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公开(公告)号:CN106521411A
公开(公告)日:2017-03-22
申请号:CN201610461420.9
申请日:2016-06-23
申请人: 三星显示有限公司
IPC分类号: C23C14/04
CPC分类号: H01L51/0011 , C23C14/042 , H01L27/3211 , H01L51/5012 , H01L51/56
摘要: 公开了沉积掩模和制造沉积掩模的方法。该方法包括在基构件上形成光刻胶图案,该光刻胶图案具有多个倒锥形光学图案和由光学图案限定的光学开口;在光学开口中以及在光学图案上形成掩模材料层;移除光学图案和形成在光学图案上的掩模材料层,留下形成在光学开口中的掩模材料层;以及移除基构件。
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公开(公告)号:CN114256307A
公开(公告)日:2022-03-29
申请号:CN202111112335.9
申请日:2021-09-18
申请人: 三星显示有限公司
摘要: 本发明提供一种显示装置及制造显示装置的方法。显示装置包括显示区和非显示区,进一步包括:包括第一表面和与第一表面相对的第二表面的基底层,基底层在非显示区中具有穿透第一表面和第二表面的开口部;包括位于第一表面上的端子的焊盘单元,端子从第一表面延伸到开口部;连接到第一表面上的端子的连接线,连接线从非显示区延伸到显示区;覆盖端子和连接线的绝缘层;包括位于绝缘层上的半导体层的薄膜晶体管,薄膜晶体管连接到连接线;以及连接到薄膜晶体管的显示元件,显示元件位于显示区中。
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公开(公告)号:CN116096153A
公开(公告)日:2023-05-09
申请号:CN202211302756.2
申请日:2022-10-24
申请人: 三星显示有限公司
发明人: 全祐奭
IPC分类号: H10K59/121 , H10K59/122 , H10K59/123 , H10K59/131 , H10K71/00
摘要: 提供了显示面板和用于制造显示面板的方法。显示面板包括发光元件以及电连接到发光元件的像素电路,其中像素电路包括晶体管。晶体管包括:栅极;第一绝缘图案,与栅极重叠并且设置在栅极之下;第二绝缘图案,包括在平面图中设置在第一绝缘图案外部的一部分;以及半导体图案,设置在第一绝缘图案和第二绝缘图案之下并且在平面图中与第一绝缘图案和第二绝缘图案重叠。
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公开(公告)号:CN105842935A
公开(公告)日:2016-08-10
申请号:CN201511020918.3
申请日:2015-12-30
申请人: 三星显示有限公司
IPC分类号: G02F1/1343 , G02F1/1362
CPC分类号: G02F1/134309 , G02F1/133345 , G02F1/134363 , G02F1/13439 , G02F1/136286 , G02F1/1368 , H01L27/124 , G02F1/136227
摘要: 提供了一种液晶显示装置,所述液晶显示装置包括:基板;栅极线和数据线,设置在所述基板上;薄膜晶体管,连接到所述栅极线和所述数据线;钝化层,设置在所述栅极线、所述数据线和所述薄膜晶体管上;第一电极,设置在所述钝化层上;层间绝缘层,设置在所述第一电极上;第二电极,设置在所述层间绝缘层上,其中,所述第一电极包括由氧化铟的重量比是20wt%或更小的氧化铟锌制成或者由不含氧化铟的透明金属氧化物制成的第一层。
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公开(公告)号:CN103510056A
公开(公告)日:2014-01-15
申请号:CN201310258587.1
申请日:2013-06-26
申请人: 三星康宁精密素材株式会社 , 三星显示有限公司
IPC分类号: C23C14/34 , C23C14/08 , H01L21/34 , H01L29/786
CPC分类号: C23C14/086 , C23C14/34 , C23C14/3414
摘要: 一种氧化锌(ZnO)基溅射靶、一种制造该氧化锌基溅射靶的方法和一种具有使用该氧化锌基溅射靶沉积的阻挡层的薄膜晶体管(TFT)。所述氧化锌基溅射靶包括:烧结物,包括掺杂有氧化镓的氧化锌,氧化镓的含量范围为烧结物的10重量%到50重量%;背板,结合到烧结物的后表面,以支撑烧结物。氧化锌基溅射靶可以经受直流(DC)溅射,并且可以改善使用其沉积的阻挡层的接触特性和蚀刻特性。
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公开(公告)号:CN116805632A
公开(公告)日:2023-09-26
申请号:CN202310295859.9
申请日:2023-03-23
申请人: 三星显示有限公司
IPC分类号: H01L27/12 , H10K59/121
摘要: 本发明提供了显示装置。该显示装置包括:基板;有源图案,设置在基板上,并且包括第一区、第二区、第1‑1沟道区、第1‑2沟道区以及设置在第1‑1沟道区与第1‑2沟道区之间的第三区;第一绝缘层,设置在基板上并且覆盖有源图案;第二绝缘层,设置在第一绝缘层上,并且在第二绝缘层中限定有与第1‑2沟道区、第二区和第三区重叠的开口;第一栅电极,设置在第一绝缘层上并且分别与第1‑1沟道区和第1‑2沟道区重叠;以及高介电层,设置在第一绝缘层和第二绝缘层上、覆盖第一栅电极并且填充开口。
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公开(公告)号:CN114657508A
公开(公告)日:2022-06-24
申请号:CN202111587120.2
申请日:2021-12-23
申请人: 三星显示有限公司
摘要: 本发明涉及掩模组件以及制造该掩模组件的方法。该方法包括:形成包括掩模图案的单元掩模以及包括被设置为分别与掩模图案相对应的导电图案的网格框架,并且将单元掩模和网格框架设置在掩模框架上。形成单元掩模和网格框架包括:形成聚合物层、导电层和硬掩模层,形成包括蚀刻图案的掩模图案层,并且使用掩模图案层形成单元掩模和网格框架。
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