一种用于晶圆对准的光学成像装置和晶圆对准系统

    公开(公告)号:CN208478309U

    公开(公告)日:2019-02-05

    申请号:CN201820814895.6

    申请日:2018-05-29

    IPC分类号: H01L21/68 H01L21/66

    摘要: 一种用于晶圆对准的光学成像装置和晶圆对准系统,由于使用两个图像传感器通过光学成像装置,分别获取晶圆的整体图像和边缘图像,依据晶圆的整体图像和边缘图像获取晶圆承片台的调节参数,进而完成晶圆对准,使得可采用图像分辨率相对较低的图像传感器实现晶圆对准,降低生成产成本的同时提高晶圆对准效率。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    一种激光清洗和抛光设备
    62.
    实用新型

    公开(公告)号:CN218890944U

    公开(公告)日:2023-04-21

    申请号:CN202121053222.1

    申请日:2021-05-17

    摘要: 本申请提供了一种激光清洗和抛光设备,包括:机柜,机柜上设有工作台;夹持组件,夹持组件设于工作台上,夹持组件用于夹持工件,并旋转工件;光路系统,设于机柜上,光路系统的出光端具有调节光路的调节镜面,调节镜面位于夹持组件的上方,且调节镜面可相对于夹持组件旋转;激光加工头,用于激光清洗与抛光加工。根据本申请提供的激光清洗和抛光设备,能够从多个不同角度对复杂工件的曲面进行清洗与抛光,提高了激光激光清洗与抛光设备的适用范围。

    一种用于金属3D打印零件的激光抛光设备

    公开(公告)号:CN214978524U

    公开(公告)日:2021-12-03

    申请号:CN202121053257.5

    申请日:2021-05-17

    IPC分类号: B23K26/354 B23K26/70

    摘要: 本申请提供了一种用于金属3D打印零件的激光抛光设备,包括:机柜、设于机柜上的工作台和光路系统;光路系统的出光端位于工作台的上方,并可将激光照射至工作台上;工作台处设有第一能场发生器和第二能场发生器,第一能场发生器位于工作台的两侧,第二能场发生器与第一能场发生器正交设于工作台处。根据本申请提供的用于金属3D打印零件的激光抛光设备,能够在对3D打印得到的工件进行表面抛光的同时,通过多能场辅助大大提高抛光的效率,控制抛光裂纹,提升工件的表面性能,有效提高工件表面强度和耐磨性。

    一种稳态磁场辅助的激光微抛光设备

    公开(公告)号:CN212885717U

    公开(公告)日:2021-04-06

    申请号:CN202021303474.0

    申请日:2020-07-03

    IPC分类号: B23K26/352 B23K26/70

    摘要: 本申请适用于激光抛光技术领域,提供了一种稳态磁场辅助的激光微抛光设备,包括柜体、连接柜体的工作台、连接工作台的电控永磁组件、能够向电控永磁组件发射激光的激光发生装置、能够产生包围待加工的工件的惰性气体的气路装置、用于对激光发生装置进行散热的降温装置和用于控制电控永磁组件、激光发生装置、气路装置和降温装置的控制设备;控制设备能够控制电控永磁组件的充磁和退磁。电控永磁组件充磁,工件即被牢牢吸附,工件拆装方便快捷;电控永磁组件无需实时通电,节能且不会因停电失磁;电控永磁组件充磁和退磁的过程中的磁吸附力均匀变化,工件位置不会发生变化;电控永磁组件的稳态磁场可以辅助激光抛光,能够抑制抛光层表面的波纹。

    多工位灯泵浦激光焊接设备

    公开(公告)号:CN208680769U

    公开(公告)日:2019-04-02

    申请号:CN201820228958.X

    申请日:2018-02-07

    发明人: 肖海兵

    摘要: 本实用新型公开了一种多工位灯泵浦激光焊接设备,包括控制装置、焊接床体、灯泵浦激光器、与焊接床体转动连接的工作台、设于工作台上的多个多工位夹具,多工位夹具用于夹持工件及带动工件靠近于焊接头的焊接位;多工位灯泵浦激光焊接设备还包括用于驱动工作台转动的转动驱动装置、位于工作台正上方的焊接头、用于将灯泵浦激光器产生的脉冲激光传递至焊接头的光路装置、以及用于识别工件的焊接状态的视觉装置。视觉装置系统用于对工作台上的焊接工件的焊接状态进行图像信息采集,以调节焊接参数,实现焊接时的智能化。多工位灯泵浦激光焊接设备具有焊接精度高、焊接速度快、系统稳定等优点。

