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公开(公告)号：CN108468032B
公开(公告)日：2020-08-18
申请号：CN201810326643.3
申请日：2018-04-12
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种塑性提升的纳米晶薄膜制备方法，包括：采用磁控溅射法，在纳米晶中引入非晶层，形成纳米晶/非晶层交替的多层结构，获得塑性提升的纳米晶薄膜。本发明采用磁控溅射，在基底上交替沉积纳米晶和较薄的非晶，形成多层结构薄膜，其制备出的纳米晶薄膜在具有高强度的同时，兼具了更好的塑性，力学性能更加优异；薄膜结构致密，界面清晰，可以很容易实现单层厚度尺寸的调控，为纳米晶薄膜塑性的提升提供了新的方法。
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公开(公告)号：CN106483169B
公开(公告)日：2019-04-12
申请号：CN201610829211.5
申请日：2016-09-18
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01N27/12
Abstract: 本发明公开了一种高灵敏度气体传感器用纳米CeO2/石墨烯复合材料的制备方法。该方法控制乙二醇与去离子水的体积比为1:1，采用一步水热法，制备暴露晶面为(100)活性晶面、立方形态CeO2纳米颗粒与石墨烯的复合结构。该方法充分发挥活性晶面和异质结两者的协同作用，从材料和结构两方面提高对NO2气体的灵敏度。本发明的技术思路简单清晰，能在常温下显著提高对NO2气体的灵敏度，实现气体的快速检测。
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公开(公告)号：CN105441890A
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201510974804.6
申请日：2015-12-22
Applicant: 西安交通大学
CPC classification number: C23C14/35 , C23C14/0688 , C23C14/3407
Abstract: 一种高温低摩擦系数硬质涂层及其制备方法，采用反应磁控溅射技术阴极溅射金属Mo和B4C复合靶，并与真空室中Ar和N2混合气体中的N2气反应，在基底表面形成了获得了C、B元素含量适当的Mo-B-C-N四元硬质涂层，即高温低摩擦系数硬质涂层，通过调节复合靶中B4C的面积，使得该涂层中B和C的含量容易控制。该涂层中C、B、Mo、N元素的原子百分比分别为2～12％、0.5～8％、55～42％、44～38％。该方法工艺简单，易于实施。本发明制得的高温低摩擦系数硬质涂层克服了现有硬质镀层性能的不足，兼备硬度高、耐磨和高温低摩擦系数的特点，使其在高速切削工具上具有良好的推广应用前景。
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公开(公告)号：CN103215555A
公开(公告)日：2013-07-24
申请号：CN201310126019.6
申请日：2013-04-11
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种采用共溅射法制备非晶-纳米晶复合膜的方法，其是在基体上通过双靶磁控溅射同时沉积非晶相和纳米晶相制备成非晶相和晶体相共存的混合物薄膜。本发明制备的非晶共溅射膜具有更高蠕变应变速率敏感值，力学性能更为优异，塑性变形更加均匀。该方法以一种更加简单、可行性更强的方法成功制备出了非晶相和纳米晶相均匀共存的非晶混合物薄膜。该薄膜可在微机电系统（MEMS）、甚至纳机电系统（NEMS）器件等各类精密仪器的保护涂层和功能涂层等方面得到广泛应用。
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公开(公告)号：CN101444638B
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN200810236529.8
申请日：2008-12-30
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种可降解掺锶双相磷酸钙生物活性骨水泥的制备工艺。本制备工艺采取水泥固相为一定颗粒度分布且按一定摩尔比配制的Ca4(PO4)2O与β-SrxCa3-x(PO4)混合粉末，液相为去离子水或浓度低于2.0mol/l的稀磷酸溶液，参与反应的固相与液相之间的质量比为0.1～4.0。生理环境下的最终固化产物为掺锶羟基磷灰石和剩余的β-磷酸三钙锶。该骨水泥具有较高力学性能、合适凝结时间、产物相成分可变、掺锶量与钙锶/磷比可调、降解速率可控等优势，较之传统磷酸钙骨水泥及其它类型掺锶磷酸钙骨水泥具有更广阔临床应用前景。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102779845A
