一种硅烷热分解生产纳米级高纯硅粉的装置及方法

    公开(公告)号:CN103936009A

    公开(公告)日:2014-07-23

    申请号:CN201410159327.3

    申请日:2014-04-21

    IPC分类号: C01B33/027

    摘要: 本发明公开了一种硅烷热分解生产纳米级高纯硅粉的装置及方法。包括硅烷热分解系统、硅粉过滤收集系统及尾气回收处理系统,所述的硅烷分解系统包括反应气硅烷管线、反应气氢气管线、配比缓冲罐、硅烷管式反应器、尾气冷却器,硅粉过滤收集系统包括氢气反吹过滤器管线、一级硅粉过滤器、二级硅粉过滤器、一级硅粉收集仓、二级硅粉收集仓、真空泵、一级硅粉出口管线、二级硅粉出口管线,尾气回收处理系统包括尾气深冷器、压缩机、吸附塔、气液分离罐、气液分离罐液态硅烷出口管线、气液分离罐氢气出口管线。本发明适用于工业纳米级高纯硅粉的生产,可有效收集粒径为30nm以上的硅粉,尾气全部回收使用,无污染排放,具有投资少、成本低等优势。

    一种针尖型硅纳米线的制备方法

    公开(公告)号:CN103787335A

    公开(公告)日:2014-05-14

    申请号:CN201410023476.7

    申请日:2014-01-17

    摘要: 本发明提供一种针尖型硅纳米线的制备方法,在清洗干净的衬底上沉积5-10nm厚的Au薄膜;将沉积Au膜的衬底转移到PECVD反应腔体里,30min内升温至800℃退火40min;通入40sccm的硅烷,维持反应压力32pa并起辉反应;而后在600-800℃持续反应1h,衬底溅射沉积的Au膜退火后会形成硅金合金液滴,并作为针尖型纳米线生长的催化剂,当气相中的硅源在合金液滴中达到饱和后,硅纳米线会逐渐析出生长,由于合金液滴中金的扩散会导致其体积逐渐缩小,因此,催化生长的纳米线直径沿长度方向减小而成为针尖状,本发明过程简单,便于大面积生长,所制备的针尖型硅纳米线能广泛应用于SERS等领域。

    一种用于在反应器中生产多晶硅产品的方法及系统

    公开(公告)号:CN103553047A

    公开(公告)日:2014-02-05

    申请号:CN201310544194.7

    申请日:2013-11-06

    IPC分类号: C01B33/03 C01B33/027 B01J8/24

    摘要: 本发明涉及一种用于在反应器中生产多晶硅产品的方法,该反应器包括反应室和用于将气体均匀地分布到反应室中的气体分布单元,所述反应室包括至少一个反应室壁,其特征在于,所述方法包括:将第一气体经由所述气体分布单元的第一层进气口进给并输送至反应室;将第二气体经由所述气体分布单元的第二层进气口进给并输送至反应室;将第三气体经由所述气体分布单元的第三层进气口进给并输送至反应室;及,使硅粒子在反应室中与可热分解的硅化合物接触,以使硅沉积到硅粒子上并增加粒度。本发明在不影响流化床内反应空间的情况下能够降低反应器壁的硅沉积量,提高反应效率,降低制造成本。

    含有多台多晶硅分解炉的生产装置及操作方法

    公开(公告)号:CN103508457A

    公开(公告)日:2014-01-15

    申请号:CN201310467589.1

    申请日:2013-09-30

    申请人: 天津大学

    IPC分类号: C01B33/027

    摘要: 本发明提出一种含有多台多晶硅分解炉的生产装置及操作方法。生产装置,包含2台及2台以上的多晶硅分解炉、两套自动控制系统以及若干条物料管道;各台多晶硅还原炉的进料管线分别连接在总进料管线上,且将每台多晶硅分解炉的出料管线分别作为下一台多晶硅分解炉的第二条进料管线。各台分解炉的出料管线通过自动控制系统与尾气回收管线和下一台分解炉的第二条进料管线进行切换连接;两台分解炉之间设有自动控制系统。传统的多晶硅分解炉工艺采用单炉工作,达到一定产量所需时间较长。本发明由于采用大气量的原料进气,提高了总反应速率,增加了产量。降低了多晶硅生产的能耗,提高了工艺的安全性。

    多晶硅硅烷分解炉之导热油硅芯夹套式小钟罩

    公开(公告)号:CN102320603B

    公开(公告)日:2013-01-23

    申请号:CN201110247520.9

    申请日:2011-08-26

    IPC分类号: C01B33/027

    摘要: 本发明涉及一种多晶硅硅烷分解炉之导热油硅芯夹套式小钟罩,包括套筒外管(1)、套筒内管(2)、套筒封盖(3)、硅烷导气管(4)、导热油入口管(9)、导热油出口管(11)、中心管(5)、套筒夹层导热油管(6)、支撑板(7)和硅烷进气管(10),套筒外管(1)与其对应的套筒内管(2)同轴设置,分别组成第一套筒、第二套筒、第三套筒和第四套筒,硅烷导气管(4)将中心管(5)与所述四件套筒的夹层相连通,在中心管(5)中安装的导热油入口管(9)一端与第一套筒的夹层连通,第一套筒的夹层与第二套筒的夹层和第三套筒的夹层之间通过套筒夹层导热油管(6)连通;同理,第二套筒的夹层和第三套筒的夹层与第四套筒的夹层通过套筒夹层导热油管(6)连通。本发明控制硅棒表面温度效果好。

    一种用于多晶硅分解炉的导热油硅芯夹套装置

    公开(公告)号:CN101830466B

    公开(公告)日:2012-03-21

    申请号:CN201010123332.0

    申请日:2010-03-11

    IPC分类号: C01B33/027

    摘要: 本发明公开了一种用于多晶硅分解炉的导热油硅芯夹套装置,其包括立管及第一硅芯套筒和第二硅芯套筒,第一硅芯套筒与第二硅芯套筒之间则通过连通管相连通,立管与第一硅芯套筒和第二硅芯套筒之间则通过导管相连通,这样使得使用带有该导热油硅芯夹套装置的多晶硅分解炉时硅烷和氢气的混合气体通过硅烷气体进气管进入立管,再通过导管均匀分散到各个第一硅芯套筒和第二硅芯套筒内,混合气体在高温通电的硅芯上分解,生成棒状多晶硅产品,本发明通过硅芯套筒内的热油,达到控制硅芯套筒内的温度的目的,使绝大多数硅烷在硅芯表面上分解,从而达到控制多晶硅生长速度的目的,大大减少了多晶硅颗粒的形成,提高了生产效率,降低了生产能耗和生产成本。

    制造固体产物的方法和设备

    公开(公告)号:CN101264889B

    公开(公告)日:2012-01-04

    申请号:CN200810082298.X

    申请日:2008-03-10

    申请人: JNC株式会社

    IPC分类号: C01B33/027

    摘要: 本发明提供通过使用具有多个组分的气态原料的反应来制造固体产物的方法和制造设备,其中所制造的固体产物未被含由反应产生的副产物气体和未反应的气态原料的废气污染,可达成较高纯度,且可从反应器中连续取出制造的固体产物。本发明提供的制造方法和制造设备,所述方法包含使用安置在垂直方向上的反应器进行反应的步骤;从反应器的上部馈送具有多个组分的气态原料的步骤;在反应器的下部中形成由具有高密度的气体组成且从反应器的下部连续馈送的气体层的步骤;从所形成的密封气体层的上部中的某处排出含有由反应所产生的副产物气体和未反应的气态原料的废气的步骤;以及将固体产物接收在下部的密封气体层中的步骤。