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公开(公告)号：CN108291031B
公开(公告)日：2021-06-15
申请号：CN201680069004.2
申请日：2016-11-17
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 提供具有下述通式(1)所示的构成单元的聚金属氧烷，且在溶液中透明、在均一的状态下稳定地存在、能形成均质的固化膜的聚金属氧烷。[化1](R1为有机基，R1的至少一个为(R33SiO−)基。R3任选自特定的基团。R2任选自特定的基团。R1、R2和R3存在多个时，可以各自相同，也可以不同。M表示特定的金属原子。m为表示金属原子M的价数的整数,a为1〜(m−2)的整数。)。
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公开(公告)号：CN112368641A
公开(公告)日：2021-02-12
申请号：CN201980044700.1
申请日：2019-08-05
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 本发明的课题在于提供下述感光性树脂组合物，所述感光性树脂组合物具有良好的图案加工性，且将其于低温进行固化而得到的固化膜具有高耐化学药品性、高弹性、高伸长率特性及与金属(特别是铜)的高密合性。本发明为感光性树脂组合物，其含有：(A)树脂，其为选自由环氧树脂、聚酰亚胺、聚酰亚胺前体、聚苯并噁唑、聚苯并噁唑前体及聚硅氧烷组成的组中的任1种以上；(B)热产碱剂；及(C)感光剂，该(B)热产碱剂含有胍衍生物或双胍衍生物中的任1种以上，该(C)感光剂含有(c‑1)光产酸剂及/或(c‑2)光自由基聚合引发剂。
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公开(公告)号：CN112368336A
公开(公告)日：2021-02-12
申请号：CN201980040304.1
申请日：2019-08-22
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 提供低折射率、耐热性、耐化学药品性、涂布性优异、并且图案加工性优异的树脂组合物。树脂组合物，其特征在于，含有(A)聚硅氧烷、(B)溶剂，前述(A)聚硅氧烷包含特定的通式(1)～(3)中任一者所示的结构及特定的下述通式(4)或(5)中任一者所示的结构。
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公开(公告)号：CN111919173A
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN201980022025.2
申请日：2019-03-27
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 本发明提供光透过性高、高耐热、图案加工性优异的正型感光性树脂组合物。本发明的正型感光性树脂组合物含有聚硅氧烷(A)、萘醌二叠氮化合物(B)及溶剂(C)，上述聚硅氧烷(A)包含选自下述通式(1)～(3)中的1种以上的结构、且包含选自下述通式(4)～(6)中的1种以上的结构。[化学式1](通式(1)～(3)中，R4为碳原子数为2～6的具有不饱和双键的烃基，R1表示单键、或碳原子数为1～4的亚烷基，式(2)的R2表示氢、或碳原子数为1～4的烷基。通式(3)中，R3表示有机基团。)[化学式2] (通式(5)中，R2为氢、或碳原子数为1～4的烷基。通式(6)中，R3表示有机基团)。
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公开(公告)号：CN110419000A
公开(公告)日：2019-11-05
申请号：CN201880017542.6
申请日：2018-02-27
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 本发明的课题是提供能够低温固化，保存稳定性和分辨率优异，能够抑制显影残渣，可以获得硬度高，耐化学品性、基板密合性优异的固化膜的感光性硅氧烷树脂组合物。本发明是一种感光性硅氧烷树脂组合物，其含有：(A)聚硅氧烷、(B)光自由基聚合引发剂、(C)多官能单体和(D)磷酸衍生物胺盐。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109564386A
公开(公告)日：2019-04-02
申请号：CN201780050949.4
申请日：2017-08-22
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 本发明的目的在于提供一种即使在厚膜中也能形成微细图案的感光性糊剂。本发明是一种感光性糊剂，其含有无机粉末(A)、碱溶性树脂(B)、选自具有下述通式(1)或(2)所示的结构的化合物中的至少1种反应性化合物(C)、感光剂(D)以及溶剂(E)。(通式(1)中，R1、R2、R3各自独立地表示氢或1价有机基团。R1和R2可相互连接。)(通式(2)中，R4、R5、R6各自独立地表示氢或1价有机基团。其中，R4、R5、R6中的至少一者中具有自由基聚合性基团。)
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公开(公告)号：CN105408986B
公开(公告)日：2018-05-22
申请号：CN201380078563.6
申请日：2013-08-02
Applicant: 东丽株式会社
IPC: H01L21/22 , H01L21/225 , C09D183/04 , C08K3/36
CPC classification number: H01L21/2254 , C08K3/36 , C09D183/04 , H01L21/2225
Abstract: 本发明涉及一种掩模糊料组合物，其特征在于，含有：(a)特定的聚硅氧烷；(b)二氧化硅粒子，其平均粒径为150nm以下；(c)溶剂，其沸点为130℃以上，(a)聚硅氧烷的重均分子量为1000以上，组合物固态成分中的二氧化硅粒子为20重量％以上且70重量％以下，组合物整体中的P、B及Al浓度各自为20ppm以下。利用该掩模糊料组合物，提供固化前的溶液的保存稳定性、涂布时的图案形成性优异、涂布后的杂质扩散工序中的掩蔽性、耐裂纹性优异的掩模糊料组合物。
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公开(公告)号：CN104115067B
公开(公告)日：2017-09-22
申请号：CN201380010587.8
申请日：2013-02-21
Applicant: 东丽株式会社
CPC classification number: G03F7/027 , G03F7/0751 , G06F3/041 , G06F2203/04103
Abstract: 本发明的目的在于提供显影裕度广，且与由金属或无机物构成的基板表面的粘接性改善优异的组合物。本发明是负型感光性树脂组合物，其特征在于，至少含有特定的通式所示的硅烷偶联剂、碱可溶性树脂、多官能丙烯酸类单体、光自由基聚合引发剂。
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公开(公告)号：CN107107542A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201680005542.5
申请日：2016-01-12
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 本发明的目的在于，提供能够简便地实现装饰层的明度提高而不需要厚膜化、增加繁杂的步骤的层叠基材。本发明提供层叠基材，其特征在于，在基材(A)的表面上依次层叠有层(B)、层(C)，上述基材(A)的折射率nA与上述层(B)的折射率nB满足下述关系：0.6≥nA‑nB≥0.1；上述层(C)含有颜料。
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公开(公告)号：CN105408986A
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：CN201380078563.6
申请日：2013-08-02
Applicant: 东丽株式会社
IPC: H01L21/22 , H01L21/225 , C09D183/04 , C08K3/36
CPC classification number: H01L21/2254 , C08K3/36 , C09D183/04 , H01L21/2225
Abstract: 本发明涉及一种掩模糊料组合物，其特征在于，含有：(a)特定的聚硅氧烷；(b)二氧化硅粒子，其平均粒径为150nm以下；(c)溶剂，其沸点为130℃以上，(a)聚硅氧烷的重均分子量为1000以上，组合物固态成分中的二氧化硅粒子为20重量％以上且70重量％以下，组合物整体中的P、B及Al浓度各自为20ppm以下。利用该掩模糊料组合物，提供固化前的溶液的保存稳定性、涂布时的图案形成性优异、涂布后的杂质扩散工序中的掩蔽性、耐裂纹性优异的掩模糊料组合物。
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