公开(公告)号：CN104704375A

公开(公告)日：2015-06-10

申请号：CN201380044035.9

申请日：2013-08-20

Applicant: 哈佛学院院长及董事

Inventor： M·S·格瑞诺德斯 ,  洪晟根 ,  P·梅勒丁斯基 ,  A·亚考贝

IPC: G01Q60/54 ,  G01N24/10 ,  G01R33/032 ,  G01Q70/14 ,  G01R33/12 ,  G01R33/24 ,  G01R33/60

CPC classification number: G01Q70/14 ,  G01N21/645 ,  G01N24/10 ,  G01N2201/10 ,  G01Q30/025 ,  G01Q60/08 ,  G01Q60/38 ,  G01Q60/54 ,  G01R33/022 ,  G01R33/032 ,  G01R33/1284 ,  G01R33/323 ,  G01R33/60

Abstract: 感测探头可以由包括一个或多个自旋缺陷的金刚石材料形成，所述自旋缺陷被构造为发射荧光，并且位于离感测探头的感测表面不超过50nm。感测探头可以包括光学解耦结构，所述光学解耦结构由所述金刚石材料形成，并且被构造为光学地将所述荧光引向光学解耦结构的输出端。光学探测器可以探测所述荧光，所述荧光从自旋缺陷发射，并且在被光学地引导通过光学解耦结构的输出端之后通过光学解耦结构的输出端出射。安装系统可以保持感测探头，并且在允许感测探头的感测表面与采样的表面之间的相对运动的同时控制感测表面与样本表面之间的距离。

公开(公告)号：CN103885179A

公开(公告)日：2014-06-25

申请号：CN201310593817.X

申请日：2013-11-21

Applicant: 安捷伦科技有限公司

Inventor： G.雷斯勒 ,  J.H.萨勒

IPC: G02B26/10 ,  G01B9/02

CPC classification number: G01B9/02 ,  G01B9/02015 ,  G01J3/06 ,  G01J3/45 ,  G01J3/4535 ,  G01J2003/061 ,  G01N21/35 ,  G01N2021/3595 ,  G01N2201/061 ,  G01N2201/10 ,  G02B7/182

Abstract: 一种干涉仪包括固定组件和可移动组件，所述固定组件包括基座、分束器组件和固定反射镜，所述可移动组件包括上扫描架、下扫描架和连接到下扫描架的可移动反射镜。一对内挠曲支承件连接到基座和上扫描架，允许上扫描架相对于基座的运动，并且一对外挠曲支承件连接到上和下扫描架，允许下扫描架相对于上扫描架的运动。上和下扫描架的运动允许可移动反射镜在扫描方向上的扫描运动，所述扫描运动被限制成使得在扫描运动期间，扫描运动保持包含可移动反射镜的平面，平行于在可移动和固定组件之间的相应距离处的包含可移动反射镜的多个平面。

公开(公告)号：CN101424612B

公开(公告)日：2013-08-28

申请号：CN200810173297.6

申请日：2008-10-31

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 古木基裕 ,  今西慎吾 ,  筱田昌孝 ,  铃木明俊 ,  三宅和司

IPC: G01N15/00 ,  G01N21/00 ,  G01N33/483

CPC classification number: G01N15/1425 ,  G01N15/1436 ,  G01N15/1459 ,  G01N15/1484 ,  G01N21/6428 ,  G01N21/645 ,  G01N2015/1006 ,  G01N2015/1497 ,  G01N2021/058 ,  G01N2021/6419 ,  G01N2021/6421 ,  G01N2201/10 ,  G01N2201/11

Abstract: 本发明披露了一种能够获得高测量精度的微粒测量方法、用于测量的基板以及测量装置。所述微粒测量方法通过用光扫描样品流体通道而对引入到以预定距离设置在基板上的多个样品流体通道中的微粒进行光学测量。该方法包括：用光顺序照射至少两个或更多个与样品流体通道一起设置的参考区域；检测由参考区域引起的在光中发生的光学特性的变化；以及控制光对样品流体通道的发射时间。

公开(公告)号：CN102901445A

公开(公告)日：2013-01-30

申请号：CN201210366219.4

申请日：2012-09-28

Applicant: 华中科技大学 ,  武汉飞恩微电子有限公司

Inventor： 刘胜 ,  戴宜全 ,  甘志银 ,  王小平

IPC: G01B11/00 ,  G01B11/22 ,  G01N15/14

CPC classification number: G01N21/9501 ,  G01N21/55 ,  G01N21/95 ,  G01N25/72 ,  G01N2201/0636 ,  G01N2201/0638 ,  G01N2201/10 ,  G01N2201/102

Abstract: 本发明公开了一种基于光热成像的微电子封装工艺质量检测装置，包括图像获取装置、工作台、控制装置及数据处理装置；其中图像获取装置包括支架横梁、平动电机、成像探头、光发射器；平动电机固定于横梁的下侧面，成像探头垂直固定于平动电机中的移动块；光发射器通过可调连接件连接至所述移动块，通过调节可调连接件使其发射的光经试样反射后进入成像探头；数据处理装置用于对所述图像获取装置获取的光图像和热图像数据进行处理后获得相关系数和均方差统计系数，并将所述相关系数和均方差统计系数与预设的阈值进行比较，根据比较结果获得工艺质量评估。本发明可以实现残渣颗粒和空洞识别、材质识别及微孔深度测量，检测评估更可靠。

公开(公告)号：CN101981437A

公开(公告)日：2011-02-23

申请号：CN200980110931.4

申请日：2009-04-02

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 松本和浩

IPC: G01N21/64 ,  G01N21/78 ,  G01N37/00

CPC classification number: G01N21/645 ,  G01N21/0332 ,  G01N21/05 ,  G01N21/6456 ,  G01N2021/0346 ,  G01N2021/6439 ,  G01N2201/10 ,  G02B7/28

