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公开(公告)号：CN115453737A
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202211402004.3
申请日：2022-11-10
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密技术(宁波)有限公司
摘要： 本发明提出一种显微镜的光学系统，该系统通过在物镜转换器中的反射镜改变了光线的传播路径，从而突破了光学配件的空间布局限制，使得增加光学配件简单易行，有利于光学系统的扩展，通过改变光学配件的架设方式扩大了该显微镜的适用范围，并降低了整个显微镜的高度，使得在一些因机台的条件而导致高度受限的现场，也可依据需求增加各光学配件，将其设置在一平面上并扩大展开，不至于为机台高度所限制。
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公开(公告)号：CN115026750B
公开(公告)日：2022-11-29
申请号：CN202210958068.5
申请日：2022-08-11
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密技术(宁波)有限公司
摘要： 一种硅舟装配用的工装，包括限位板以及相邻设置的支撑夹台与限位夹台，支撑夹台上设有用于夹持工件的夹持部，限位夹台设有夹座和可滑动的抵推件，限位板位于夹座与抵推件之间，抵推件用于推动限位板转动以使得限位板夹合至夹座，抵推件的内部设有空腔，抵推件的上部设有可转动的转轴，转轴的第一轴段设有朝向抵接面凸起的顶杆部，抵推件的上侧面设有供顶杆部穿过的开口，转轴相对抵接面偏心设置，转轴用于带动顶杆部转动以使得顶杆部伸出抵接面或缩回至空腔。上述方案通过支撑夹台和限位夹台的设置使得侧支杆能够以合适的角度装配到法兰盘，使用简单，操作方便，且有效提升了装配精度，具备较好的实用性。
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公开(公告)号：CN115386861A
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202211321789.1
申请日：2022-10-27
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密技术(宁波)有限公司
IPC分类号： C23C16/455 , C30B33/06
摘要： 本发明提供了一种化学气相沉积设备的导气管及其制备方法，导气管包括管径相同的首管、尾管、n根中部连接管和n+1组加强翅片，n为大于等于2的整数，首管、尾管、中部连接管和翅片均为硅材料，首管、中部连接管、尾管依次连接，各个首管、尾管和中部连接管的接合部位对应位置分别设有一组加强翅片，加强翅片的首尾两端分别位于对应接合部位的两侧，管件的接合部位以及加强翅片与管体的贴合部位设有粘接材料。本发明导气管具有结构强度高、管腔同轴度高、密封性好、使用寿命长等优点。
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公开(公告)号：CN114792640A
公开(公告)日：2022-07-26
申请号：CN202210303065.8
申请日：2022-03-24
申请人： 盛吉盛半导体科技(北京)有限公司 , 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/223
摘要： 本发明涉及一种晶圆掺氮装置，包括衬板、腔体以及抽气部，衬板设置于腔体的内部并与腔体的底部之间形成空间，抽气部与该空间连通，衬板上开设有多个通孔，多个通孔被构造成随着与抽气部的距离的增加，多个通孔的孔径增大。本发明能够提高晶圆掺氮装置的腔体内的气压均衡性。
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公开(公告)号：CN118866796A
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202411284026.3
申请日：2024-09-13
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司
IPC分类号： H01L21/683 , H01J37/32
摘要： 本发明提供了一种静电卡盘高度调节装置及半导体加工设备，其属于半导体制造技术领域，所述静电卡盘高度调节装置应用于半导体加工设备，半导体加工设备具有腔室主体和设于腔室主体内的安装平台，腔室主体与安装平台为一体结构，安装平台用于承载静电卡盘，静电卡盘高度调节装置包括增高组件，增高组件包括设于安装平台与静电卡盘之间的上板，上板与静电卡盘可拆卸地连接。本发明提供的一种静电卡盘高度调节装置通过设置增高组件，增高组件中的上板设在安装平台与静电卡盘之间，并且上板与静电卡盘可拆卸地连接，实现静电卡盘高度可调，从而解决反应腔室内晶圆因所处射频场位置场强度不足导致工艺结果欠佳问题。
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公开(公告)号：CN117650036A
公开(公告)日：2024-03-05
申请号：CN202311759055.6
申请日：2023-12-19
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司
