公开(公告)号：CN101467100B

公开(公告)日：2012-06-06

申请号：CN200780021536.X

申请日：2007-06-13

Applicant: 日产化学工业株式会社

Inventor： 畑中真 ,  小林淳平

IPC: G03F7/039 ,  H01L21/027 ,  G03F7/004

CPC classification number: G03F7/0392 ,  G03F7/0045

Abstract: 本发明的课题在于提供一种正型感光性树脂组合物，其具有很高的灵敏度且未曝光部的膜厚减少小，在膜形成后、即使经过高温烘烤或抗蚀剂剥离液处理也能够维持高的透射率和膜厚，并且在ITO溅射时不产生裂纹，还适合各种显示器的膜材料的固化膜。本发明通过提供下述正型感光性树脂组合物和使用该组合物获得的固化膜而解决了上述课题，所述正型感光性树脂组合物，含有：(A)成分：碱溶性丙烯酸聚合物，其具有选自羧基和酚式羟基中的至少一种、以及选自酚式羟基以外的羟基和具有活性氢的氨基中的至少一种，并且，其数均分子量为2000～30000；(B)成分：在主链中具有环结构的碱溶性树脂；(C)成分：具有乙烯基醚基的化合物；(D)成分：具有封端异氰酸酯基的化合物；(E)成分：光酸发生剂；(F)溶剂。

公开(公告)号：CN101809057A

公开(公告)日：2010-08-18

申请号：CN200880109756.2

申请日：2008-10-16

Applicant: 日产化学工业株式会社

Inventor： 畑中真 ,  安达勲

IPC: C08G59/42 ,  C08L63/00 ,  C08L67/00 ,  C09D163/00 ,  C09D167/00 ,  G02F1/1337 ,  C08G63/12 ,  C08K5/3415

CPC classification number: C08L67/00 ,  C08K5/3415 ,  C08L63/00 ,  C09D163/00 ,  C08L2666/22 ,  C08L2666/18

Abstract: 本发明提供在固化膜形成后显示高耐溶剂性、液晶取向性、耐热性、高透明性和高平坦化性，而且在固化膜形成时可适用于滤色器的平坦化膜的生产线、可溶解于二醇类溶剂或乳酸酯类溶剂的材料。本发明提供含有成分(A)和成分(B)的热固化膜形成用聚酯组合物。成分(A)：包含下述式(1)所表示的结构单元的聚酯，成分(B)：具有2个以上环氧基的环氧化合物。(式中，A、B表示包含环结构的有机基团。)

公开(公告)号：CN101040221B

公开(公告)日：2010-06-16

申请号：CN200580034611.7

申请日：2005-09-27

Applicant: 日产化学工业株式会社

Inventor： 畑中真 ,  榎本智之 ,  木村茂雄

IPC: G03F7/11 ,  C08G59/42 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/091 ,  C09D163/00 ,  G03F7/0382

Abstract: 本发明的课题在于提供一种形成下层防反射膜的组合物，其在半导体器件制造的光刻工序中使用、并且用于形成可通过光致抗蚀剂用碱性显影液进行显影的下层防反射膜，还提供一种使用该形成下层防反射膜的组合物的光致抗蚀剂图形的形成方法。本发明通过提供下述组合物解决了上述课题，即，一种形成下层防反射膜的组合物，其含有：聚酰胺酸、具有2个以上的环氧基的交联性化合物、芳香族磺酸酯化合物、光酸发生剂及溶剂。

公开(公告)号：CN101679633A

公开(公告)日：2010-03-24

申请号：CN200880020228.X

申请日：2008-06-12

Applicant: 日产化学工业株式会社

Inventor： 畑中真 ,  小林淳平 ,  D·A·樱叶汀

IPC: C08G73/10 ,  C08J5/18 ,  C08L79/08 ,  G02F1/1337

CPC classification number: C08G73/10 ,  C08J5/18 ,  C08J2379/08 ,  G02F1/133723

Abstract: 本发明的课题是提供热固化膜形成用树脂组合物，该组合物能够形成具有液晶取向性，且可实现高透明性、高平坦性的固化膜。作为本发明的解决问题的方法是，含有(A)成分和(B)成分的热固化膜形成用树脂组合物。(A)成分：具有下述式(1)和式(2)所示结构单元的聚酰亚胺前体，(B)成分：双马来酰亚胺化合物。(式中，A 1 是含脂环结构的有机基团，A 2 是含有具有含脂肪族环与苯环缩合而成的结构的有机基团的结构的有机基团，B 1 和B 2 中的至少一者是含-SO 2 -结构的有机基团，R 1 、R 2 、R 3 、R 4 分别独立地表示氢原子或碳原子数1～7的有机基团)。

公开(公告)号：CN100535750C

公开(公告)日：2009-09-02

申请号：CN200480024583.6

申请日：2004-08-27

Applicant: 日产化学工业株式会社

Inventor： 畑中真 ,  榎本智之 ,  木村茂雄

IPC: G03F7/11 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/091 ,  Y10S438/952

Abstract: 本发明的课题在于提供一种形成防反射膜的组合物，所述防反射膜是在半导体器件制造的光刻工序中使用的、用于形成可通过光致抗蚀剂用碱性显影液进行显影的防反射膜，还提供一种使用该形成防反射膜的组合物的光致抗蚀剂图形的形成方法。本发明通过提供下述组合物解决了上述课题，即，一种形成防反射膜的组合物，其包含：由四羧酸二酐化合物和具有至少一个羧基的双胺化合物制造出的聚酰胺酸、具有至少2个环氧基的化合物、及溶剂。