Abstract: 扫描成像装置具有将用于激发的第一斑点光和用于焦点检测的两个第二斑点光照射到基板4的流路上的斑点光投影部101和用于拾取当被第一斑点光激发时从流路中的检测目标发射的光的图像的成像部102。第二斑点光中的一个在流路的顶面处被反射，并且，第二斑点光中的另一个在流路的底面处被反射，以及，焦点位置调整机构，用于沿流路的深度方向调整第一斑点光和第二斑点光中的每一个的焦点位置，使得通过比较在流路处反射的第二斑点光中的一个和另一个的强度来确定的流路的深度方向的第一斑点光和第二斑点光的焦点位置的偏离量。

公开(公告)号：CN1662808B

公开(公告)日：2010-06-02

申请号：CN03814721.1

申请日：2003-05-06

Applicant: 应用材料股份有限公司 ,  应用材料以色列公司

Inventor： 丹尼尔·I·索梅

IPC: G01N21/17 ,  G01N21/63

CPC classification number: G01N21/956 ,  G01N21/171 ,  G01N21/636 ,  G01N2021/95676 ,  G01N2201/10 ,  G01N2201/104

Abstract: 一样品的一局部区域被聚焦加热用以产生暂时的物理变形。当该被加热的区域冷却至一基线(baseline)温度的同时，该结构的表面由时常使用一或多个探测光束来照射该被加热的区域并检测回返光线而来加以光学监视。在某些实施例中，在该结构内随着时间而变化的热消散与光学反射性之间有相互关系。在其它的实施例中，该结构的表面变形与该表面的光线散射变化有相互关连。在施用一抽运脉冲(pump pulse)及不多于三个探测脉冲之后，一随时间改变(time varying)的回返光线讯号被拿来与一来自一参考表面的回返光线讯号相比较。这两个讯号之间的偏差可指出该样品中的一个异常之处。从这些讯号及它们被比较的衰减常数可建构出第一级指数衰减曲线。

公开(公告)号：CN101218030A

公开(公告)日：2008-07-09

申请号：CN200680024745.5

申请日：2006-03-24

Applicant: 3M创新有限公司

Inventor： 威廉姆·D·拜丁汉姆 ,  彼得·D·陆德外斯 ,  巴里·W·罗博莱

IPC: B01L7/00

CPC classification number: G01N21/645 ,  B01L3/5027 ,  B01L7/52 ,  B01L7/54 ,  B01L2200/147 ,  B01L2300/0806 ,  B01L2300/1805 ,  B01L2300/1844 ,  B01L2300/1872 ,  G01N21/07 ,  G01N21/6428 ,  G01N2021/6419 ,  G01N2021/6421 ,  G01N2201/04 ,  G01N2201/0407 ,  G01N2201/08 ,  G01N2201/10 ,  G01N2201/101

Abstract: 描述了用于实时PCR(聚合酶链反应)中多目标试样检测的技术。例如，一种系统包括一个数据获取装置和与所述数据获取装置连接的检测装置。所述检测装置包括一个具有多个处理室的旋转盘，这些处理室具有发射多个不同的波长的荧光的试样。所述检测装置还包括多个可拆卸的光学模块，它们的光学结构被构造成激发所述试样并且捕捉由这些试样发射出来的不同波长的荧光。与所述多个可拆卸光学模块连接的光纤束将所述荧光从所述光学模块传送到单个检测器。所述检测装置还包括一个用于加热旋转盘上的一个或多个处理室的加热元件。此外，所述检测装置可以通过利用激光加热分开处理室的阀来定位或选择性地打开这些阀，从而控制旋转盘中的流体的流动。

公开(公告)号：CN101203744A

公开(公告)日：2008-06-18

申请号：CN200580049795.4

申请日：2005-06-02

Applicant: 博奥生物有限公司 ,  清华大学

Inventor： 王宪华 ,  徐辉 ,  叶建新 ,  孙烨磊 ,  黄国亮 ,  程京

IPC: G01N21/64

CPC classification number: G01N21/6458 ,  G01N21/6428 ,  G01N21/6452 ,  G01N2021/6421 ,  G01N2201/10 ,  G01N2201/103

Abstract: 本发明涉及一种激光微阵列芯片扫描仪，该仪器由光学系统，扫描运动平台和数据处理系统构成。在扫描过程中，光学系统保持固定，而放置在扫描运动平台上的微阵列芯片相对于光学系统发生运动。该微阵列芯片扫描仪具有高速扫描，高灵敏度，高分辨率和高信噪比，因此在微阵列芯片扫描中具有理想的用途。

公开(公告)号：CN206026365U

公开(公告)日：2017-03-22

申请号：CN201620536693.0

申请日：2016-06-02

Applicant: 李兴德 ,  吴一聪 ,  梁文轩

Inventor： 李兴德 ,  吴一聪 ,  梁文轩

IPC: A61B10/04

CPC classification number: G02B23/26 ,  A61B1/0017 ,  A61B5/0068 ,  A61B5/0084 ,  G01N21/636 ,  G01N21/6458 ,  G01N33/4833 ,  G01N2021/6478 ,  G01N2021/6484 ,  G01N2201/0866 ,  G01N2201/10 ,  G02B3/0087 ,  G02B21/0008 ,  G02B23/243 ,  G02B23/2469 ,  G02B26/103

Abstract: 本实用新型涉及一种能改进多光子成像信噪比、含有单根双包层光纤(DCF)的光纤装置。该装置还包括具有2毫米左右外径的内窥显微镜内的用于聚焦、扫描和信号采集的所有组件。离体和在体实验都证实了这种微型内窥显微镜的前所未有的成像能力。