片材搬运引导件
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118413604A

    公开(公告)日:2024-07-30

    申请号:CN202410120453.1

    申请日:2024-01-29

    IPC分类号: H04N1/00 G07D11/50 G07D11/16

    摘要: 提供一种片材搬运引导件,能够在确保片材的搬运面的平坦性的同时,相对于周围温度的变化抑制片材的搬运面发生形变或透明构件产生裂纹。片材搬运引导件(10)是设置到搬运片材(5)的搬运路(10c)的搬运面(10a)的片材搬运引导件,具备:透明构件(11),其具有光透射性,形成为表面(111)与搬运面齐平;以及引导构件(12),其具有收纳透明构件的收纳部,形成为收纳部的周围的表面(121)与搬运面齐平,透明构件具有将透明构件粘接到引导构件的收纳部的内壁(122)的粘接区域(115a)、以及比粘接区域靠搬运路的宽度方向的外侧设置并对产生于透明构件的应力进行释放的应力释放区域(115b)。

    β-Ga2O3系基板的制造方法和结晶层叠结构体的制造方法

    公开(公告)号:CN103917700A

    公开(公告)日:2014-07-09

    申请号:CN201280050469.5

    申请日:2012-10-12

    IPC分类号: C30B29/16 C30B33/02 H01L21/20

    摘要: 本发明提供在还原气氛、惰性气氛中的施主浓度变化得到抑制的β-Ga2O3系基板的制造方法,以及能在还原气氛、惰性气氛下使品质偏差小的高品质结晶膜外延生长的结晶层叠结构体的制造方法。本发明提供的β-Ga2O3系基板的制造方法包括从含有IV族元素的β-Ga2O3系结晶中切出β-Ga2O3系基板的工序,其中,在包含还原气氛和惰性气氛中的至少一方的气氛下对切出上述β-Ga2O3系基板之前的β-Ga2O3系结晶或切出的上述β-Ga2O3系基板实施退火处理。