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公开(公告)号：CN102671730A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201210159058.1
申请日：2012-05-22
Applicant: 武汉大学
IPC: B01L3/00
Abstract: 本发明公开了一种集成镍柱微阵列的聚合物微流控芯片及其制备方法，本发明的聚合物微流控芯片包括玻璃基片、玻璃芯片上的电极、电极上的镍柱微阵列和具有微通道的芯片基片，芯片基片固定于玻璃基片上，且电极和镍柱微阵列位于芯片基片的微通道中。本发明方法包括步骤：在玻璃基片上制备电极，并在电极上制备镍柱微阵列；制备具有微通道的聚合物微流控芯片基片；将得玻璃基片和芯片基片键合。本发明微流控芯片能够对磁性颗粒实现可控的分离与释放，具有较高的分离效率，且易释放，在细胞研究领域具有很大的应用前景。本发明方法实现了镍柱微阵列在微流控芯片中的集成，过程简单，成本低，适于工业化生产。
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公开(公告)号：CN101881779B
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN201010192151.3
申请日：2010-05-31
Applicant: 武汉大学
IPC: G01N35/00
Abstract: 本发明公开了一种超声驻波式微流控芯片及其制备方法。其产品由载玻片、微流控芯片、印刷电路板(PCB板)、压电陶瓷和控制电路所构成。微流控芯片结构中包含有驻波反应腔，由聚二甲基硅氧烷(PDMS)液态预聚物通过阳模模板固化成型，并在其固化前将载玻片放置其上，待其固化连为一体后脱模；PCB板的正面镀有一层导电层，其通过该导电层和微流控芯片的非载玻片面与微流控芯片连成一体，且在PCB板的正面设置有与微流控芯片结构相对应的孔位，其对应驻波反应腔的孔位安装有压电陶瓷；控制电路布设在PCB板的背面。本发明制作过程简单，成本低廉，具有很高的可控性和可操作性，集成化程度高，很容易实现对细胞等生物活体样品的分离、捕获和操纵。
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公开(公告)号：CN118450310A
公开(公告)日：2024-08-06
申请号：CN202410483816.8
申请日：2024-04-22
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本申请提供了基于复合压电薄膜的音频芯片组件及制备方法，音频芯片组件包括衬底以及依次沉积于所述衬底上的下电极、第一压电层、中电极、第二压电层和上电极，所述第一压电层具有低介电常数和低压电系数，所述第二压电层具有高介电常数和高压电系数。本申请提供的基于复合压电薄膜的音频芯片组件，将具有低介电损耗、较差压电性能的压电层与具有高介电损耗、高压电性能的压电层组合为双晶片或多晶片结构，各压电层优势互补，使压电薄膜整体具有良好的压电性能和介电性能。
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公开(公告)号：CN116240109A
公开(公告)日：2023-06-09
申请号：CN202310380773.6
申请日：2023-04-11
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本申请涉及一种类器官的培养装置及方法，培养装置包括：叉指电极、培养腔室及压电基底。叉指电极和培养腔室设置在压电基底上，培养腔室内部具有多个沟道，多个叉指电极分为多组，每组以培养腔室的中心轴成对称轴分布；沟道的中心位于叉指电极产生的声波信号波节点的位置上；使用时，叉指电极激发的声表面波在培养腔室区域干涉叠加，形成声驻波场，声场的波节点处形成声势阱，声势阱位于每个沟道的中心。由于细胞在声势阱处受力最小，每个沟道内的细胞在声辐射力的作用会在此处快速团聚；聚集的细胞在声辐射力、流体曳力和阻力的共同作用下悬浮在沟道中央，更容易成球，得到大小均一的单颗类器官，便于后续的研究。
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公开(公告)号：CN116032240A
公开(公告)日：2023-04-28
申请号：CN202211677918.0
申请日：2022-12-26
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明公开了一种基于声子晶体提升品质因数的薄膜体声波谐振器，抑制现有薄膜体声波谐振器因加工中产生的材料C轴取向不一致导致的横向伪模式，将谐振器的纵向振动限制在上下电极覆盖部分的压电薄膜，提升谐振器品质因数。本发明基于FBAR的空气隙结构，在传统的上电极‑压电薄膜‑下电极的三明治结构中引入声子晶体作为侧边声波抑制结构，使得FBAR中横向传播的伪模态被抑制，减少了杂波。本发明设计的声子晶体的具体单元结构为：1.环绕传统多边形上下电极的电极群，从而减小电极区域的能量泄露；2.贯穿压电薄膜的图案化孔洞，从而将声波能量约束上下电极覆盖的压电薄膜区域内，即解决横向伪模态的声波传输，从而显著提升品质因数。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114859465A