公开(公告)日：2012-11-14
申请号：CN201210210606.9
申请日：2012-06-25
Applicant: 西安交通大学
IPC: H01L29/51 , H01L29/423 , H01L21/285
Abstract: 本发明提供一种叠层金属氧化物栅介质层及其制备方法。本发明采用原位原子层沉积技术，工艺过程简单，易于实现，其具体步骤为，先将半导体沉底清洗干净，放置于原子层沉积系统反应腔内；用原子层沉积方法沉积1nm厚的Al2O3界面层；之后，继续沉积一定厚度的高K薄膜；在沉积的高K薄膜之上继续沉积0.5nm厚的Al2O3界面层；而后，继续沉积一层高K薄膜。底层的Al2O3用于提高高K薄膜与半导体衬底间的带偏移，从而降低漏电流，并且有阻挡氧扩散的作用。而上层Al2O3界面层用于切断通过高K薄膜内部晶界的氧扩散及漏电流通道，从而进一步降低漏电流和提高界面稳定性。
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公开(公告)号：CN102437145A
公开(公告)日：2012-05-02
申请号：CN201110402808.9
申请日：2011-12-06
Applicant: 西安交通大学
IPC: H01L23/532 , H01L21/768
Abstract: 本发明提供了一种自形成梯度Zr/ZrN双层扩散阻挡层及其制备方法，扩散阻挡层包括衬底、沉积在衬底上并作为种子层和自析层的Cu(Zr)合金薄膜、植入于衬底和Cu(Zr)合金薄膜之间并作为预阻挡的纳米晶ZrN，以及沉积在Cu(Zr)合金薄膜上层的纯铜互联线。本发明自形成的双层阻挡层连续均匀致密，厚度可控制在几纳米内，且具有低的电阻、高的热稳定性和良好的粘附性，满足超大规模集成电路对Cu互连扩散阻挡层的性能要求。
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公开(公告)号：CN101748372B
公开(公告)日：2011-11-16
申请号：CN200910219558.8
申请日：2009-12-18
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种通过磁控溅射技术制备不同晶粒尺寸金属纳米多层膜的方法。本发明的Cu/Ta纳米多层膜由Cu层和Ta层交替组成，两层厚度之比为1∶1，调制波长为5-140nm，总厚度为1μm。其中Cu层晶粒尺寸与膜层厚度相当；Ta层晶粒尺寸约为膜厚的1/4。Cu层和Ta层具有明显晶粒尺寸差异。本发明所述的Cu/Ta纳米多层膜硬度，比传统多层膜材料增加了35％；拉伸延展性也超过了5％，远高于传统多层膜材料。本发明所述的Cu/Ta纳米多层膜在硬度和塑性上达到力学性能最优化。本发明制备的不同晶粒尺寸金属纳米多层膜可在超大规模集成电路器件、各类精密仪器的保护涂层和功能涂层等方面得到广泛应用。
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公开(公告)号：CN101053673B
公开(公告)日：2010-11-10
申请号：CN200710017716.2
申请日：2007-04-20
Applicant: 西安交通大学
IPC: A61L27/12
Abstract: 本发明公开了一种适合人体承力骨缺损的修复或强化固定的高强韧可降解磷酸锶钙复合骨水泥及其制备方法。采取的骨水泥固相原料为高结晶性Ca4(PO4)2O陶瓷、SrHPO4、CaHPO4混合粉末，固化液为稀磷酸水溶液，添加的增韧单元为高抗拉强度的生物相容性可降解高分子纤维，选自乳酸-羟基乙酸共聚物纤维、聚乳酸纤维或聚乙醇酸纤维或者其他可吸收手术缝合线，增强单元为固化反应后Ca4(PO4)2O剩余陶瓷颗粒。该制备方法融合了陶瓷颗粒原位增强、可降解纤维初期增韧与后期降解、锶改性等多种技术，在类生理环境下获得一种新型的高强韧可降解磷酸锶钙复合骨水泥。该材料具有良好的生物相容性、生物活性、骨传导性与降解性能。
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公开(公告)号：CN101748372A
公开(公告)日：2010-06-23
申请号：CN200910219558.8
申请日：2009-12-18
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种通过磁控溅射技术制备不同晶粒尺寸金属纳米多层膜的方法。本发明的Cu/Ta纳米多层膜由Cu层和Ta层交替组成，两层厚度之比为1∶1，调制波长为5-140nm，总厚度为1μm。其中Cu层晶粒尺寸与膜层厚度相当；Ta层晶粒尺寸约为膜厚的1/4。Cu层和Ta层具有明显晶粒尺寸差异。本发明所述的Cu/Ta纳米多层膜硬度，比传统多层膜材料增加了35％；拉伸延展性也超过了5％，远高于传统多层膜材料。本发明所述的Cu/Ta纳米多层膜在硬度和塑性上达到力学性能最优化。本发明制备的不同晶粒尺寸金属纳米多层膜可在超大规模集成电路器件、各类精密仪器的保护涂层和功能涂层等方面得到广泛应用。
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