公开(公告)号：CN102890409A

公开(公告)日：2013-01-23

申请号：CN201210250739.9

申请日：2012-07-19

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 市川幸司 ,  平冈崇志 ,  落合光良

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/00

CPC classification number: G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/2041

Abstract: 本发明公开了抗蚀剂组合物和用于生产抗蚀图案的方法。所述抗蚀剂组合物包含：具有由式(I)表示的结构单元的树脂，在碱性水溶液中不可溶或难溶但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液并且不包含由式(I)表示的结构单元的树脂，和由式(II)表示的酸生成剂，其中R1、A1、A13、A14、X12、Q1、Q2、L1、环W、Rf1和Rf2、n和Z+如说明书中限定。

公开(公告)号：CN102890407A

公开(公告)日：2013-01-23

申请号：CN201210250658.9

申请日：2012-07-19

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 市川幸司 ,  坂本宏 ,  向井优一

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/00

CPC classification number: G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/2041

Abstract: 本发明公开了抗蚀剂组合物和用于生产抗蚀图案的方法，所述抗蚀剂组合物具有：具有由式(I)表示的结构单元的树脂，在碱性水溶液中不可溶或难溶但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液并且不包含由式(I)表示的结构单元的树脂，酸生成剂，和由式(II)表示的化合物，其中R1、A1、A13、A14、X12、R23、R24、R25、R26、X21和X22如说明书中限定。

公开(公告)号：CN102890406A

公开(公告)日：2013-01-23

申请号：CN201210250505.4

申请日：2012-07-19

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 市川幸司 ,  安江崇裕

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/00

CPC classification number: G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/2041

Abstract: 本发明公开了抗蚀剂组合物和用于制备抗蚀图案的方法，所述抗蚀剂组合物具有：具有由式(I)表示的结构单元的树脂，在碱性水溶液中不可溶或难溶但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液并且不包含由式(I)表示的结构单元的树脂，和酸生成剂，其中R1、A1、A13、A14、X12、R3、R4、m′和n′如说明书中限定。

公开(公告)号：CN102746457A

公开(公告)日：2012-10-24

申请号：CN201210112342.3

申请日：2012-04-16

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 增山达郎 ,  市川幸司

IPC: C08F222/14 ,  C08F220/18 ,  C08F220/28 ,  C08F222/18 ,  C08F220/22 ,  C08F220/38 ,  G03F7/004 ,  G03F7/00

CPC classification number: G03F7/2041 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0397

Abstract: 本发明提供树脂和包含所述树脂和产酸剂的光刻胶组合物，所述树脂包含衍生自式(I)所表示的化合物的结构单元：其中R1表示氢原子或甲基，A2表示二价含氟C1-C12烃基，并且A1表示由式(a-g1)所表示的基团：其中A10在每次出现时独立地为C1-C5脂肪族烃基，A11表示C1-C5脂肪族烃基，X10在每次出现时独立地为-O-、-CO-、-CO-O-或-O-CO-，并且s表示0至2的整数。

公开(公告)号：CN102736417A

公开(公告)日：2012-10-17

申请号：CN201210138439.1

申请日：2012-04-11

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 市川幸司 ,  坂本宏 ,  向井优一

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/00

CPC classification number: G03F7/0046 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/2041

Abstract: 本发明提供一种光致抗蚀剂组合物，其包括由式(I)表示的盐：其中R1和R2独立地每一个表示氟原子或C1-C6全氟烷基，X1表示C1-C17二价饱和烃基团，等，s1表示1或2，和t1表示0或1，前提是s1和t1的和是1或2，R3表示C1-C12饱和烃基团，等，u1表示0-8的整数，和(Z1)+表示有机阳离子，由式(II-0)表示的盐其中R4表示C1-C24烃基团等，X2表示C1-C6烷烃二基基团等，和(Z2)+表示有机阳离子，和树脂，其在碱水溶液中是不溶的或可溶性差的但在酸的作用下变得可溶于碱水溶液。

公开(公告)号：CN102167677A

公开(公告)日：2011-08-31

申请号：CN201110039458.4

申请日：2011-02-15

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 市川幸司 ,  坂本宏

IPC: C07C381/12 ,  C07C25/18 ,  C07C309/17 ,  C07D303/16 ,  C07D305/06 ,  C07D307/12 ,  C07D309/06 ,  C07D407/04 ,  C07D493/04 ,  C07D333/46 ,  G03F7/004 ,  G03F7/00

CPC classification number: C07C381/12 ,  C07C303/32 ,  C07C309/06 ,  C07C309/12 ,  C07C309/19 ,  C07D303/12 ,  C07D303/17 ,  C07D303/40 ,  C07D305/06 ,  C07D317/72 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/38 ,  Y10S430/122 ,  Y10S430/123

Abstract: 本发明提供盐和含有该盐的光致抗蚀剂组合物。所述盐是由式(I)表示的盐，其中R1和R2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，X1表示C1-C17二价饱和烃基，所述C1-C17二价饱和烃基可以具有一个或多个氟原子，并且其中的一个或多个-CH2-可以被-O-或-CO-代替，R3表示具有环醚结构的基团，并且Z1+表示有机阳离子。

