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公开(公告)号:CN103857994A
公开(公告)日:2014-06-11
申请号:CN201280049225.5
申请日:2012-09-10
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: H01L31/1896 , G01J3/02 , G01J3/0259 , G01J3/26 , G01J3/2803 , G01J3/36 , G01J2003/1234 , G02B5/28 , G02B5/284 , H01L31/0232
Abstract: 分光传感器(1)的制造方法具备:第1工序,通过对被设置于处理基板上的表面层实施蚀刻从而形成空腔层(21);第2工序,在第1工序之后将第1镜层(22)形成于空腔层(21)上;第3工序,在第2工序之后将光透过基板(3)接合于第1镜层(22)上;第4工序,在第3工序之后从空腔层(21)除去处理基板;第5工序,在第4工序之后将第2镜层(23)形成于已除去了处理基板的空腔层(21)上;第6工序,在第5工序之后将光检测基板(4)接合于第2镜层上。
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公开(公告)号:CN102301213B
公开(公告)日:2014-05-07
申请号:CN200980155546.1
申请日:2009-12-10
Applicant: 西利奥斯技术公司
IPC: G01J3/26
CPC classification number: G01J3/26 , G01J3/02 , G01J3/0256 , G01J3/10 , G01J3/45
Abstract: 本发明涉及波长光谱学装置,其在一基片上包括一滤光栅元CF,所述滤光栅元包括两个镜片,两个镜片通过一隔膜隔开,该滤光栅元由多个干涉滤光器形成。此外,该装置包括一发射栅元CE,发射栅元包括多个发射源,每个发射源与干涉滤光器之一相关联。
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公开(公告)号:CN103487144A
公开(公告)日:2014-01-01
申请号:CN201310384789.0
申请日:2013-08-29
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Abstract: 消杂光能力稳定的双光栅分光系统封装结构,属于光栅分光技术领域,为解决现有光栅分光仪外壳封装存在的问题,本发明第一反射镜和刻线光栅、第二反射镜、第三反射镜和刻线光栅、第四反射镜分别封装于宽波段粗略吸收腔、宽波段精细吸收腔、窄波段粗略吸收腔及窄波段精细吸收腔中;第一平行光阑置于宽波段粗略吸收腔和宽波段精细吸收腔分隔板的相交处,第一会聚光阑置于波段精细吸收腔和窄波段粗略吸收腔分隔板的相交处,第二平行光阑置于窄波段粗略吸收腔和窄波段精细吸收腔分隔板的相交处,第二会聚光阑置于窄波段精细吸收腔的光路最终岀射处,消光陷阱安装在双光栅分光系统的一次和二次散射面上;各腔体内表面以及消光陷阱内外表面均涂有黑涂料。
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公开(公告)号:CN1977206B
公开(公告)日:2013-07-24
申请号:CN200580021873.X
申请日:2005-06-24
Applicant: 高通MEMS科技公司
CPC classification number: G02B26/001 , G02B26/0841
Abstract: 本发明揭示一种调制器,其具有一带有一第一表面的透明衬底。至少一个干涉式调制器元件驻留于所述第一表面上。至少一个电连接至所述元件的薄膜电路组件驻留于所述表面上。当多于一个干涉式元件驻留于所述第一表面上时,有至少一个薄膜电路组件对应于驻留于所述第一表面上的每一元件。
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公开(公告)号:CN102901562A
公开(公告)日:2013-01-30
申请号:CN201210260839.X
申请日:2012-07-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 吉泽隆彦
IPC: G01J3/26
CPC classification number: G01J3/427 , B81C1/00007 , B81C1/00126 , B81C1/0015 , G01J3/0278 , G01J3/0291 , G01J3/513
Abstract: 本发明提供倾斜结构体、倾斜结构体的制造方法、以及分光传感器。倾斜结构体的制造方法包括:在基板的上方形成牺牲膜的工序(a);在牺牲膜的上方形成第一膜的工序(b);形成第二膜的工序(c),所述第二膜包括:与基板连接的第一部分、与第一膜连接的第二部分、位于上述第一部分和上述第二部分之间的第三部分;去除牺牲膜的工序(d);在工序(d)之后使第二膜的上述第三部分弯曲,从而使第一膜相对于基板而倾斜的工序(e)。
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公开(公告)号:CN102680104A
