用矢量化参数确定规则插入散射条配方的方法

    公开(公告)号:CN102508962B

    公开(公告)日:2013-08-07

    申请号:CN201110341221.1

    申请日:2011-11-02

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种用矢量化参数确定规则插入散射条配方的方法。本发明方法包括光刻模型、光学邻近校正、散射条参数初始化,载入一维图形,计算工艺窗口得到一维向量最优解,载入二维图形,计算工艺窗口得到二维向量最优。本发明能快速确定配方,减小边放置误差,改善工艺窗口,避免散射条刻出的现象出现,提高了集成电路的生产成品率和缩短了生产周期。

    一种晶片全自动目检机
    72.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102500554A

    公开(公告)日:2012-06-20

    申请号:CN201110308021.6

    申请日:2011-10-12

    Abstract: 本发明提供了一种晶片全自动目检机,属于机械技术领域。它解决了现有的技术中存在的工作效率比较低等技术问题。本晶片全自动目检机,包括一个机架,机架上设有取片转盘、检测转盘和收料盒,机架和取片转盘之间设有能将晶片输送至取片转盘上的进料机构,检测转盘和取片转盘之间设有能够将取片转盘上的晶片转移至检测转盘上预设位置的移料机构,检测转盘的上放和下方分别设有成像机构一和成像机构二,本目检机还包括一个与成像机构一和成像机构二相连的分析计算机,收料盒和检测转盘之间设有能够根据检测结果将检测转盘上的晶片放置在收料盒内不同位置的放料机构。本装置实现全自动化检测,相比目前通过人工目检方式,本装置能够提高工作效率。

    利用视场光阑实现多镜头成像拼接的方法及其系统

    公开(公告)号:CN1963594A

    公开(公告)日:2007-05-16

    申请号:CN200610154793.8

    申请日:2006-11-27

    Applicant: 浙江大学

    Inventor: 陈浙泊 林斌

    Abstract: 本发明公开了一种成像方法及其系统,旨在提供一种利用视场光阑实现多镜头成像拼接的方法及其系统。该方法包括:将大范围宽视场分成至少两个子视场,在子视场中设置成像系统;在每个成像系统的光学镜头组件前放置视场光阑;使用固体图像传感器对每个子视场分别成像;将固体图像传感器的信号传输至图像采集模块,并将模拟信号转换为数字信号;根据视场光阑的参数,使用计算机对各个子系统的图像进行拼接,并显示于计算机的显示器上。该系统包括上述设备及装置。本发明通过对光阑参数的调用建立计算模型,处理数据量大为减少,从而得到更为简便可行的图像拼接方法,该方法可以满足高实时性的大视场成像系统的要求。

    一种光学显微镜光电图像直接转换的装置

    公开(公告)号:CN1126968C

    公开(公告)日:2003-11-05

    申请号:CN00104607.1

    申请日:2000-03-16

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明涉及一种光学显微镜光电图像直接转换的装置。该装置是通过将CMOS成像传感器的光敏面与显微镜物镜的成像面重合,直接把光学图像转换成电学图像信号的。它包括具有定位凸台的筒状壳体,在壳体内自下而上依次安装了红外截止滤光片、CMOS成像传感器及CMOS驱动电路板。使用时,只要将该装置插入光学显微镜接目镜筒内即可。本发明结构简单,成本低,不需要任何中继光学系统就能实现高质量的光电图像转换。

    一种基于卷积神经网络检测莫尔条纹的高精度对位方法

    公开(公告)号:CN118864582B

    公开(公告)日:2025-02-18

    申请号:CN202410942357.5

    申请日:2024-07-15

    Applicant: 浙江大学

    Inventor: 林斌 颜建涛

    Abstract: 本发明公开了一种基于卷积神经网络检测莫尔条纹的高精度对位方法,包括标定阶段和对位阶段;在对位标记设计上,仅采用两对圆光栅标记,对位标记图案简单。圆光栅可以同时充当粗对位和精对位标记的作用,属于几何图像与相位信息相结合的对准的方法,相比传统的光强信息对位方法而言,不需要设计复杂的光学结构,具有更好的工艺适应性和更低的实现成本;相比单纯几何图像对位方法而言,本发明结合了圆光栅叠加产生的莫尔条纹可以放大微小位移的特性,可以实现高于像素级别的偏差测量;相比单纯的相位信息对准方法而言,本发明结合了使用光栅圆外轮廓定位作为粗对位的偏差测量,可以实现更大范围的偏差测量。