公开(公告)号：CN101443704A

公开(公告)日：2009-05-27

申请号：CN200780017560.6

申请日：2007-05-16

Applicant: 日产化学工业株式会社

Inventor： 畑中真

IPC: G03F7/075 ,  G03F7/004 ,  G03F7/023

CPC classification number: G03F7/0233 ,  G03F7/0757

Abstract: 本发明的目的是提供感光性树脂组合物，其能够容易地以高精度和高产量形成膜图案，该膜图案即使在等离子体等处理后图案表面也具有高拒水性，并且具有绝缘性，并提供使用这样的正型感光性树脂组合物得到的、适合用于各种显示器膜材料中的固化膜。本发明解决问题的方法是，提供正型感光性树脂组合物，其含有(A)成分：(i)与(ii)共聚得到的碱溶性树脂，(i)不饱和羧酸，(ii)选自丙烯酸酯化合物、甲基丙烯酸酯化合物、马来酰亚胺、丙烯腈、马来酸酐、苯乙烯化合物和乙烯基化合物中1种以上的化合物，(B)成分：数均分子量为100～2000的硅氧烷化合物，(C)成分：1，2－醌二叠氮化合物，(D)成分：交联性化合物，(E)溶剂，并提供使用该组合物得到的固化膜。

公开(公告)号：CN100468195C

公开(公告)日：2009-03-11

申请号：CN03808439.2

申请日：2003-04-18

Applicant: 日产化学工业株式会社

Inventor： 畑中真 ,  仁平贵康

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/022 ,  G03F7/40

CPC classification number: G03F7/0233 ,  G03F7/0007 ,  G03F7/0226

Abstract: 本发明提供了能够用一般浓度的氢氧化四甲铵水溶液显像，灵敏度高，析像度优良，且耐热性、平坦化程度、透明度和低吸水性等特性良好的正型感光性树脂组合物。还提供了使用该组合物形成具备半圆形或梯形等任意截面的图案的图案形成方法。本发明的正型感光性树脂组合物包含碱可溶性树脂、1，2-苯醌二叠氮化合物、含有2个以上的环氧基的交联性化合物和表面活性剂，上述碱可溶性树脂是以含有羧基的丙烯酸单体和含有羟基的丙烯酸单体及N-取代马来酰亚胺为必须成分的共聚物。通过改变该组合物的后烘焙条件获得具备半圆形或梯形等任意截面的图案形状。

公开(公告)号：CN1254510C

公开(公告)日：2006-05-03

申请号：CN02814934.3

申请日：2002-07-15

Applicant: 日产化学工业株式会社

Inventor： 畑中真 ,  D·A·沙哈德 ,  仁平贵康

IPC: C08L79/08 ,  G03F7/038 ,  G02B5/20 ,  G09F9/30 ,  H05B33/14 ,  H05B33/12 ,  H05B33/22

CPC classification number: G03F7/0757 ,  C08G73/10 ,  C08G73/1039 ,  C08L79/08 ,  C08L2205/02 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/037 ,  G03F7/0387 ,  C08L2666/20

Abstract: 本发明提供了能够获得聚酰亚胺树脂的隔壁形成用聚酰胺酸树脂组合物，该聚酰胺酸树脂组合物的涂膜性、对基板的粘合性良好，可利用正型光刻胶形成布线图形，形成图形后转变为聚酰亚胺，获得涂膜上部具备低表面能量的聚酰亚胺树脂。该聚酰胺酸树脂组合物含有作为基本成分的聚酰胺酸[a]和具有碳原子数2以上的含氟烷基的聚酰胺酸[b]，对应于聚酰胺酸[a]和聚酰胺酸[b]的总量，聚酰胺酸[b]的含量为0.1～30重量%。

公开(公告)号：CN1646991A

公开(公告)日：2005-07-27

申请号：CN03808439.2

申请日：2003-04-18

Applicant: 日产化学工业株式会社

Inventor： 畑中真 ,  仁平贵康

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/022 ,  G03F7/40

CPC classification number: G03F7/0233 ,  G03F7/0007 ,  G03F7/0226

Abstract: 本发明提供了能够用一般浓度的氢氧化四甲铵水溶液显像，灵敏度高，析像度优良，且耐热性、平坦化程度、透明度和低吸水性等特性良好的正型感光性树脂组合物。还提供了使用该组合物形成具备半圆形或梯形等任意截面的图案的图案形成方法。本发明的正型感光性树脂组合物包含碱可溶性树脂、1，2－苯醌二叠氮化合物、含有2个以上的环氧基的交联性化合物和表面活性剂，上述碱可溶性树脂是以含有羧基的丙烯酸单体和含有羟基的丙烯酸单体及N－取代马来酰亚胺为必须成分的共聚物。通过改变该组合物的后烘焙条件获得具备半圆形或梯形等任意截面的图案形状。

公开(公告)号：CN1468391A

公开(公告)日：2004-01-14

申请号：CN01816823.X

申请日：2001-10-03

Applicant: 日产化学工业株式会社

Inventor： 畑中真 ,  中山宽晴 ,  仁平贵康

IPC: G03F7/037 ,  G03F7/022 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0233

Abstract: 本发明的正感光性树脂组合物是一种表面疏水性优良的正感光性聚酰亚胺的树脂组合物，它含有成分〔a〕、成分〔b〕、成分〔c1〕或成分〔c2〕，成分〔c1〕或成分〔c2〕占聚合物总重量的0.1～50重量％，〔a〕为含有选自酚式羟基、羧基、苯硫酚基、磺酸基的基团的溶剂溶解性聚酰亚胺，〔b〕为感光性邻醌二叠氮化合物，〔c1〕为含有以式(2)表示的重复单元的聚酰亚胺，〔c2〕为含有以式(3)表示的重复单元的聚酰胺酸。(R3及R5为4价的有机基，R4及R6为含有含碳数为6以上的长链烷基或含氟烷基的2价的有机基。)