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202210429303.X
申请日：2022-04-22
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明属于MEMS光电器件技术领域，公开了一种可调谐的压电式光环谐振腔，包括压电悬臂梁组件、光学波导组件，光学波导组件位于压电悬臂梁组件的上方，光学波导组件包括微环谐振腔和耦合器，压电悬臂梁组件在电信号的作用下产生振动，微环谐振腔基于振动产生应变并改变其谐振频率。本发明解决了现有技术中微环谐振腔难以实现多频率工作且无法调谐的问题。本发明利用压电效应，通过电信号作用使压电悬臂梁组件产生振动，进而使微环谐振腔产生应变并改变其谐振频率，本发明具有较大的频响范围与可调谐性，本发明结构集成度较高，灵敏度优良，成本较低。
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公开(公告)号：CN110093245B
公开(公告)日：2021-07-16
申请号：CN201910351768.6
申请日：2019-04-28
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明提供一种声表面波液滴激发装置及定点释放肿瘤单细胞的方法。该装置包括声表面波液滴激发芯片、XYZ三维移动平台、微粒捕获基底板、信号发生器和功率放大器；所述声表面波液滴激发芯片通过信号发生器和功率放大器驱动，固定于XYZ三维移动平台上；微粒捕获基底板置于声表面波液滴激发芯片下方。该装置可用于肿瘤单细胞及其他罕有细胞或生物微粒的定点释放。本发明具有以下优点：操作方便、单细胞释放效率高、声学芯片微型化；此外，适用性广，可用于其它捕获‑释放罕有细胞的材料体系，实现罕有细胞的定点释放，在与罕有细胞相关的研究领域中具有可观的应用潜力。
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公开(公告)号：CN112886935A
公开(公告)日：2021-06-01
申请号：CN202110041823.9
申请日：2021-01-13
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明公开了一种薄膜体声波谐振器及其制备方法，是一种可以减小横向振动模式的薄膜体声波谐振器的新型结构。随着5G时代的到来，针对滤波器的性能要求越来越高，而声表面波(SAW)滤波器受其声波传播原理的限制，无法满足无线通信更高频段的应用。传统薄膜体声波谐振器(FBAR)，通常由上电极、压电材料、下电极三层结构所组成。但这一结构通常会伴随着横向振动模式，影响了谐振器的使用性能。本发明薄膜体声波谐振器的新型结构，包括上电极、压电层、下电极、第一反射层、第二反射层和第三反射层；本发明通过改善压电层以上的结构，在上电极周围增加反射层，更好地反射声波，抑制横向振动模式，提高FBAR器件的Q值。
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公开(公告)号：CN109865543B
公开(公告)日：2020-06-23
申请号：CN201910261456.6
申请日：2019-04-02
Applicant: 武汉大学
IPC: B01L3/00
Abstract: 本发明公开了一种高通量微流控体波分选芯片及其制备方法。其器件由带有驻波反应腔的玻璃片、压电陶瓷片构成。玻璃片上的驻波反应腔是由玻璃底片、玻璃垫片I、玻璃隔片I、玻璃垫片II、玻璃隔片II和玻璃顶片从下到上依次使用紫外固化胶叠层封装起来在玻璃内部形成的沟道以及沟道上的进样口、出样口所构成，其中沟道的宽度为厘米级别，高度为微米级别的，可以实现大通量的液体通入；压电陶瓷片粘在玻璃片的底部并在两极引出两根导线。压电陶瓷在外加电信号的驱动下，在沟道在垂直方向上产生驻波场，从垂直方向分选不同粒子。本发明制备过程简单，成本低廉，可操控性强，方便适用于细胞等生物样本的大通量的聚集、分离和操控。
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公开(公告)号：CN110165935A
公开(公告)日：2019-08-23
申请号：CN201910421641.7
申请日：2019-05-21
Applicant: 武汉大学深圳研究院
IPC: H02N2/18 , H01L41/083 , H01L41/113 , H01L41/193 , H01L41/277 , H01L41/45 , B82Y40/00
Abstract: 本发明公开了一种多层可穿戴压电能量收集器及其制备方法。该压电能量收集器主要包括多层镀有Au/Gr叉指电极的聚酰亚胺薄膜、多层P(VDF-TrFE)有序电纺丝薄膜，以及聚二甲基硅氧烷外壳。该器件的制备方法主要包括三点：利用lift-off工艺将Au/Gr叉指电极图案转移到聚酰亚胺的薄膜基底上；在镀有叉指电极的聚酰亚胺薄膜基底上直接电纺有序的P(VDF-TrFE)纳米纤维薄膜；将得到的若干个电纺了有序纤维膜的柔性基底取下，并用铜胶带将铜丝与叉指电极的引出电极连接好，然后将若干个单层器件叠加，并且层与层之间正负相连，最后用液态的聚二甲基硅氧烷PDMS封装。本发明制作简单，成本低廉，和单层器件相比，多层器件在相同频率和压力的作用下，单位面积上的输出性能更佳。
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