公开(公告)号：CN1391139A

公开(公告)日：2003-01-15

申请号：CN02121837.4

申请日：2002-06-07

Applicant: 住友精密工业株式会社

Inventor： 菅长大辅 ,  井上浩一 ,  星辰也 ,  近藤友喜

IPC: G03F7/26 ,  H01L21/31 ,  G02F1/1333

Abstract: 本发明涉及一种基板处理装置，在使用因蚀刻液和剥离液等药液而受浸蚀的基板的情况下，防止在该基板的背面因局部浸蚀而发生污点。在药液处理部的入口部分设置浸泡槽(37)。浸泡槽(37)被配置于基板(100)的传送线的下方，使药液溢出而接触基板(100)的整个背面。通过与该药液的接触，一旦基板(100)的背面均匀地浸润，则只要其背面不干燥，即使药液通过药液的回入和与传送滚轮的接触局部附着于基板(100)的背面，也不发生污点。

公开(公告)号：CN1391138A

公开(公告)日：2003-01-15

申请号：CN02121836.6

申请日：2002-06-07

Applicant: 住友精密工业株式会社

Inventor： 菅长大辅 ,  藤根修 ,  关口明

IPC: G03F7/26 ,  G02F1/1333

Abstract: 本发明涉及一种基板处理装置，在使用因蚀刻液和剥离液等药液而受到浸蚀的基板的情况下，防止在该基板的背面因局部浸蚀而发生污点。在药液处理部的入口部分设置浸泡槽(37)。浸泡槽(37)被配置于基板(100)的传送线的下方，使药液溢出来接触基板(100)的整个背面。一旦与该药液的接触，则基板(100)的背面均匀地浸润后，只要其背面不干燥，通过药液的回入和与传送滚轮的接触，即使药液局部附着于基板(100)的背面，也不发生污点。

公开(公告)号：CN118891485A

公开(公告)日：2024-11-01

申请号：CN202380028354.4

申请日：2023-03-17

Applicant: 住友精密工业株式会社

Inventor： 田边章裕 ,  花房翔大 ,  安东贤二

IPC: F28D15/04 ,  B22F10/28 ,  F28D15/02

Abstract: 一种沸腾式冷却器(100)的制造方法，该沸腾式冷却器(100)具备通过与发热体(HS)的热交换使制冷剂沸腾的沸腾部(10)以及使通过沸腾部而沸腾的制冷剂冷凝并返回沸腾部的冷凝部(20)，该沸腾式冷却器(100)的制造方法包括形成冷凝部的工序以及形成沸腾部的工序。形成沸腾部的工序包括：通过层叠造型来形成设在发热体的与安装面(11a)相反的一侧的面(11b)且与制冷剂接触的沸腾面部(13)的至少一部分的工序。

公开(公告)号：CN118647838A

公开(公告)日：2024-09-13

申请号：CN202380020111.6

申请日：2023-01-19

Applicant: 住友精密工业株式会社

Inventor： 冲元直树

IPC: G01C19/5684

Abstract: 在该振动型陀螺仪元件(100)中，电极(40)包括一次驱动电极(PD)、一次检测电极(PPO)、二次检测电极(SPO)及二次驱动电极(SD)。一次驱动电极、一次检测电极、二次检测电极及二次驱动电极以在替换前后将成为替换对象的电极的位置和电流方向作为基准维持与周边的电极的电位差的方式设定有电连接。

公开(公告)号：CN117043386A

公开(公告)日：2023-11-10

申请号：CN202280023662.3

申请日：2022-02-14

Applicant: 住友精密工业株式会社

Inventor： 山口征隆

IPC: C23C14/34

Abstract: 该溅射装置(100)具备挡板(50)，该挡板(50)构成为能够在从靶(1)遮蔽成膜对象物(2)的挡板关闭位置(50a)与从挡板关闭位置(50a)向排气泵(30)侧移动并配置在成膜中的挡板退避位置(50b)之间移动。并且具备板状反射板(60和70)，其配置在排气泵(30)与配置于挡板退避位置(50b)的退避状态的挡板(50)之间，反射来自退避状态的挡板(50)的对排气泵(30)的热辐射。

