一种高性能TiAlSiN纳米复合涂层及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN108456843A

    公开(公告)日:2018-08-28

    申请号:CN201810053431.2

    申请日:2018-01-19

    IPC分类号: C23C14/02 C23C14/06 C23C14/32

    摘要: 本发明公开了一种高性能TiAlSiN纳米复合涂层及其制备方法和应用,该复合涂层包括Cr结合层、CrN过渡层和TiAlSiN功能层;其中,所述的CrN过渡层中各元素的原子百分比含量为:Cr:40~75at.%和N:25~60at.%,所述的TiAlSiN功能层中各元素的原子百分比含量为:Ti:15~55at.%,Al:14~50at.%,Si:2~12at.%,N:12~53at.%。脉冲电弧制备出的该复合涂层具有非晶a-Si3N4包裹纳米晶nc-TiAlN的纳米复合结构,具有组织结构致密、表面光滑、应力地,且高温下摩擦系数低的特性。主要应用在机械零部件和刀模具表面防护领域。

    一种石英晶振片的制备方法

    公开(公告)号:CN108239743A

    公开(公告)日:2018-07-03

    申请号:CN201711365599.9

    申请日:2017-12-18

    IPC分类号: C23C14/02 C23C14/08 C23C14/18

    摘要: 本发明涉及石英晶振片技术领域,具体涉及一种石英晶振片的制备方法,包括依次在石英晶体片上镀制金层,氧化物层和金属导电层;所述氧化物层为二氧化钛或二氧化锆,该氧化物层的厚度为15~20nm;所述金属导电层选自银、铝、锡中的一种;本发明提供的石英晶振片的制备方法,简单方便,对镀金电极晶振片进行处理后使其既适用于低应力膜料的厚度监测,又适用于高应力膜料的厚度监测;同时,在酸洗时不会伤及底层的镀金层,延长了石英晶振片的使用寿命,提高了生产效率,无需在使用完后将晶振片返回原厂进行重镀,不仅显著的降低了成本,同时提高了生产效率。