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公开(公告)号:CN105259633A
公开(公告)日:2016-01-20
申请号:CN201510350354.3
申请日:2015-06-23
申请人: 三星电机株式会社
IPC分类号: G02B7/09
CPC分类号: H01L41/0946 , G02B7/08 , G02B7/36 , G02B26/0858 , G02B27/646 , H01L41/0825
摘要: 本发明提供一种致动器单元和镜头模块。所述致动器单元包括:驱动部,连接大致共面地设置的固定部与支撑部;致动器,被配置为使驱动部变形,从而驱动支撑部脱离与固定部的共面关系;传感器,被配置为测量驱动部的位移量或变形量。
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公开(公告)号:CN108075740A
公开(公告)日:2018-05-25
申请号:CN201711143853.0
申请日:2017-11-17
申请人: 三星电机株式会社
CPC分类号: H03H9/17 , H01L41/0477 , H01L41/081 , H01L41/18 , H01L41/29 , H01L41/35 , H03H3/02 , H03H9/02118 , H03H9/02157 , H03H9/13 , H03H9/173 , H03H2003/021
摘要: 本公开提供一种体声波谐振器及制造该体声波谐振器的方法,所述体声波谐振器包括:基板,所述基板上设置有基板保护层;膜层,与所述基板一起形成腔;及谐振部,设置在所述膜层上。所述腔通过使用通过混合卤化物基气体和氧气而获得的混合气体去除牺牲层形成,并且在形成所述腔后,所述膜层和所述基板保护层中的至少一者具有170或更小的厚度差。
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公开(公告)号:CN110504935A
公开(公告)日:2019-11-26
申请号:CN201910136423.9
申请日:2019-02-25
申请人: 三星电机株式会社
摘要: 本公开提供一种体声波谐振器及制造该体声波谐振器的方法,所述方法包括:在基板保护层上形成牺牲层;在所述基板保护层上形成膜层,以覆盖所述牺牲层;以及通过使用包含卤基气体和含氧气体的气体混合物去除所述牺牲层形成腔,其中,所述气体混合物中所述卤基气体与所述含氧气体的混合比在1.5至2.4的范围内。
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