差测量仪及光学系统波像差的检测方法,所述的点衍射干涉波像差测量仪由光源、分光器、第一光强与偏振态调节器、相移器、第二光强与偏振态调节器、理想波前发生单元、物方精密调节台、被测光学系统、像方波前检测单元、像方精密调节台和数据处理单元组成，特点在于理想波前发生单元的第一输出端和第二输出端之间的中心距离小于被测光学系统的等晕区的直径，大于被测光学系统像点弥散斑的直径除以被测光学系统的放大倍数。本发明测量仪具有检测步骤简单、测量过程具有平均效果、可实现完整数值孔径的系统误差标定和消除等优点。
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公开(公告)号：CN104685317B
公开(公告)日：2017-12-22
申请号：CN201380051045.5
申请日：2013-09-27
申请人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司
发明人： J.赫茨勒
CPC分类号： G01B11/2441 , G01B9/02028 , G01B9/02039 , G01B9/02057 , G01B9/02072 , G01M11/005 , G01M11/0271 , G02B5/1871 , G02B5/32 , Y10T29/49771
摘要： 提供了一种衍射光学元件(50)，具有基板(52)和布置在其上的衍射结构图案(54)。所述衍射结构图案构造为将辐射至其上的平面或球面输入波(42)转换为：1)至少四个分离的输出波，其中，所述输出波中的至少一个是非球面波，所述输出波中的至少另外一个是球面波(58；70)，所述输出波中的至少另外两个分别是平面波(60)或球面波(72，74)；2)至少三个分离波，其中的至少一个是非球面波，另外两个是球面或平面波；3)至少三个球面波。衍射光学元件用在干涉测量方法和装置中，用于确定光学元件的光学表面的实际形状与预期形状的偏离。光学元件制造成具有光学表面，用上述方法和装置测量的光学表面与预期形状的偏离位于预定水平之下。
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公开(公告)号：CN106596057A
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201611029649.1
申请日：2016-11-14
申请人： 北京空间机电研究所
CPC分类号： G01M11/0271 , G01B11/2441
摘要： 本发明涉及一种大口径反射镜组件的面形检验方法，属于光学精密测量技术领域。反射镜组件中的反射镜镜面朝上，用干涉仪测量反射镜组件中反射镜的面形数据W0(m×n)，反射镜组件中的反射镜镜面朝下，用干涉仪测量反射镜组件中反射镜的面形数据W180(i×j)；将W0(m×n)和步W180(i×j)进行面形数据矩阵归一化处理，得到F0(a×b)＝Wa×b+G0(a×b)+Ka×b和F180(a×b)＝Wa×b+G180(a×b)+Ka×b，将归一化处理后的面形数据F0(a×b)和F180(a×b)进行图像叠加，消除重力变形，得到反射镜零重力面形数据F＝(F0(a×b)+F180(a×b))/2＝Wa×b+Ka×b，如果F与Wa×b的差值Ka×b的均方根值不大于0.003λ(λ＝632.8nm)，认为反射镜组件的装配符合要求，如果F与Wa×b的差值Ka×b的均方根值大于0.003λ，认为反射镜组件的装配不符合要求，需重新对反射镜组件重新进行装配。
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公开(公告)号：CN106404354A
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201610886907.1
申请日：2016-10-11
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC分类号： G01M11/02
CPC分类号： G01M11/0271
摘要： 本发明提供了一种非球面补偿器透射波前方程的测量装置和方法，测量装置包括移相干涉仪、测距干涉仪和参考球面组件，非球面补偿器置于移相干涉仪和参考球面组件之间，且三者同轴设置，参考球面组件沿光轴方向移动，参考球面组件与非球面补偿器形成环形面形图，测量参考所述球面组件的相对位移，利用环形面形图和相对位移计算非球面补偿器透射波前方程。本发明可实现对非球面补偿器透射波前进行测量，从而在进行非球面加工之前确保非球面补偿器正确无误，避免非球面补偿器加工错误对最终光学系统造成严重影响；测量方法的测量精度高，测量装置成本低，便于操作。
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