公开(公告)号：CN115280099A

公开(公告)日：2022-11-01

申请号：CN202180021348.7

申请日：2021-03-23

Applicant: 住友精密工业株式会社

Inventor： 森口孝文

IPC: G01C19/5776 ,  G01C19/567

Abstract: 该振动型角速度传感器(100)中，初级侧控制电路(2)和次级侧控制电路(3)构成为，能够更换作为初级侧控制电路(2)的功能和作为次级侧控制电路(3)的功能，更换后的偏移值和更换前的偏移值为相对于规定的基准值对称的值。

公开(公告)号：CN113244836A

公开(公告)日：2021-08-13

申请号：CN202110095785.5

申请日：2021-01-25

Applicant: 住友精密工业株式会社

Inventor： 冈本岬

IPC: B01F15/00 ,  B01F15/04 ,  B01F3/04

Abstract: 本发明提供一种能够使臭氧浓度快速地收敛于目标浓度的臭氧水制造装置。控制部(80)在从停止控制切换为供给控制之后，当臭氧浓度C经由比目标浓度Cset低的下降拐点而比第一阈值C1升高时，执行停止控制。第一阈值C1是基于目标浓度Cset和与下降拐点对应的臭氧浓度即最小值Cmin而求出的、最小值Cmin与目标浓度Cset之间的值。

公开(公告)号：CN107425213B

公开(公告)日：2020-09-04

申请号：CN201710132279.2

申请日：2013-09-03

Applicant: 住友精密工业株式会社

Inventor： 上荷広之

IPC: H01M8/242 ,  H01M8/2425 ,  H01M8/04089 ,  H01M8/00

Abstract: 多个被层叠的燃料电池(1)的发电元件(2)包括板状的电池单元(10)、正极板(30)以及负极板(20)。正极板(30)包括燃料供气歧管(4)、多条第一气体流路(35)以及第二气体流路(61)。在与第二气体流路(61)的气体进入口(38)相对的相对面上设置限制部(80)，该限制部(80)限制从燃料供气歧管(4)经由气体进入口(38)流入到第二气体流路(61)的燃料气体流入第一气体流路(35)。

公开(公告)号：CN108291539B

公开(公告)日：2019-08-09

申请号：CN201780003969.6

申请日：2017-02-09

Applicant: 住友精密工业株式会社

Inventor： 竹田博昭

IPC: F04C2/18 ,  F04C15/00

CPC classification number: F04C2/18 ,  F04C15/00

Abstract: 本发明的液压装置具备：一对螺旋齿轮(20、25)；本体(2)，收纳齿轮(20、25)；轴承部件(40、45)，支撑齿轮(20、25)；侧板(30、135)，设置在齿轮(20、25)与轴承部件(40、45)之间；及密封部件(50、55)，设置在侧板(30、135)与轴承部件(40、45)之间。齿轮(20、25)在特定的滑动接触角度范围内与本体(2)的内周面(3a)滑动接触。对侧板(135)，在与滑动接触角度范围内对应的各区域内与背面区域(56)的高压区域对应的位置，穿设分别贯通到正面及背面的贯通孔。由滑动接触角度范围内的最前方的齿部、它后续的齿部、侧板(135)及内周面(3a)包围的低压区域与背面区域(56)的高压区域经由贯通孔而连通。

公开(公告)号：CN106884789B

公开(公告)日：2019-05-21

申请号：CN201610874677.7

申请日：2016-09-30

Applicant: 住友精密工业株式会社

Inventor： 常富信秀

IPC: F04C2/18 ,  F04C15/00

Abstract: 本发明提供一种液压装置，并排设置有具备螺旋齿轮的两个液压机构部，且制造成本低廉，保养容易。第一及第二液压机构部以第一旋转轴与第三旋转轴成为同轴的方式并排设置，在第一及第二主体之间配设有中间板。第一主体被前部板密封，第二主体被后部板密封。第一旋转轴的后侧轴端部与第三旋转轴的前侧轴端部一体地连结在旋转方向及轴向上。在后部板上，在与第三旋转轴的后部端面对向的部分形成了台阶状的第一汽缸孔，且与其同样为台阶状的第一活塞嵌插在该第一汽缸孔中。另外，形成了通往第一液压室的高压侧及大径汽缸室的第一流路，形成了通往第二液压室的高压侧及小径汽缸室的第二流路。