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公开(公告)号：CN119422108A
公开(公告)日：2025-02-11
申请号：CN202380052382.X
申请日：2023-07-03
Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社
Abstract: 利用本发明，能够提供一种抗蚀剂组合物，其含有树脂（A）和包含下述通式（b－1）所示的化合物（B1）的溶剂（B），上述抗蚀剂组合物的总量基准计的有效成分的含量为45质量％以下。〔下述式（b－1）中，R0为碳原子数1～10的烷基、碳原子数6～10的芳基或碳原子数1～10的酰基，R1为氢原子或碳原子数1～10的烷基。〕#imgabs0#。
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公开(公告)号：CN117716297A
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN202280052673.4
申请日：2022-07-25
Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社
IPC: G03F7/42
Abstract: 根据本发明，能够提供一种稀释剂组合物，其含有包含下述通式(b‑1)所示的化合物(B1)的溶剂(B)。另外，根据本发明，还能够提供一种半导体器件的制造方法，其包括在基板上涂布光致抗蚀剂膜材料或光致抗蚀剂下层膜材料之前，在上述基板上涂布上述稀释剂组合物的工序。#imgabs0#[上述式(b‑1)中，R1为碳原子数1～10的烷基]。
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公开(公告)号：CN119317879A
公开(公告)日：2025-01-14
申请号：CN202380048234.0
申请日：2023-07-03
Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社
IPC: G03F7/42 , G03F7/004 , G03F7/039 , H01L21/027
Abstract: 利用本发明，提供一种含有包含下述通式（b－1）所示的化合物（B1）的溶剂（B）的稀释剂组合物〔下述式（b－1）中，R0为碳原子数1～10的烷基、碳原子数6～10的芳基或碳原子数1～10的酰基，R1为氢原子或碳原子数1～10的烷基〕。#imgabs0#
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公开(公告)号：CN116234793A
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202180061295.1
申请日：2021-07-28
Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社
IPC: C07C59/01
Abstract: 本发明提供以高收率且高纯度进行了精制的α－羟基羧酸组合物的制造方法。该制造方法是对含有α－羟基羧酸、水和有机杂质的混合溶液进行蒸馏来制造α－羟基羧酸组合物的方法，上述蒸馏以塔底液的上限温度为140℃以下的条件进行。
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公开(公告)号：CN100436400C
公开(公告)日：2008-11-26
申请号：CN200410091291.6
申请日：2004-12-01
Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社
IPC: C07C69/675 , C08K5/101 , C08L63/00 , C08J3/09
CPC classification number: C07D303/16
Abstract: 本发明提供以高收率稳定地制备高纯度2-羟基异丁酸缩水甘油酯的方法。另外，本发明提供使用上述2-羟基异丁酸缩水甘油酯的环氧树脂用反应性稀释剂，以及环氧树脂组合物。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1629127A
公开(公告)日：2005-06-22
申请号：CN200410091291.6
申请日：2004-12-01
Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社
IPC: C07C69/675 , C08K5/101 , C08L63/00 , C08J3/09
CPC classification number: C07D303/16
Abstract: 本发明提供以高收率稳定地制备高纯度2－羟基异丁酸缩水甘油酯的方法。另外，本发明提供使用上述2－羟基异丁酸缩水甘油酯的环氧树脂用反应性稀释剂，以及环氧树脂组合物。
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公开(公告)号：CN119452307A
公开(公告)日：2025-02-14
申请号：CN202380050844.4
申请日：2023-07-03
Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社
IPC: G03F7/11 , C08L57/00 , C08L61/08 , C08L83/00 , C08L101/00 , G03F7/004 , G03F7/023 , G03F7/039 , H01L21/027
Abstract: 根据本发明，提供一种抗蚀剂辅助膜组合物，其含有树脂(A)和包含下述通式(b‑1)所示的化合物(B1)的溶剂(B)，上述抗蚀剂辅助膜组合物的以总量基准计的有效成分的含量为45质量％以下〔上述式(b‑1)中，R0为碳原子数1～10的烷基、碳原子数6～10的芳基或碳原子数1～10的酰基，R1为氢原子或碳原子数1～10的烷基〕。#imgabs0#
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公开(公告)号：CN117769684A
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202280052563.8
申请日：2022-07-25
Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社
IPC: G03F7/11 , C07C69/708 , C07C69/675 , C07C69/54 , G03F7/40 , G03F7/26 , G03F7/20 , G03F7/039 , C08F220/28 , C08F220/18 , C07C309/06 , C07C39/19 , C07C25/02
Abstract: 根据本发明，能够提供一种抗蚀剂辅助膜组合物，其中，含有树脂(A)和包含下述通式(b－1)所示的化合物(B1)的溶剂(B)，上述抗蚀剂辅助膜组合物的以总量为基准的有效成分的含量为45质量％以下，上述式(b－1)中，R1为碳原子数1～10的烷基。#imgabs0#
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公开(公告)号：CN116685612A
公开(公告)日：2023-09-01
申请号：CN202280009229.4
申请日：2022-01-19
Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社
IPC: C08F20/32
Abstract: 本发明提供一种(甲基)丙烯酸缩水甘油酯组合物中所含的酚类阻聚剂不易变质、能够长期稳定贮存的(甲基)丙烯酸缩水甘油酯组合物以及抑制(甲基)丙烯酸缩水甘油酯树脂组合物中的酚类阻聚剂失活的方法。更具体而言，提供一种(甲基)丙烯酸缩水甘油酯组合物，其包含(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、季铵盐和酚类阻聚剂，上述季铵盐的含量为1.00ppm以下，还提供一种抑制(甲基)丙烯酸缩水甘油酯组合物中的酚类阻聚剂失活的方法，其包括将(甲基)丙烯酸缩水甘油酯组合物中的季铵盐的含量调节至1.00ppm以下的步骤。
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