    一种360度全景三维扫描测量装置的标定方法

    公开(公告)号:CN118999405A

    公开(公告)日:2024-11-22

    申请号:CN202410942375.3

    申请日:2024-07-15

    Applicant: 浙江大学

    Inventor: 林斌 王尧

    Abstract: 本发明公开了一种360度全景三维扫描测量装置的标定方法,基于圆锥面的空间结构,标定过程简单且精度高,能够快速有效的实现360度全景三维扫描测量装置的标定,达到高精度的三维全景测量,提出的标定方法标定过程简单,数据采集简单,易于校准和后处理,棋盘格放置在全景环带相机视场的不同位置,能够高精度的全场标定全景环带相机的参数,通过计算各棋盘格图像棋盘格平面在相机坐标系下的三维空间平面方程,联立反射光线在相机坐标系下的方向向量,能够精确的得到用于拟合光锥面的输入数据,通过引入光锥面的模型,能够简化光锥面目标优化函数,为后续的非线性优化算法提供性能更好的优化目标,使得优化结果更准确。

    一种基于光度立体法的柔性OLED面板表面缺陷检测装置及检测方法

    公开(公告)号:CN118913632A

    公开(公告)日:2024-11-08

    申请号:CN202410976393.3

    申请日:2024-07-20

    Applicant: 浙江大学

    Inventor: 林斌 邵琪琦

    Abstract: 本发明公开了一种基于光度立体法的柔性OLED面板表面缺陷检测装置及检测方法,通过初步检测,获取缺陷方向、位置信息,以此计算合适的打光方案;再依据打光方案,利用可编程多角度穹顶光源配合相机,获取图像,并利用光度立体法,进行后续的处理;最后,利用检测模型,实现对柔性OLED面板表面缺陷的检测。本发明可针对柔性OLED面板的柔性产品曲翘、缺陷类型复杂多样的特性,使划痕、裂纹类需特定角度下才能凸显缺陷信息的缺陷、微小缺陷在成像上更为明显,增加后续缺陷检测的全面性和准确率;有效解决部分缺陷二维形态上表现相似难分类识别的问题;减少了人工目检的人工成本,提高了识别准确率,且具有较强的泛化能力。

    一种实时电价驱动的户用光储系统能量管理方法

    公开(公告)号:CN117638850A

    公开(公告)日:2024-03-01

    申请号:CN202210665984.X

    申请日:2022-06-13

    Abstract: 本发明涉及电力与能源技术,旨在提供一种实时电价驱动的户用光储系统能量管理方法。首先判断光储系统中光伏输出功率与负荷功率是否相等;若相等,则储能电池不充不放,光伏输出功率全部供给家用负荷;若不相等,则根据电池SOC信息、光储系统度电成本与当前购电价比较信息,以及储能电池放电补充功率的缺额或盈余情况,来决定只有储能电池参与充放电或由储能电池与电网共同参与调节;其中,在光储系统度电成本低于当前购电成本时,储能电池满足放电条件,否则满足充电条件。本发明可使户用光储系统在实时电价机制内,以户用光储系统运行成本最低为目标,控制储能系统的充放电,实现户用光储系统经济高效运行,同时满足储能电池安全性的要求。

    一种基于ZYNQ的面向高分辨率视频背景减法的下采样和上采样耦合框架方法及装置

    公开(公告)号:CN117611614A

    公开(公告)日:2024-02-27

    申请号:CN202311476376.5

    申请日:2023-11-08

    Applicant: 浙江大学

    Inventor: 林斌 韩宇涛

    Abstract: 本发明公开了一种基于ZYNQ的面向高分辨率视频背景减法的下采样和上采样耦合框架方法及装置,在下采样过程中计算两者的耦合矩阵,通过引入耦合矩阵有效地降低了下采样处理产生的精度损失。并且在计算耦合矩阵时,通过边缘检测等处理方法减小了计算量,降低了逻辑资源消耗量。ZYNQ芯片是赛灵思公司(Xilinx)推出的新一代可编程片上系统,ZYNQ的本质特征,是它组合了ARM处理器和传统的现场可编程门阵列(FPGA)逻辑部件,即包含逻辑部分(PL)和处理器部分(PS),本发明中逻辑部分包含DMA模块,访问内存采用直接内存访问(DMA)的方式,降低了处理器负载,提高了整体处理速度。背景减法在ZYNQ的处理器部分实现,提高了背景减法算法实现的灵活性,方便在不同环境下使用。

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