公开(公告)号：CN113948603A

公开(公告)日：2022-01-18

申请号：CN202111148323.1

申请日：2021-09-29

申请人： 西安理工大学

发明人： 赵雨辰 ,  郑家欢 ,  刘江凡 ,  宋忠国 ,  席晓莉

IPC分类号： H01L31/09 ,  H01L31/0232 ,  H01L31/032 ,  G06F30/25 ,  G06N3/00 ,  G01J5/20 ,  G01J1/42

摘要： 本发明公开了一种纳米多孔氮化铌薄膜光电探测器红外光响应设计方法，包括：使用Bruggeman等效模型将纳米多孔NbN薄膜等效为相同厚度的均匀薄膜，得到纳米多孔NbN薄膜的等效模型；基于纳米多孔NbN薄膜的等效模型，设置纳米多孔NbN薄膜探测器待优化的基本结构，计算加载纳米多孔NbN薄膜的该探测器红外波段的光响应特性；采用粒子群优化算法对加载纳米多孔NbN薄膜光电探测器进行结构设计，得到纳米多孔NbN薄膜的光电探测器。以纳米多孔NbN薄膜的等效模型为基础，可以直接使用经典一维光学薄膜结构的设计方法处理原本的三维探测器结构设计问题，不仅能够很大程度上提高设计效率，同时能够保证较高的计算精度。

公开(公告)号：CN113659028A

公开(公告)日：2021-11-16

申请号：CN202110138400.9

申请日：2021-02-01

申请人： 北京北方高业科技有限公司

发明人： 翟光杰 ,  潘辉 ,  武佩

IPC分类号： H01L31/09 ,  H01L31/20 ,  H01L31/0224 ,  H01L27/144 ,  G01J5/20

摘要： 本公开涉及一种红外探测器及其制备方法，红外探测器包括衬底以及位于衬底上的电极层和热敏层，电极层位于热敏层临近衬底的一侧，电极层与热敏层接触设置；红外探测器包括多个矩阵排列的红外探测器像元，红外探测器像元包括吸收板结构、至少两个微桥柱和至少两个梁结构，吸收板结构通过对应的梁结构连接至对应的微桥柱；热敏层覆盖吸收板结构和梁结构所在区域；其中，构成热敏层的材料包括非晶硅、非晶碳、非晶锗或非晶硅锗中的一种或几种；构成电极层的材料至少包括钛钨合金。通过本公开的技术方案，降低了红外探测器的热响应时间，提高了红外探测器的红外响应率。

公开(公告)号：CN113517359A

公开(公告)日：2021-10-19

申请号：CN202110494684.5

申请日：2021-05-07

申请人： 华东师范大学

发明人： 杨长 ,  耿方娟

IPC分类号： H01L31/0224 ,  H01L31/09 ,  H01L31/101

摘要： 本发明公开了一种中波、长波红外透明导电薄膜材料及其制备方法，属于红外光学材料领域及电子材料领域。本发明是为解决现有红外透明导电技术在中波和长波波段内难以兼顾导电性和红外透明性的问题。本发明以无机p型卤化物半导体碘化铜为原料，其分子式为CuI。采用化学方法合成薄膜，并对其进行元素掺杂以调控薄膜的透明性和导电性。所制备的掺杂CuI薄膜不仅具有高电导率和载流子迁移率，还在可见光‑近红外‑中红外‑远红外波长区间均具有高透明性，且透过波段范围连续可调。本发明制备技术易于操作，成本低廉，易于大面积成膜，适合产业化生产。

公开(公告)号：CN110690322B

公开(公告)日：2021-09-24

申请号：CN201910939440.6

申请日：2019-09-30

申请人： 南开大学

发明人： 吴强 ,  孙玉琪 ,  进晓荣 ,  贾子熙 ,  黄松 ,  李志轩 ,  张春玲 ,  姚江宏 ,  许京军

IPC分类号： H01L31/18 ,  H01L31/028 ,  H01L31/0288 ,  H01L31/09

摘要： 本发明涉及一种自支撑高增益柔性硅基光电探测器的制备方法，通过化学腐蚀对单晶硅进行减薄使之具有柔韧性，并在柔性单晶硅表面制备具有准周期微锥结构的过饱和掺杂层，以此形成柔性黑硅。再经过退火处理激活黑硅层中的掺杂元素，极大提高了柔性单晶硅的吸收率并拓展了其光谱吸收范围。该柔性硅基光电探测器工作在反偏电压下，吸收光子产生光生电子‑空穴对，在外电场作用下分离，最终被电极收集后形成光电流，从而实现了光探测。本发明具有工艺简单，原材料易获取，易操控等优点，本发明所制备的柔性硅基光电探测器一方面实现了自支撑，另一方面实现了低偏压下高增益及宽谱的特性，并克服了有机柔性光电探测器响应时间较长的缺点。

