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公开(公告)号:CN117448824A
公开(公告)日:2024-01-26
申请号:CN202311566341.0
申请日:2019-09-18
摘要: 公开了蚀刻金属阻挡层和金属层的方法以及制造半导体器件的方法。所述方法包括:在衬底上形成金属阻挡层和金属层;以及使用蚀刻组合物蚀刻金属阻挡层和金属层。蚀刻组合物可以包括:氧化剂,选自于硝酸、溴酸、碘酸、高氯酸、过溴酸、高碘酸、硫酸、甲磺酸、对甲苯磺酸、苯磺酸或它们的组合;金属蚀刻抑制剂,包括由如在说明书中所示的化学式1表示的化合物;以及金属氧化物增溶剂,选自于磷酸、磷酸盐、具有3个至20个碳原子的羧酸或它们的组合。
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公开(公告)号:CN111410964A
公开(公告)日:2020-07-14
申请号:CN202010013430.2
申请日:2020-01-07
IPC分类号: C09K13/04 , C09K13/06 , C09K13/08 , H01L21/311
摘要: 本申请公开了蚀刻剂组合物和制作半导体器件的方法,所述组合物包含:无机酸;约0.01重量份至约0.5重量份的胶状二氧化硅;约0.01重量份至约30重量份的铵系添加剂;和约20重量份至约50重量份的溶剂,所有重量份都是基于100重量份的所述无机酸。
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公开(公告)号:CN110911278A
公开(公告)日:2020-03-24
申请号:CN201910879827.7
申请日:2019-09-18
IPC分类号: H01L21/306 , C23F1/18 , C23F1/26 , C23F1/20 , C23F1/28
摘要: 公开了蚀刻金属阻挡层和金属层的方法以及制造半导体器件的方法。所述方法包括:在衬底上形成金属阻挡层和金属层;以及使用蚀刻组合物蚀刻金属阻挡层和金属层。蚀刻组合物可以包括:氧化剂,选自于硝酸、溴酸、碘酸、高氯酸、过溴酸、高碘酸、硫酸、甲磺酸、对甲苯磺酸、苯磺酸或它们的组合;金属蚀刻抑制剂,包括由如在说明书中所示的化学式1表示的化合物;以及金属氧化物增溶剂,选自于磷酸、磷酸盐、具有3个至20个碳原子的羧酸或它们的组合。
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公开(公告)号:CN110911278B
公开(公告)日:2024-07-05
申请号:CN201910879827.7
申请日:2019-09-18
IPC分类号: H01L21/306 , C23F1/18 , C23F1/26 , C23F1/20 , C23F1/28
摘要: 公开了蚀刻金属阻挡层和金属层的方法以及制造半导体器件的方法。所述方法包括:在衬底上形成金属阻挡层和金属层;以及使用蚀刻组合物蚀刻金属阻挡层和金属层。蚀刻组合物可以包括:氧化剂,选自于硝酸、溴酸、碘酸、高氯酸、过溴酸、高碘酸、硫酸、甲磺酸、对甲苯磺酸、苯磺酸或它们的组合;金属蚀刻抑制剂,包括由如在说明书中所示的化学式1表示的化合物;以及金属氧化物增溶剂,选自于磷酸、磷酸盐、具有3个至20个碳原子的羧酸或它们的组合。
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公开(公告)号:CN118176096A
公开(公告)日:2024-06-11
申请号:CN202280072915.6
申请日:2022-08-10
申请人: 三星电子株式会社
摘要: 根据一个实施例的电子装置可以:生成包括出发点和基于订单信息确定的要访问的第一目的地的路线;在电子装置使用驱动单元沿着路线移动的同时,基于从指示至少一个顾客站立的站立信息被识别的第一目的地接收订单失败,基于到达第一目的地来执行输出指示放置基本物品的招待托盘的信息的操作;以及基于沿着路线的行驶完成并且基于在第一目的地接收的订单中指示的至少一个物品不被递送到第一目的地,从路线中排除第一目的地。
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公开(公告)号:CN118679446A
公开(公告)日:2024-09-20
申请号:CN202280091260.7
申请日:2022-12-08
申请人: 三星电子株式会社
IPC分类号: G06F3/01 , G06F3/00 , G06T19/00 , G06F3/14 , G06F3/0484 , H04N13/122 , H04N13/133 , H04N13/117 , H04N13/183
摘要: 根据实施例的电子设备包括:传感器模块,所述传感器模块包括用于测量所述电子设备的环境照度的光敏电阻器;显示模块,包括主显示器和子显示器;存储器,所述存储器包括可由计算机执行的指令;以及处理器,所述处理器访问所述存储器并执行所述指令。所述处理器可以:识别通过主显示器传输并显示给用户的一个或多个真实对象;选择一个或多个所识别的真实对象当中的一个作为目标对象;基于所述电子设备的所述环境照度来确定所述电子设备的可见性等级,以及基于所确定的可见性等级,在所述主显示器和所述子显示器中的至少一个上显示与所选择的目标对象相对应的至少一条增强现实(AR)内容。
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公开(公告)号:CN115598942A
公开(公告)日:2023-01-13
申请号:CN202210794402.8
申请日:2022-07-07
申请人: 三星SDI株式会社(KR) , 三星电子株式会社(KR)
IPC分类号: G03F7/42
摘要: 本发明提供了一种从含金属的抗蚀剂去除边缘珠的组合物,及包括使用组合物去除边缘珠的步骤的形成图案的方法。该从含金属的抗蚀剂去除边缘珠的组合物包含有机溶剂、以及被至少一个羟基(‑OH)取代的七角环化合物,其中该七角环化合物在该环中具有至少两个双键。
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公开(公告)号:CN118303021A
公开(公告)日:2024-07-05
申请号:CN202280078004.4
申请日:2022-10-08
申请人: 三星电子株式会社
IPC分类号: H04N13/332 , H04N13/366 , H04N21/442 , H04N21/414 , H04N13/383 , H04N21/81 , G06Q50/10 , G06T19/00 , G02B27/01
摘要: 一种在车辆中提供增强现实(AR)内容的方法,和/或一种用于执行该方法的可穿戴AR装置和电子装置。所述可穿戴AR装置可以包括处理器和存储要由处理器运行的指令的存储器,并且当指令由处理器运行时,所述处理器被配置为:基于从车辆接收的信息或使用可穿戴AR装置的至少一个传感器测量的值中的至少一者来确定可穿戴AR装置是否在车辆的空间中;当确定可穿戴AR装置不在车辆的空间中时,基于使用可穿戴AR装置的至少一个传感器测量的值,输出与可穿戴AR装置周围的空间对应的AR内容;当确定可穿戴AR装置在车辆的空间中时,确定是否存在能够与可穿戴AR装置通信的车辆的锚装置;以及当确定存在能够通信的锚装置时,通过与锚装置的通信来输出与可穿戴AR装置周围的车辆的空间对应的AR内容。
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