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公开(公告)号：CN105388708B
公开(公告)日：2018-10-09
申请号：CN201510526534.2
申请日：2015-08-25
Applicant: 株式会社ORC制作所
Inventor： 中泽朗
IPC: G03F7/20
Abstract: 投影曝光装置和方法、光掩模以及基板的制造方法。在投影曝光装置中，使掩模图案高精度地对准并转印到基板的投射区域上。在中间掩模上形成与多个投射区域变形对应的掩模图案，并按照步进和重复方式，将掩模图案转印到形成有多个投射区域的基板上。按照全局对准方式，计测样本用对准标记的位置坐标，根据全局对准区域的形状误差，检测投射区域的形状误差。进而，选择具有与该形状误差对应的、即变形情况处于相同的趋势的范围形状的掩模图案。
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公开(公告)号：CN104779133B
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201410803369.6
申请日：2014-12-19
Applicant: 株式会社ORC制作所
Inventor： 早川壮则
IPC: H01J61/073 , H01J61/30
Abstract: 本发明提供一种放电灯，在封入有传热体的电极中，即使在灯点亮中，也能够稳定地维持电极强度。在放电灯中，通过使主体部件(32)与盖部件(36)固相接合而使阳极(30)成形，其中，主体部件(32)形成有装有传热体(M)的凹部(33)，盖部件(36)设置有与凹部(33)嵌合的突出部(46)。而且，在密闭空间(50)中，以从电极前端部朝向后端部变细的方式形成有凹部(33)，突出部表面(46S)附近的直径(DM)小于中间部的直径(DN)。
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公开(公告)号：CN106887369A
公开(公告)日：2017-06-23
申请号：CN201610816130.1
申请日：2013-09-09
Applicant: 株式会社ORC制作所 , 长野县
IPC: H01J9/04 , H01J61/073 , H01J61/86 , G03F7/20
CPC classification number: H01J61/86 , G03F7/70016 , H01J9/04 , H01J61/0732 , H01J61/0735
Abstract: 放电灯用电极的制造方法以及放电灯。本发明的放电灯用电极的制造方法是利用固相接合来制造放电灯用电极的方法，在本方法中，使柱状的前端固体部件与柱状的主体固体部件经由彼此的接合面进行固相接合，其中，所述前端固体部件构成电极前端部的至少一部分，且含有发射体，所述主体固体部件至少构成电极主体部，且具有直径比前端固体部件的接合面大的接合面，针对通过固相接合而生成的电极材料，以形成锥状的电极前端部的方式实施切削加工。
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公开(公告)号：CN105144340B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201480020370.X
申请日：2014-04-09
Applicant: 株式会社ORC制作所
CPC classification number: H05B41/24 , G03F7/70016 , G03F7/70291 , H01J61/025 , H01J61/0732 , H01J61/86
Abstract: 本发明的放电灯为具有沿水平方向配置的放电灯(22)和反射面为旋转抛物面的反射镜(21)的光源装置，在该光源装置中，放电灯(22)被配置在反射镜(21)的中心部，另一方面，灯中心轴(E)以从反射镜中心轴(T)起沿着铅直方向隔开距离(d)的方式平行地配置。
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公开(公告)号：CN106483773A
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：CN201610709282.1
申请日：2016-08-23
Applicant: 株式会社ORC制作所
Inventor： 中泽朗
IPC: G03F7/20 , G03F7/22 , H01L21/027
Abstract: 投影曝光装置、投影曝光方法以及掩模版，该投影曝光装置使用掩模版形成图案，在提升生产量的同时，将掩模图案精度良好地转印到基板上。投影曝光装置(10)使用形成有图案排列数分别不同的多个掩模域(F1～F4)的掩模版(R)，针对形成于基板(W)的投射区域(CP)确定运算区域(OA)，在位置对准误差量在允许误差以下时，选择最大尺寸的掩模域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106409646A
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201610607671.3
申请日：2016-07-28
Applicant: 株式会社ORC制作所
IPC: H01J61/50
Abstract: 得到一种短弧型放电灯，由于经由电极芯棒施加的应力而导致对接玻璃破损的可能性小。短弧型放电灯具有：在内部具有一对电极的发光管；与上述发光管的两端部连续设置的密封管；以及与上述一对电极分别连接的一对电极芯棒，经由对接玻璃将上述密封管与电极芯棒封接，在该短弧型放电灯中，在如下的位置处夹设有在灯径向上具有弹性的电极芯棒支承部件，该位置在灯轴向上比上述对接玻璃的部分靠外侧、且在上述灯径向上处于相对的上述密封管与上述电极芯棒之间。
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公开(公告)号：CN104584185B
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：CN201380038802.5
申请日：2013-07-24
Applicant: 东芝高新材料公司 , 株式会社ORC制作所
IPC: H01J61/06 , H01J9/02 , H01J61/073
CPC classification number: H01J9/02 , H01J61/0735 , H01J61/86
Abstract: 一种具有柱状的主干部与锥状的前端部的放电灯用阴极，所述阴极的至少一部分具有钨合金，该钨合金按照氧化物换算包含0.5～3.0wt％的钍成分，该钍成分分散成颗粒状，沿着径向截面、侧面方向截面在300×300μm2的区域中观察所述钨合金中的钨晶体粒径时，在径向截面，粒径处于1～100μm范围的钨晶体颗粒为90％以上，在侧面方向截面，粒径处于5～120μm范围的钨晶体颗粒为90％以上。
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公开(公告)号：CN105977130A
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201610130156.0
申请日：2016-03-08
Applicant: 株式会社ORC制作所
IPC: H01J61/02 , H01J61/04 , H01J61/06 , H01J61/073
CPC classification number: H01J61/02 , H01J61/04 , H01J61/06 , H01J61/073 , H01J61/0732
Abstract: 提供一种放电灯，其是短弧放电灯，该短弧放电灯在电极与电极芯棒之间设置金属体来抑制热传导，其中，使金属体与电极及电极芯棒成为良好的接合状态。在电极与电极芯棒之间的至少一部分夹设有热导率比电极低的金属体，在电极芯棒的与金属体相接的表层，设置金属体物质和电极芯棒物质混合存在的缓冲层，金属体的物质的密度从缓冲层的金属体侧向电极芯棒侧连续地减少。
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公开(公告)号：CN105374659A
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201510348951.2
申请日：2015-06-23
Applicant: 株式会社ORC制作所
Abstract: 本发明提供短弧放电灯及光源装置，能够防止在密封管内传播的光所造成的密封管及对开接合玻璃的破损、变形。本发明的短弧放电灯经由对开接合玻璃(7)密封接合与发光管连续设置的密封管、和支承配置在发光管内的电极的电极芯棒，所述短弧放电灯的特征在于，在密封管的表面设有光放射面和光反射面，将在密封管内传播的光从光放射面向外部放射。
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公开(公告)号：CN105280471A
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201510266132.3
申请日：2015-05-22
Applicant: 株式会社ORC制作所
CPC classification number: Y02B20/42
Abstract: 提供具有发送器的放电灯及其光源装置，能够严格地管理点亮的放电灯的灯信息，并恰当地进行点亮。在灯(1)所具有的灯供电线(5)上，以围着灯供电线(5)的方式安装发送器(6)。发送器(6)利用电流流过灯供电线(5)这一情况进行工作。发送器(6)将与灯的类型或累积点亮时间等信息对应的信号叠加到点亮电流而传递到光源装置，光源装置(7)参考该信号，进行能否继续点亮的判断、以及灯的点亮电力调整。通过在灯信息的传递中使用点亮电流，能够可靠地管理灯信息，能够始终安全地点亮。
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