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公开(公告)号：CN1286658A
公开(公告)日：2001-03-07
申请号：CN98813848.4
申请日：1998-10-22
Applicant: 三菱丽阳株式会社
CPC classification number: C08F290/046 , B29C45/1418 , B29C45/14778 , C08F220/32 , C09D4/06
Abstract: 本发明公开了一种光固化片材,其中含有在侧链上带有可光聚合的官能团的丙烯酸类树脂(a－1)和光聚合引发剂(a－2)的光固化树脂组合物(A)被层合到透明的基层片材(B)上,施用它的光固化装饰性片材和光固化镶嵌模塑片材,以及使用了该片材的模塑制品及其制造方法。
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公开(公告)号：CN1745114A
公开(公告)日：2006-03-08
申请号：CN200480003128.8
申请日：2004-01-29
Applicant: 三菱丽阳株式会社
IPC: C08F220/34 , C08F220/12 , G03F7/039
Abstract: 本发明提供一种抗蚀剂用聚合物及抗蚀剂组合物，其中该抗蚀剂用聚合物包括具有氰基的特定构成单元、具有酸脱去性基团的构成单元、具有内酯骨架的特定构成单元，且在DUV准分子激光刻蚀、电子束刻蚀等中作为抗蚀剂树脂使用时，为高灵敏度、高分辨率，且抗蚀剂图案形状良好，轮廓边缘不平的产生、微凝胶的生成少。
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公开(公告)号：CN1170674C
公开(公告)日：2004-10-13
申请号：CN98813848.4
申请日：1998-10-22
Applicant: 三菱丽阳株式会社
CPC classification number: C08F290/046 , B29C45/1418 , B29C45/14778 , C08F220/32 , C09D4/06
Abstract: 本发明公开了一种光固化片材，其中含有在侧链上带有可光聚合的官能团的丙烯酸类树脂(a-1)和光聚合引发剂(a-2)的光固化树脂组合物(A)被层合到透明的基层片材(B)上，施用它的光固化装饰性片材和光固化镶嵌模塑片材，以及使用了该片材的模塑制品及其制造方法。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100406481C
公开(公告)日：2008-07-30
申请号：CN200480003128.8
申请日：2004-01-29
Applicant: 三菱丽阳株式会社
IPC: C08F220/34 , C08F220/12 , G03F7/039
Abstract: 本发明提供一种抗蚀剂用聚合物及抗蚀剂组合物，其中该抗蚀剂用聚合物包括具有氰基的特定构成单元、具有酸脱去性基团的构成单元、具有内酯骨架的特定构成单元，且在DUV准分子激光刻蚀、电子束刻蚀等中作为抗蚀剂树脂使用时，为高灵敏度、高分辨率，且抗蚀剂图案形状良好，轮廓边缘不平的产生、微凝胶的生成少。
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公开(公告)号：CN1737000A
公开(公告)日：2006-02-22
申请号：CN200510090805.0
申请日：2002-10-22
Applicant: 三菱丽阳株式会社
IPC: C07D317/34 , C07D317/72 , C07D319/06 , C07D319/08 , C07D325/00 , C08G63/00 , G03F7/00
CPC classification number: C07D317/72 , C07D317/18 , C07D317/34 , C07D317/42 , C08F20/30 , C08F24/00 , G03F7/0392 , G03F7/0397 , Y10S430/106 , Y10S430/111 , Y10S430/143
Abstract: 本发明的目的在于提供一种新型单聚物及其制造方法，该单聚物具有适合与其它单聚物共聚合的聚合特性，并可获得优良的光透性及热稳定性；灵敏度、分辨率不损失及耐干腐蚀抗腐蚀剂性能、与有机溶剂的溶解性优良、线性边缘粗糙度小；并提供一种形成方法，该方法适合远紫外光准分子激光器光刻及电子线光刻等的抗蚀剂组成物，以及用该抗蚀剂组成物的图谱(样品)。
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公开(公告)号：CN1737000B
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN200510090805.0
申请日：2002-10-22
Applicant: 三菱丽阳株式会社
IPC: C07D317/34 , C07D317/72 , C07D319/06 , C07D319/08 , C07D325/00 , C08G63/00 , G03F7/00
CPC classification number: C07D317/72 , C07D317/18 , C07D317/34 , C07D317/42 , C08F20/30 , C08F24/00 , G03F7/0392 , G03F7/0397 , Y10S430/106 , Y10S430/111 , Y10S430/143
Abstract: 本发明的目的在于提供一种新型单聚物及其制造方法，该单聚物具有适合与其它单聚物共聚合的聚合特性，并可获得优良的光透性及热稳定性；灵敏度、分辨率不损失及耐干腐蚀抗腐蚀剂性能、与有机溶剂的溶解性优良、线性边缘粗糙度小；并提供一种形成方法，该方法适合远紫外光准分子激光器光刻及电子线光刻等的抗蚀剂组成物，以及用该抗蚀剂组成物的图谱(样品)。
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公开(公告)号：CN100453539C
公开(公告)日：2009-01-21
申请号：CN02146580.0
申请日：2002-10-22
Applicant: 三菱丽阳株式会社
IPC: C07D317/34 , C07D317/72 , C07D319/06 , C07D319/08 , C07D325/00 , C09D199/00 , C09D5/08
CPC classification number: C07D317/72 , C07D317/18 , C07D317/34 , C07D317/42 , C08F20/30 , C08F24/00 , G03F7/0392 , G03F7/0397 , Y10S430/106 , Y10S430/111 , Y10S430/143
Abstract: 本发明的目的在于提供一种新型单聚物及其制造方法，该单聚物具有适合与其它单聚物共聚合的聚合特性，并可获得优良的光透性及热稳定性；灵敏度、分辨率不损失及耐干腐蚀抗腐蚀剂性能、与有机溶剂的溶解性优良、线性边缘粗糙度小；并提供一种形成方法，该方法适合远紫外光准分子激光器石印及电子线石印等的抗蚀剂组合物，以及用该抗蚀剂组合物的图谱(样品)。
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公开(公告)号：CN1413992A
公开(公告)日：2003-04-30
申请号：CN02146580.0
申请日：2002-10-22
Applicant: 三菱丽阳株式会社
IPC: C07D317/34 , C07D317/72 , C07D319/06 , C07D319/08 , C07D325/00 , C09D199/00 , C09D5/08
CPC classification number: C07D317/72 , C07D317/18 , C07D317/34 , C07D317/42 , C08F20/30 , C08F24/00 , G03F7/0392 , G03F7/0397 , Y10S430/106 , Y10S430/111 , Y10S430/143
Abstract: 本发明的目的在于提供一种新型单聚物及其制造方法，该单聚物具有适合与其它单聚物共聚合的聚合特性，并可获得优良的光透性及热稳定性；灵敏度、分辨率不损失及耐干腐蚀抗腐蚀剂性能、与有机溶剂的溶解性优良、线性边缘粗糙度小；并提供一种形成方法，该方法适合远紫外光准分子激光器石印及电子线石印等的抗蚀剂组成物，以及用该抗蚀剂组成物的图谱(样品)。
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