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公开(公告)号:CN1236499C
公开(公告)日:2006-01-11
申请号:CN98125384.9
申请日:1996-07-17
申请人: 三菱电机株式会社
IPC分类号: H01L29/739 , H01L29/745
CPC分类号: H01L29/66348 , H01L29/0692 , H01L29/0696 , H01L29/66356 , H01L29/66378 , H01L29/7391 , H01L29/7397 , H01L29/7455 , H01L29/749 , H01L29/868 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要: 一个由一个P+集电区(1),一个n型缓冲区(3),一个n-区(5)和一个n+阴极区(7)组成的pin二极管。一个从n+阴极区(7)的表面开始穿过n+阴极区(7)后到达n-区(5)的沟槽(9)。沿着沟槽9的内壁形成一层绝缘膜(11)。形成一个栅电极层(13)隔着绝缘膜与n+阴极区(7)的侧壁相对。形成一个阴极(17)与n+阴极区(7)电连接。形成一个阳极(19)与P+集电区(1)电连接。n+阴极区(7)整个形成在互相平行伸展的沟槽(9)之间的表面上。这样,一种其栅控电路被简化、且导通特性很好的功率半导体器件即可得到。
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公开(公告)号:CN1052342C
公开(公告)日:2000-05-10
申请号:CN96102369.4
申请日:1996-07-17
申请人: 三菱电机株式会社
CPC分类号: H01L29/66348 , H01L29/0692 , H01L29/0696 , H01L29/66356 , H01L29/66378 , H01L29/7391 , H01L29/7397 , H01L29/7455 , H01L29/749 , H01L29/868 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要: 一个由一个P+集电区(1),一个n型缓冲区(3),一个n-区(5)和一个n+阴极区(7)组成的pin二极管。一个从n+阴极区(7)的表面开始穿过n+阴极区(7)后到达n-区(5)的沟槽(9)。沿着沟槽9的内壁形成一层绝缘膜(11)。形成一个栅电极层(13)隔着绝缘与n+阴极区(7)的侧壁相对。形成一个阴极(17)与n+阴极区(7)电连接。形成一个阳极(19)与p+集电区(1)电连接。n+阴极区(7)整个形成在互相平行伸展的沟槽(9)之间的表面上。这样,一种其栅控电路被简化、且导通特性很好的功率半导体器件即可得到。
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公开(公告)号:CN1226751A
公开(公告)日:1999-08-25
申请号:CN98125384.9
申请日:1996-07-17
申请人: 三菱电机株式会社
IPC分类号: H01L29/739 , H01L29/745
CPC分类号: H01L29/66348 , H01L29/0692 , H01L29/0696 , H01L29/66356 , H01L29/66378 , H01L29/7391 , H01L29/7397 , H01L29/7455 , H01L29/749 , H01L29/868 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要: 一个由一个p+集电区(1),一个n型缓冲区(3),一个n-区(5)和一个n+阴极区(7)组成的pin二极管。一个从n+阴极区(7)的表面开始穿过n+阴极区(7)后到达n-区(5)的沟槽(9)。沿着沟槽9的内壁形成一层绝缘膜(11)。形成一个栅电极层(13)隔着绝缘与n+阴极区(7)的侧壁相对。形成一个阴极(17)与n+阴极区(7)电连接。形成一个阳极(19)与p+集电区(1)电连接。n+阴极区(7)整个形成在互相平行伸展的沟槽(9)之间的表面上。这样,一种其栅控电路被简化、且导通特性很好的功率半导体器件即可得到。
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公开(公告)号:CN1142688A
公开(公告)日:1997-02-12
申请号:CN96102369.4
申请日:1996-07-17
申请人: 三菱电机株式会社
CPC分类号: H01L29/66348 , H01L29/0692 , H01L29/0696 , H01L29/66356 , H01L29/66378 , H01L29/7391 , H01L29/7397 , H01L29/7455 , H01L29/749 , H01L29/868 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要: 一个由一个p+集电区(1),一个n型缓冲区(3),一个n-区(5)和一个n+阴极区(7)组成的pin二极管。一个从n+阴极区(7)的表面开始穿过n+阴极区(7)后到达n-区(5)的沟槽(9)。沿着沟槽9的内壁形成一层绝缘膜(11)。形成一个栅电极层(13)隔着绝缘与n+阴极区(7)的侧壁相对。形成一个阴极(17)与n+阴极区(7)电连接。形成一个阳极(19)与p+集电区(1)电连接。n+阴极区(7)整个形成在互相平行伸展的沟槽(9)之间的表面上。这样,一种其栅控电路被简化、且导通特性很好的功率半导体器件即可得到。
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