公开(公告)号：CN113396320A

公开(公告)日：2021-09-14

申请号：CN202080011270.6

申请日：2020-01-28

申请人： 特里纳米克斯股份有限公司

发明人： S·瓦鲁施 ,  A·克莱恩 ,  S·穆勒 ,  W·赫尔梅斯 ,  R·森德

IPC分类号： G01J5/28 ,  G01J5/08 ,  G01J5/20 ,  H01L31/02 ,  H01L27/146 ,  H01L31/0232 ,  G01J1/02 ,  G01J5/04 ,  G01J5/02 ,  G01J5/06 ,  H01L31/09 ,  H01L27/144 ,  H01L31/032 ,  H01L31/0216

摘要： 本发明涉及一种用于光学检测的检测器(110)，其包括被设计为承载至少一个层的电路载体(130)，其中，所述电路载体(130)是或包括印刷电路板(132)；至少一个吸收层(138)，所述吸收层(138)被布置在所述电路载体(130)的分区上，其中，所述吸收层(138)被设计为至少部分地吸收所述入射光束(120)，其中，所述吸收层(138)包含红外吸收颜料(144)；衬底层(114)，所述衬底层(114)直接或间接地邻近所述吸收层(138)，其中，所述衬底层(114)关于所述入射光束(120)是至少部分透明的；至少一个传感器区域(122)，所述传感器区域(122)中的每一个被布置在所述衬底层(114)上，其中，所述传感器区域(122)中的每一个被设计为以取决于由所述入射光束对所述传感器区域(122)的照射的方式产生至少一个传感器信号；以及评价装置(150)，其被设计为通过评价所述至少一个传感器信号产生至少一个信息项。所述检测器(110)构成用于检测光学辐射的检测器，特别地在所述红外光谱范围内，特别地关于感测透射率、吸收、发射和反射率中的至少一个，能够避免或减少传感器区域(122)之间的交叉检测，特别地在相邻传感器区域(122)之间，因此，避免或减少基于所述至少一个传感器信号的测量结果的恶化。

公开(公告)号：CN113380916A

公开(公告)日：2021-09-10

申请号：CN202110443599.6

申请日：2021-04-23

申请人： 武汉高芯科技有限公司

发明人： 黄立 ,  陆浩 ,  马占锋 ,  汪超 ,  方明 ,  蔡光艳 ,  王春水 ,  高健飞 ,  黄晟

IPC分类号： H01L31/09 ,  H01L31/18 ,  G01J5/20

摘要： 本发明提供了一种双模式非制冷红外探测器热敏层结构及其制备方法，该热敏层结构包括保护层以及位于保护层上方的热敏薄膜层，所述热敏薄膜层包括分两侧设置的非晶锗硅薄膜和VOx薄膜。本发明可以用于双模式非制冷红外探测器，在需要NETD低的场景，VOx薄膜投入工作，探测器进入VOx基红外探测模式；在需要响应率高的场景，非晶锗硅薄膜投入工作，探测器进入非晶锗硅基红外探测模式；需要高质量静态红外场景拍摄时，VOx薄膜和非晶锗硅薄膜同时投入工作，两种模式共同工作；因此本发明适用于不同的工作场景，应用范围广，成本低。

