生产高纯硅的方法和反应器

    公开(公告)号:CN101679043A

    公开(公告)日:2010-03-24

    申请号:CN200880015536.3

    申请日:2008-03-14

    IPC分类号: C01B33/033

    CPC分类号: C01B33/033 C01G9/04 C25C3/34

    摘要: 本发明涉及通过用熔融的Zn金属还原SiCl 4 生产高纯硅的方法和设备。该方法的特征在于与溶解ZnCl 2 的熔融盐接触发生所述还原反应。所述还原反应过程中产生的ZnCl 2 然后溶解在所述熔融盐中而不是蒸发。其优势在于在所述还原反应过程中的气体逸出最小化,导致更高的SiCl 4 和Zn利用率,并且从而导致更高的Si收率。另一个优势在于所述熔融盐有效地保护了空气敏感物料Zn、SiCl 4 和Si在还原反应过程中免于氧化。得到的含有ZnCl 2 的熔融盐可以用于ZnCl 2 的电解以再次产生所述Zn金属。所述电解过程中释放的氯气可以用来产生SiCl 4 。

    高纯度硅的制造方法
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101208267A

    公开(公告)日:2008-06-25

    申请号:CN200680023138.7

    申请日:2006-06-28

    IPC分类号: C01B33/033

    CPC分类号: C01B33/033

    摘要: 本发明提供一种高纯度硅的制造方法。高纯度的硅的制造方法是将下式(1)所示的卤化硅用铝还原制造硅的方法,作为还原剂使用的铝的纯度为99.9重量%以上。SiHnX4-n(1)(式中,n是0~3的整数,X是选自F、Cl、Br、I的1种或2种以上的卤原子。这里,铝的纯度是由100重量%减去铝中含有的铁、铜、镓、钛、镍、钠、镁和锌的总重量%得到的)。

    高纯度多晶硅的制造装置及制造方法

    公开(公告)号:CN101311113B

    公开(公告)日:2013-01-09

    申请号:CN200810084016.X

    申请日:2008-03-18

    申请人: JNC株式会社

    发明人: 并木伸明

    CPC分类号: C01B33/033

    摘要: 一种高纯度多晶硅的制造装置,包括:氯化硅的气化装置;锌熔融蒸发装置;外周面具备加热机构的立式反应器;连接在氯化硅的气化装置和立式反应器间的氯化硅气体供给喷嘴,将氯化硅的气化装置提供的氯化硅气体供应到立式反应器;连接在锌熔融蒸发装置和立式反应器间的锌气体供给喷嘴,将锌熔融蒸发装置提供的锌气体供应到立式反应器;及与立式反应器相连的排气抽出管。锌熔融蒸发装置包括蒸发器;与蒸发器上部相连的主纵筒部;插入主纵筒部内部的固态物分离管;与固态物分离管倾斜相连的锌导入用管;围绕固态物分离管的下端开口部且构成其底面的密封罐;安装在主纵筒部外周面且可调节温度的感应加热装置;及与蒸发器的侧壁相连的气体排放用管。

    多晶硅的制造方法
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102741166A

    公开(公告)日:2012-10-17

    申请号:CN201080062049.X

    申请日:2010-12-07

    IPC分类号: C01B33/033 C01B33/107

    摘要: 本发明涉及一种多晶硅的制造方法,其特征在于,其包括:获得低纯度四氯化硅的四氯化硅制造工序;四氯化硅蒸馏工序;获得多晶硅的多晶硅制造工序;将该排气中的成分分离为氯化锌和未反应锌的混合物、未反应四氯化硅的第1分离工序;以及,将该氯化锌和未反应锌的混合物电解,获得锌和氯气的电解工序,将该第一分离工序中分离的该未反应四氯化硅输送到该四氯化硅蒸馏工序,与该低纯度四氯化硅一起蒸馏,将该电解工序中获得的氯气用作在该四氯化硅制造工序中反应的氯气,将该电解工序中获得的锌用作在该多晶硅制造工序中反应的锌。根据本发明,可以提供制造成本低、运转管理和装置管理简便的多晶硅的制造方法。