    熔覆增材制造设备
    66.
    实用新型

    公开(公告)号:CN208151483U

    公开(公告)日:2018-11-27

    申请号:CN201820646340.5

    申请日:2018-05-02

    发明人: 肖海兵

    IPC分类号: C23C24/10 B22F3/105 B33Y30/00

    摘要: 本实用新型属于机械加工制造设备技术领域,尤其涉及一种熔覆增材制造设备,包括激光装置、送粉装置、CCD检测装置、聚焦装置、升降装置和工作平台,所述升降装置固定安装于所述工作平台上,所述激光装置上设有熔覆加工头,所述熔覆加工头固定安装于所述升降装置上且位于所述工作平台的上方,所述熔覆加工头的下方设有聚焦装置,所述送粉装置上设有送粉头,所述送粉头设置于所述工作平台的上方,所述CCD检测装置设置于所述工作平台的侧部。本实用新型的熔覆增材制造设备,熔覆精度高、检测精度高,熔覆层的质量高。

    激光同轴振镜焊接装置
    67.
    实用新型

    公开(公告)号:CN208067559U

    公开(公告)日:2018-11-09

    申请号:CN201820280588.4

    申请日:2018-02-27

    摘要: 本实用新型提供了一种激光同轴振镜焊接装置,包括工作台、激光器、设于激光器一侧的振镜机构、设于振镜机构一侧的CCD图像采集机构、用于驱使工作台移动的第一驱动组件及控制器;振镜机构包括反射镜、场镜及用于驱使反射镜转动第二驱动组件;激光器与反射镜同轴,CCD图像采集机构、反射镜与场镜同轴。本实用新型通过激光器与反射镜同轴以及CCD图像采集机构与反射镜和场镜同轴,使得加工光束的光轴与CCD图像采集机构采集的图像信息的光轴同轴,在焊接过程中,振镜机构与CCD图像采集机构同步工作,不需要轮换移动,从而有效地解决了激光焊接装置因振镜机构和CCD图像采集机构轮换对位导致加工效率低和加工精度不足的技术问题。

    三维紫外激光加工设备
    68.
    实用新型

    公开(公告)号:CN206286708U

    公开(公告)日:2017-06-30

    申请号:CN201621318494.9

    申请日:2016-12-01

    摘要: 本实用新型提供一种三维紫外激光加工设备,该三维紫外激光加工设备包括:紫外激光器、工作台、三维激光振镜、振镜控制装置和CCD视觉装置;紫外激光器位于工作台的基座上;三维激光振镜位于紫外激光器靠近工作台的加工台侧的一端;振镜控制装置与三维激光振镜连接;CCD视觉装置位于三维激光振镜的上方,CCD视觉装置与振镜控制装置连接。本实用新型提供的三维紫外激光加工设备实现了紫外激光三维曲面的精密加工,应用于产品曲面的精细打标、3D手机曲屏加工或模具型腔精细蚀刻。

    激光光路系统
    69.
    实用新型

    公开(公告)号:CN206272061U

    公开(公告)日:2017-06-20

    申请号:CN201621318514.2

    申请日:2016-12-01

    IPC分类号: H01S3/10 G02B27/09

    摘要: 本实用新型提供一种激光光路系统,该激光光路系统包括激光光路调试设备和检测系统;该激光光路调试设备包括光基座、光指示器、第一谐振膜片镜架、光谐振腔、调Q模块、第二谐振膜片镜架、第一光路分光镜、分时光闸、第二光路分光镜和激光倍频器;检测系统包括:电荷耦合器件CCD摄像机、功率计和电脑显示屏;检测系统用于采集激光光斑,以及将采集的激光光斑在检测系统实时显示,激光光路调试设备用于实现激光倍频、调Q等功能。本实用新型提供的激光光路系统,操作简单,维护方便,可以提高激光显示效果。

    一种用于复杂构件激光抛光的振镜装置和工作台

    公开(公告)号:CN212858196U

    公开(公告)日:2021-04-02

    申请号:CN202021297634.5

    申请日:2020-07-03

    摘要: 本申请适用于激光抛光技术领域,提供了一种用于复杂构件激光抛光的振镜装置和工作台,振镜装置包括支架、连接支架的激光输出件、连接支架的第一振镜组件、设置于激光输出件输出的激光的光路上的整形镜,以及连接支架且能够控制整形镜在第一方向上移动的第一位移驱动器;第一振镜组件能够引导激光向以预设的角度偏折于第一方向的方向出射,整形镜用于改变激光的光束波前。第一位移驱动器控制整形镜在第一方向上的移动,第一振镜组件偏折经过整形镜整形后的激光,进而控制激光在三维空间内的灵活移动,将激光聚焦在三维空间内的任一位置;可以在不必移动其他组件的前提下,实现激光汇聚点在第一方向上的移动,定位快速而准确。