公开(公告)号：CN113314623A

公开(公告)日：2021-08-27

申请号：CN202110726677.3

申请日：2021-06-29

申请人： 南方科技大学 ,  深圳技术大学

发明人： 吴丹 ,  王恺 ,  孙小卫 ,  唐浩东 ,  刘晨曦 ,  刘皓宸 ,  林涛 ,  仇明侠

IPC分类号： H01L31/0224 ,  H01L31/0352 ,  H01L31/09 ,  H01L31/18 ,  B82Y40/00

摘要： 本发明提供了一种基于亚波长尺度叉指电极的光电探测器及其制备方法，所述的光电探测器包括层叠设置的衬底、叉指电极和有源层，电极层包括相对设置的两个呈齿状结构的电极片，电极片的齿状结构相对且交错设置，形成蛇形沟道；有源层与电极层接触的一侧嵌入电极层的蛇形沟道内，蛇形沟道的宽度大于等于所述有源层中载流子的扩散长度。通过亚波长尺度的电极沟道宽度更窄，电极厚度更大，将光吸收和载流子提取方向解耦合；此外，有源层形成光栅结构，通过调控局域光场强度增强工作区域的光吸收，进一步地，可通过选择有源层材料、材料颗粒尺寸或者叉指电极尺寸，调控有源层光栅结构的吸收特性，从而可以针对性的选择增强某个波长的高探测响应度。

公开(公告)号：CN113302750A

公开(公告)日：2021-08-24

申请号：CN202080009601.2

申请日：2020-01-16

申请人： 特里纳米克斯股份有限公司

发明人： W·赫尔梅斯 ,  S·瓦鲁施 ,  S·穆勒 ,  R·赫 ,  H·贝克特尔 ,  T·阿尔腾贝克 ,  F·迪特曼 ,  B·福伊尔施泰因 ,  T·胡普福尔 ,  A·汉德瑞克 ,  R·古斯特 ,  R·森德 ,  I·布鲁德

IPC分类号： H01L31/09 ,  H01L31/0203 ,  H01L31/032

摘要： 光学传感器(110)包括衬底(124)，其附接到电路载体装置(142)；至少一种光电导材料(114)的层(112)，其直接或间接地施加到所述衬底(124)；至少两个单独电接触(136，136')，其接触所述光电导材料(114)的层(112)；以及盖(116)，其覆盖所述光电导材料(114)层(112)和所述衬底(124)的可及表面，其中，所述盖(116)是包括至少一种含金属化合物(120)的无定形盖，其中，所述衬底(124)和所述盖(116)中的至少一个在波长范围内是光学透明的。还提供一种用于光学传感器(110)的制造方法。因此，所述光学传感器(110)可以作为不笨重的密封封装供应，其提供针对长期由湿度和/或氧气造成的可能退化的增加的保护度。进一步地，所述光学传感器(110)可以容易地制造并且集成在电路载体装置(142)上。

公开(公告)号：CN109659386B

公开(公告)日：2021-08-20

申请号：CN201811486995.1

申请日：2018-12-06

申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

发明人： 李浩 ,  尤立星 ,  王河清 ,  王镇

IPC分类号： H01L31/09 ,  H01L31/0232 ,  H01L31/0352

摘要： 本发明提供一种多光谱超导纳米线单光子探测器，包括：衬底；第一光学薄膜叠层结构，位于衬底的上表面；第二光学薄膜叠层结构，位于第一光学薄膜叠层结构的上表面；第二光学薄膜叠层结构的中心波长与第一光学薄膜叠层结构的中心波长不同；超导纳米线，位于第二光学薄膜叠层结构的上表面。本发明的第二光学薄膜叠层结构即作为反射镜用于在其中心波长处达到高效吸收，又对第一光学薄膜叠层结构反射波段的光起到相移的作用，导致其吸收波长发生偏移、吸收峰数量变多，可以实现多个波段的高效吸收，即可以得到多个共振吸收波长，从而可以满足用户对不同波段单光子探测器的应用需求，以及多波段成像或多波段探测等应用的需求。

公开(公告)号：CN110875402B

公开(公告)日：2021-08-10

申请号：CN201810996818.1

申请日：2018-08-29

申请人： 电子科技大学

发明人： 黄文 ,  李尚栋 ,  郭俊雄 ,  贺振北 ,  何宇豪 ,  龚天巡 ,  林媛 ,  俞滨

IPC分类号： H01L31/09 ,  H01L31/0264 ,  H01L31/18

摘要： 本发明属于光电材料技术领域，具体涉及一种复合薄膜敏感材料、红外探测器及制备方法。本发明所要解决的技术问题是提供一种复合薄膜敏感材料及其制备方法，该复合薄膜敏感材料包括二维材料层和金属纳米颗粒层；其中，金属纳米颗粒为圆锥状，底面直径为5～40nm、高度为3～17nm，金属纳米颗粒层为单层的金属纳米颗粒。本发明通过对二维材料进行金属纳米颗粒修饰所得的复合薄膜敏感材料能够提高对近红外光的吸收率。