摘要： 本发明提供一种等离子线圈调节装置及半导体设备，其属于半导体装备技术领域，所述等离子线圈调节装置包括固定座、旋转驱动机构和四个升降机构，所述固定座的上表面安装有下调整环，所述下调整环的直边与固定座相贴合，所述下调整环的斜边的一侧贴合有上调整环，所述上调整环的截面呈直角梯形，所述下调整环的截面呈直角梯形，所述上调整环的上表面贴合有用以安装固定线圈的线圈板组件；旋转驱动机构，所述旋转驱动机构用以驱动上调整环旋转，所述旋转驱动机构位于线圈板组件上。本发明通过快速自动调节线圈倾斜度实现等离子体密度分布调整，提高等离子体密度分布调整的工作效率，并且等离子体密度分布调整的稳定性大幅提升。
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公开(公告)号：CN117448785A
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN202311425658.2
申请日：2023-10-31
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密技术(宁波)有限公司
IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/56
摘要： 一种三路一体式喷射管，包括喷射管组和承载接头，承载接头设有沿竖向设置的第一凸台、第二凸台和第三凸台，承载接头内设有第一孔路、第二孔路和第三孔路；喷射管组包括第一管段、第二管段和第三管段，第一管段、第二管段和第三管段的下端平齐且总长度逐个增加以使得喷射管组的左侧壁形成阶梯状结构，第一管段、第二管段和第三管段均设有排气通孔。上述方案通过将第一管段、第二管段和第三管段并排相连以形成三路一体式结构，而承载接头的第一孔路、第二孔路和第三孔路的气体经第一管段、第二管段和第三管段的不同高度的排气通孔更为均匀地排至炉体，从而有效提升了喷射管组的结构强度与使用寿命。本公开还提供一种三路一体式喷射管的制作方法。
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公开(公告)号：CN117038505A
公开(公告)日：2023-11-10
申请号：CN202310948367.5
申请日：2023-07-31
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密技术(宁波)有限公司
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/677 , G01N21/95 , G01N21/01
摘要： 本发明提供一种晶圆检测装置和方法，装置包括设置在基台上的XY机构和图像采集机构，图像采集机构包括图像采集器和测距模块，测距模块位于图像采集器的一侧；XY机构上设有升降机构，升降机构的升降端设有晶圆载台。方法包括预先测定标定物与图像采集器的测量镜头之间的距离，装载有待测晶圆的晶圆载台根据蛇形路径从测距模块至图像采集器形成的方向移动进行采图检测，通过对焦距离预测值修正待测晶圆在采图检测过程中与图像采集器的对焦距离。本发明通过把实时测定的对焦距离值与预先测定的对焦距离值比对修正，从而使得对晶圆正常采图时就能保证采图的质量，并且检测装置结构简单，从很大程度上提升了晶圆采图检测的效率，降低了采图检测成本。
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公开(公告)号：CN115683568A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202211310492.5
申请日：2022-10-25
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密技术(宁波)有限公司
IPC分类号： G01M11/02
摘要： 本发明实施例提出的平凸柱面透镜的检测方法和线性光源的检测方法，能以较高的效率拣选出批量的具有较好的一致性的该线性光源6和该平凸柱面透镜7，能够有效改善照明效果不一致的状况，尽可能地确保在不同的设备中，同一物体在相机中成像的一致性，从而针对同一对象的检测结果的差异性不会过大，减少不良检测对象进入下道工序。本发明实施例提出的平凸柱面透镜夹具和应用了该平凸柱面透镜夹具的测量台，为非标的线性光源6和平凸柱面透镜7提供了在半导体、面板行业，或其他产业的Defect高精度(微米，甚至纳米级)量测、检测等领域中能够直接适用的检验方法和装置，能获得可靠的验收依据，推动了相关领域的标准化的发展进程。
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公开(公告)号：CN114914145A
公开(公告)日：2022-08-16
申请号：CN202210226246.5
申请日：2022-03-09
申请人： 盛吉盛半导体科技(北京)有限公司 , 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司
摘要： 本发明涉及一种用于半导体加工装置的腔室内衬和半导体加工装置，该腔室内衬包括一个或多个内衬体，至少一个所述内衬体包括多个内衬部件，所述多个内衬部件相互连接以形成为所述内衬体；其中，在两个或多个所述内衬部件的相互连接的位置，至少一个内衬部件的连接结构的至少一部分伸入另一内衬部件的对应连接结构，以使得所述多个内衬部件的相互连接的位置不裸露腔室。利用本发明的用于半导体加工装置的腔室内衬和半导体加工装置，安装方便快速，可覆盖腔室内部暴露的所有腔室表面，能够提高颗粒度和金属污染水平。
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