公开(公告)号：CN204771160U

公开(公告)日：2015-11-18

申请号：CN201520446654.7

申请日：2015-06-26

Applicant: 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所

Inventor： 单炯 ,  饶大幸 ,  崔勇 ,  李小莉 ,  周士安 ,  马伟新

IPC: B23K26/382 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/064 ,  B23K26/16 ,  B23K26/067 ,  B23K101/36

Abstract: 本实用新型涉及一种高深径比微孔的制备装置，用以高深径比微孔。本实用新型的制备装置是利用双脉冲组合的方式来制备高深径比微孔，在激光光源中包含了两种脉宽不同的激光组合，利用数字信号延时发生器分别控制双脉冲组合达到样品的时间，两种激光器的激光脉冲通过光学元器件组合聚焦至样品上，直接对样品进行激光刻蚀；制备装置中包括有飞秒激光器、纳秒激光器、数字信号延时发生器、半波片、光学起偏器、分束镜、全反射镜、白光光源、电荷耦合元件、三维移动平台和电脑。本实用新型技术可以直接突破单脉冲所能制备的最大微孔深径比极限，很好地解决目前微孔制备中深径比不高的技术难题。

公开(公告)号：CN206497060U

公开(公告)日：2017-09-15

申请号：CN201720116716.7

申请日：2017-02-08

Applicant: 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所

Inventor： 崔勇 ,  季来林 ,  单炯 ,  高妍琦 ,  王韬 ,  饶大幸 ,  杜鹏远 ,  曹兆栋 ,  李小莉 ,  陈明 ,  夏兰 ,  徐光

IPC: G01N21/95

Abstract: 本实用新型公开了一种大口径光栅损伤的在线快速测量装置，该装置包括激光器、准直透镜、半波片、偏振分束器、第一透镜、第二透镜、大口径光栅、成像系统、数据处理系统，激光器发出的线偏振光束通过准直透镜准直为平行光束，平行光束经半波片后以高透过率通过偏振分束器，经偏振分束器后的透射光束依次经过第一透镜、第二透镜构成的扩束系统后将光束口径扩大，扩束后的光束入射到大口径光栅上，大口径光栅的衍射光将沿原路返回后入射到偏振分束器上，偏振分束器的反射光由成像系统接收，成像系统与数据处理系统相连，数据处理系统对成像系统获得的图像进行分析处理，得出大口径光栅的损伤信息。本实用新型能够实现大口径光栅损伤的在线快速测量。