一种功率二极管器件
    81.
    发明授权

    公开(公告)号:CN113555416B

    公开(公告)日:2021-12-31

    申请号:CN202111107648.5

    申请日:2021-09-22

    IPC分类号: H01L29/06 H01L29/868

    摘要: 一种功率二极管器件,其元胞结构包括:n型轻掺杂浓度的漂移区,所述n型轻掺杂浓度的漂移区的上部平面相接触的设有阳极结构,所述n型轻掺杂浓度的漂移区的下部平面相接触的设有阴极结构,所述阳极结构由至少一个p型重掺杂浓度的阳极区和至少一个的p型中等掺杂浓度的槽型阳极区构成,所述阴极结构由至少一个n型重掺杂浓度的阴极区和至少一个p型重掺杂浓度的阴极区构成,所述p型重掺杂浓度的阴极区与所述n型重掺杂浓度的阴极区通过第一背面槽型介质区以及第二背面槽型介质区相互隔离。本发明与普通PiN功率二极管相比,本发明提供的功率二极管能够降低反向恢复电荷以及提高反向恢复软度,消除反向恢复过程中的电流和电压的震荡。

    一种用于瞬态抑制器的低触发高鲁棒性SCR器件及保护电路

    公开(公告)号:CN113571513A

    公开(公告)日:2021-10-29

    申请号:CN202111111116.9

    申请日:2021-09-23

    IPC分类号: H01L27/02

    摘要: 本发明提供一种用于瞬态抑制器的低触发高鲁棒性SCR器件及保护电路,通过第一N型重掺杂区、第一P阱、N阱以及与阳极端口连接的第二P型重掺杂区构成了第一个SCR器件;通过与阳极端口连接的第二P型重掺杂区、第二P阱、N阱以及与阴极端口连接的第三N型重掺杂区构成了第二个SCR器件;同时通过第二P阱、N阱、第一栅氧化层、第二栅氧化层构成了RC电路;通过第三N型重掺杂区、第四N型重掺杂区和第二栅氧化层构成了寄生NMOS器件,提高了SCR器件的可控性和运行可靠性。

    一种芯片生产线的镍废水处理方法

    公开(公告)号:CN105293608A

    公开(公告)日:2016-02-03

    申请号:CN201510869340.2

    申请日:2015-12-02

    IPC分类号: C02F1/04

    摘要: 本发明公开了一种芯片生产线的镍废水处理方法,属于芯片生产废水处理技术领域。所述废水处理方法包括废水收集、废水蒸发、废气处理和固体废渣处理;所述废水蒸发是在蒸发室内通入高温气体进行加热蒸发,蒸发时间为12~16h,蒸发温度为180~220℃。本发明通过物理蒸发方法将废水进行分离后,分别处理,具有方法简单、处理效果高、不使用化学试剂,对环境友好的优点。

    一种晶圆玻璃浆刮涂装置
    89.
    实用新型

    公开(公告)号:CN219965455U

    公开(公告)日:2023-11-07

    申请号:CN202321594716.X

    申请日:2023-06-21

    IPC分类号: B05C13/02 B05C11/10

    摘要: 一种晶圆玻璃浆刮涂装置,包括:工作台、承载组件、刮涂组件。工作台顶面设有限位环;承载组件设于工作台上,包括沿竖直方向移动并且绕自身轴线转动的承载座,承载座设于限位环内,用于承载晶圆,承载座下方设有与之同步转动的支撑座,支撑座及承载座上均设有贯穿的气孔,用于吸附晶圆;刮涂组件包括沿竖直方向移动的升降板,升降板上安装有转动的刮板,用于刮涂玻璃浆。工作台上还设有上下贯穿的通孔,通孔直径小于承载座的直径,承载座底面设有限位槽,限位槽呈环形,且截面呈T形,限位槽中配合有滑块,滑块连接于伸缩杆的移动端,伸缩杆穿过通孔,并安装于支撑架上,支撑架安装于工作台的底面无需关闭气泵即可将晶圆取下,提高生产效率。

    一种晶圆电泳用放置架
    90.
    实用新型

    公开(公告)号:CN220155508U

    公开(公告)日:2023-12-08

    申请号:CN202321713276.5

    申请日:2023-07-03

    IPC分类号: H01L21/673

    摘要: 一种晶圆电泳用放置架,包括:支撑架、承载架。支撑架长度方向两端设有多个支撑杆,承载架穿设于支撑杆上,承载架沿其长度方向设有多个承载框,承载框内侧沿其长度方向设有多个卡槽,用于承载晶圆。支撑杆上设有挡环,挡环位于承载架上方,支撑杆上套设有两个弹簧,弹簧分别位于承载架上下两侧,且始终处于压缩状态;承载架上方设有支架,支架上沿其宽度方向设有多列电极片,每列电极片有多个,且相邻两个电极片互相连接,用于与晶圆侧面接触,其中位于两端的电极片连接于一个连接片,连接片与外接电路电性连接。能够放置更多的晶圆,提高电泳效率,并且提供减震效果,避免晶圆由于硬性接触而破裂。