公开(公告)日:2012-09-19
申请号:CN201210165019.2
申请日:2012-05-25
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明涉及一种基于光纤法布里-珀罗微型腔的色度仪,属于色度仪器研制领域。主要包括标准光源、传输光纤、阵列式法布里-珀罗微型腔干涉采集模块、信号处理模块和显示屏。标准光源的光耦合至Y形光纤入射端,并由Y形光纤探头出射,照射至待测物体表面;光线经待测物体表面反射后由Y形光纤探头传输至Y形光纤出射端,出射端与阵列式法布里-珀罗微型腔干涉采集模块相连;阵列式法布里-珀罗微型腔干涉采集模块采集到Y形光纤出射端输入光线的干涉光强后,将其干涉信号输入至信号处理模块;信号处理模块对采集的信号进行傅里叶变换处理后,获得待测物体的表面色度并显示于显示屏上。这种色度仪器具有测量精度高,体积小和测量方便等优点。
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公开(公告)号:CN102636828A
公开(公告)日:2012-08-15
申请号:CN201210028988.3
申请日:2012-02-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , B81B7/0035 , G01J3/26
Abstract: 本发明提供了一种波长可变干涉滤波器及其制造方法、光模块、光分析装置,该波长可变干涉滤波器包括:第一基板,具有固定镜;第二基板,与第一基板接合,包括可动部和固定在可动部上的可动镜;第三基板,在与第一基板相反的一侧上与第二基板接合;以及静电致动器,使可动部沿基板相对方向移位,其中,形成有使第一基板和第二基板之间的出射侧空间以及第二基板和第三基板之间的入射侧空间与外部连通的贯通孔,贯通孔被密封材料密封,以将各空间密闭为减压状态。
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公开(公告)号:CN100465596C
公开(公告)日:2009-03-04
申请号:CN03132793.1
申请日:2003-09-19
Applicant: 三丰株式会社
Inventor: 迈克尔·内厄姆 , 约瑟夫·D·托比亚森 , 金·W·阿瑟顿
CPC classification number: G01J9/00
Abstract: 本发明公开了一种在高分辨率测量系统中测量波长变化的方法和设备。两个光束以不同角度穿过基本相同的滤光器,产生两个不同的与功率和/或温度变化类似地动作的输出信号。两个光束经过同一滤光器的两个部分进行滤光。可在滤光器上安装衍射光栅,用来将入射辐射分裂成第一和第二光束。然后光束以不同的角度穿过滤光器,产生两个输出信号,可结合用来补偿共模误差和功率变化。可获得极小的尺寸和高分辨率。还可利用一个或多个检测器。基于直接的温度测量或基于由经过具有与前两个光束使用的滤光器不同温度依存性的滤光器的其它两个光束导出的输出,也可补偿滤光器的温度灵敏度。
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公开(公告)号:CN100405029C
公开(公告)日:2008-07-23
申请号:CN200310111185.5
申请日:2003-12-09
Applicant: 重庆大学
Abstract: 本发明涉及一种微型集成化变折射率法-珀腔光谱探测器,包括入射光纤、微透镜、变折射率法-珀腔阵列、光电探测器阵列和信号获取电路。由反射膜和变折射率介质形成法-珀腔阵列,每一个法-珀腔只能透过某一种波长的光波,从而形成一系列光学滤波器,由入射光纤入射的光经过微透镜,形成平行光束,经过珀-腔阵列在光电探测器阵列上形成相应的光谱电信号,光电探测阵列上不同位置的光谱电信号对应了不同的光波长的强度,经过计算机可以将该光谱电信号转变成相应的光谱谱图。本发明具有高光通量、高灵敏度、较高分辨率、体积很小、无活动部件、可集成化、成本低等特点,是进行弱光谱信号信号检测的理想器件,可广泛用于生化、医学、刑侦、环境、国防等领域。
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公开(公告)号:CN100401027C
公开(公告)日:2008-07-09
申请号:CN200510043037.3
申请日:2005-07-23
Applicant: 中国科学院西安光学精密机械研究所
Abstract: 一种高稳定度干涉成像光谱仪的成像方法及实现该方法的光谱仪,其准直透镜将来自目标的光转换成平行光束,经分束器后分为反射光束IF和透射光束IT。反射光束IF经转镜和角反射器多次反射后回到分束器,由傅立叶透镜会聚到探测器,形成第一束光的光程。透射光束IT经角反射器和分束器多次反射后回到分束器,由傅立叶透镜会聚到探测器,形成第二束光的光程。两束光到达探测器时产生光程差,在探测器上产生干涉光谱图。干涉光谱图经计算机处理系统傅立叶变换,得到复原的目标图像。本发明解决了背景技术只能对单象素取样,或系统结构复杂、稳定性差等技术问题,其实时性好,尤适于对大目标的大面积扫描。
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