公开(公告)号：CN102081303A

公开(公告)日：2011-06-01

申请号：CN201010559041.6

申请日：2010-11-23

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 市川幸司 ,  宫川贵行 ,  畑光宏

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/00

CPC classification number: G03F7/0046 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0382 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/2041

Abstract: 本发明提供一种光致抗蚀剂组合物，所述光致抗蚀剂组合物包含树脂，酸生成剂和由式(C1)表示的化合物，其中Rc1表示可以具有一个或多个取代基的芳族基团，Rc2和Rc3各自独立地表示氢原子，可以具有一个或多个取代基的脂族烃基，或可以具有一个或多个取代基的芳族基团，Rc4和Rc6各自独立地表示氢原子或可以具有一个或多个取代基的脂族烃基，或Rc4和Rc6彼此结合以形成烷烃二基，Rc5表示可以具有一个或多个取代基的脂族烃基，或可以具有一个或两个取代基的氨基，Rc7表示氢原子或可以具有一个或多个取代基的脂族烃基，或Rc5和Rc7彼此结合以形成烷烃二基。

公开(公告)号：CN101967116A

公开(公告)日：2011-02-09

申请号：CN201010239691.2

申请日：2010-07-27

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 市川幸司 ,  吉田勋 ,  山口训史

IPC: C07C381/12 ,  C07C309/17 ,  C07C303/32 ,  C07D333/46 ,  G03F7/039

CPC classification number: C07C381/12 ,  C07C309/17 ,  C07C2601/14 ,  C07C2603/74 ,  C07D307/77 ,  C07D333/46 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/0397

Abstract: 本发明提供分辨率和光罩错误增强因子优异的化学增幅型抗蚀剂组合物。当在抗蚀剂组合物中使用式(A1)所示盐作为酸产生剂时，可以达成上述目的。[式(A1)中，Z+表示有机阳离子；Q1和Q2各自独立地表示氟原子或全氟烷基；Ra1表示2价的环式脂肪族烃基等；Ra2为式(II-1)或式(II-2)所示的离去基团；式(II-1)和式(II-2)中，Ra3和Ra4表示氢原子或脂肪族烃基；Ra5表示脂肪族烃基；Ra6表示2价的脂肪族烃基；Ra7表示脂肪族烃基。]

公开(公告)号：CN101955476A

公开(公告)日：2011-01-26

申请号：CN201010230018.2

申请日：2010-07-14

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 市川幸司 ,  杉原昌子 ,  坂本宏

IPC: C07D317/72 ,  C07D319/08 ,  C07D339/06 ,  C07D497/10 ,  C07D493/10 ,  C07D493/22 ,  C07D495/22 ,  C07C381/12 ,  G03F7/004 ,  G03F7/00

CPC classification number: C07C25/18 ,  C07C309/17 ,  C07C381/12 ,  C07C2601/14 ,  C07C2603/74 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/2041

Abstract: 本发明提供一种盐以及含有该盐的光致抗蚀剂组合物。所述盐具有由式(aa)表示的二价基团，其中Xa和Xb各自独立地表示-O-或-S-，Ra、Rb、Rc和Rd各自独立地表示氢原子、C1-C4烷基或C1-C4烷氧基，并且m表示1或2。

公开(公告)号：CN101955453A

公开(公告)日：2011-01-26

申请号：CN201010234016.0

申请日：2010-07-12

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 市川幸司 ,  杉原昌子 ,  山下裕子

IPC: C07C381/12 ,  C07C53/10 ,  C07C61/135 ,  C07C62/24 ,  C07D333/76 ,  C07C63/08 ,  C07C63/36 ,  C08F220/18 ,  C08F220/38 ,  C08F212/14 ,  G03F7/004 ,  G03F7/00

CPC classification number: G03F7/066 ,  C07C62/22 ,  C07C63/08 ,  C07C69/63 ,  C07C69/712 ,  C07C69/753 ,  C07C69/757 ,  C07C205/57 ,  C07C309/17 ,  C07C381/12 ,  C07C2603/74 ,  C07D333/76 ,  C08F8/12 ,  C08F12/24 ,  C08F20/38 ,  C08F28/02 ,  C08F28/06 ,  C08F212/14 ,  C08F220/18 ,  C09D125/18 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/038 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/38 ,  Y10S430/106 ,  Y10S430/111 ,  Y10S430/122 ,  Y10S430/123 ,  C08F12/22 ,  C08F2220/1883 ,  C08F2220/1891 ,  C08F220/20 ,  C08F2220/283 ,  C08F220/38

Abstract: 一种如通式(I-Pb)所示的盐：其中XPb表示单键或-O-；RPb表示单键等；YPb表示可聚合的基团；ZPb表示有机基团；XPc表示单键或C1-C4亚烷基；以及RPc表示可具有一个以上取代基的C1-C10脂肪烃基等。