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公开(公告)号：CN1807681B
公开(公告)日：2010-05-26
申请号：CN200610006396.6
申请日：2006-01-20
Applicant: 三星移动显示器株式会社
Abstract: 本发明公开了一种蒸镀装置和利用该蒸镀装置的蒸镀方法。该蒸镀装置中，分解所需要的能量相对较高的气体利用等离子体分解方式和加热体方式进行分解，分解所需要的能量相对较低的气体利用加热体方式进行分解，由此在基板上形成蒸镀物。在利用现有的ICP-CVD装置或PECVD等的等离子体装置形成绝缘膜时，存在源气体难以完全分解而使蒸镀物的特性变差，源气体的使用效率差的缺陷，本发明为了克服该缺陷而涉及等离子体或/及加热体方式的蒸镀装置及利用该蒸镀装置的蒸镀方法。
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公开(公告)号：CN101476116B
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：CN200910002040.9
申请日：2006-01-20
Applicant: 三星移动显示器株式会社
Abstract: 本发明公开了蒸镀装置和蒸镀方法。该蒸镀装置中，分解所需要的能量相对较高的气体利用等离子体分解方式和加热体方式进行分解，分解所需要的能量相对较低的气体利用加热体方式进行分解，由此在基板上形成蒸镀物。在利用现有的ICP-CVD装置或PECVD等的等离子体装置形成绝缘膜时，存在源气体难以完全分解而使蒸镀物的特性变差，源气体的使用效率差的缺陷，本发明为了克服该缺陷而涉及等离子体或/及加热体方式的蒸镀装置及利用该蒸镀装置的蒸镀方法。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1952206B
公开(公告)日：2010-08-11
申请号：CN200610140238.X
申请日：2006-10-20
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: C23C14/24 , C23C14/12 , C23C14/243 , C23C14/541
Abstract: 本发明提供了一种用于沉积薄膜的设备和方法，该设备包括：处理室，具有膜形成部分和沉积防止部分，沉积防止部分在膜形成部分的周边；蒸发源，与处理室流动相通，用于容纳沉积材料；吸热板，形成在处理室的沉积防止部分中，其中，吸热板设置成围绕位于处理室的膜形成部分中的基底。
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公开(公告)号：CN100517799C
公开(公告)日：2009-07-22
申请号：CN200610072619.9
申请日：2006-04-05
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: C23C16/45565 , C23C16/45574 , C23C16/5096 , H01L51/5253
Abstract: 本发明提供了一种利用等离子体沉积和/或热沉积制造有机发光器件的方法。通过第一自由基与第二自由基反应来形成绝缘层。第一自由基通过使第一气体穿过等离子体产生区域和加热体来形成，第二自由基通过使第二气体穿过加热体来形成。该方法通过基本分解源气体改善了所得绝缘层的特点并提高了源气体的使用效率。绝缘层可为形成在有机发光器件上的钝化层。该方法使用等离子体装置如感应耦合等离子体化学气相沉积(ICP-CVD)装置或等离子体增强化学气相沉积(PECVD)装置。
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公开(公告)号：CN101476116A
公开(公告)日：2009-07-08
申请号：CN200910002040.9
申请日：2006-01-20
Applicant: 三星移动显示器株式会社
Abstract: 本发明公开了蒸镀装置和蒸镀方法。该蒸镀装置中，分解所需要的能量相对较高的气体利用等离子体分解方式和加热体方式进行分解，分解所需要的能量相对较低的气体利用加热体方式进行分解，由此在基板上形成蒸镀物。在利用现有的ICP－CVD装置或PECVD等的等离子体装置形成绝缘膜时，存在源气体难以完全分解而使蒸镀物的特性变差，源气体的使用效率差的缺陷，本发明为了克服该缺陷而涉及等离子体或/及加热体方式的蒸镀装置及利用该蒸镀装置的蒸镀方法。
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公开(公告)号：CN1787704B
公开(公告)日：2010-09-08
申请号：CN200510092214.7
申请日：2005-07-01
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: H01L51/5203 , C23C14/352 , H01L51/0008 , H01L51/0021
Abstract: 本发明提供一种通过利用对面靶溅射设备制造有机发光器件的方法。该方法包括在基板上形成第一电极；在第一电极上形成有机薄膜；以及通过对面靶溅射设备在有机薄膜上形成第二电极。因此，以低的温度在有机发光器件上形成电极薄膜而没有由于等离子体导致的劣化，可以提高光发射效率和有机发光器件的电光特性。
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公开(公告)号：CN100567556C
公开(公告)日：2009-12-09
申请号：CN200510092373.7
申请日：2005-08-29
Applicant: 三星移动显示器株式会社
IPC: C23C14/26
Abstract: 一种蒸发源和蒸镀装置，该蒸发源将坩埚和加热部以及喷嘴部配置在一个划分空间，缩小其尺寸；所述蒸镀装置利用所述蒸发源将蒸镀物质蒸镀在基板上。所述蒸发源包括：壳体(110)；内设于所述壳体(110)内的坩埚(120)；内设于所述壳体(110)中，用于加热坩埚(120)而设于其周边的加热部；喷嘴部，经由喷射嘴(140)将从所述坩埚(120)蒸发的蒸镀物质喷射到位于壳体(110)外部的基板(220)上。
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