公开(公告)号：CN118743009A

公开(公告)日：2024-10-01

申请号：CN202380023010.4

申请日：2023-02-20

申请人： 三菱综合材料技术株式会社 ,  胜高股份有限公司

发明人： 斋藤贡 ,  古川温光 ,  蛭田孝平 ,  三浦雅史 ,  广嶋俊洋 ,  森田优 ,  江崎圭佑

IPC分类号： H01L21/677

摘要： 该搬送装置用于搬送被形成为平板状且设置有贯通孔的载体、以及被收纳于贯通孔内的基板，该搬送装置包括：第一保持部，用于从载体的厚度方向保持载体的外周部；以及第二保持部，用于从厚度方向保持贯通孔内的基板，第一保持部和第二保持部中的至少一方能够在厚度方向上伸长或收缩，以使被第一保持部保持的载体和被第二保持部保持的基板彼此分离。

公开(公告)号：CN118891708A

公开(公告)日：2024-11-01

申请号：CN202380023003.4

申请日：2023-02-20

申请人： 三菱综合材料技术株式会社 ,  胜高股份有限公司

发明人： 斋藤贡 ,  金井隆一 ,  三浦雅史 ,  广嶋俊洋 ,  森田优 ,  江崎圭佑

IPC分类号： H01L21/677 ,  B24B37/08 ,  B24B37/28 ,  B24B49/12 ,  H01L21/304 ,  H01L21/463

摘要： 该移载装置用于将载体移载到行星齿轮装置式的研磨部上，其中该研磨部具有在平台的支承面上旋转的内齿轮和太阳齿轮且用于研磨基板的朝向厚度方向的面，该载体为平板状且形成有设置于外周边上且能够分别与内齿轮和太阳齿轮配合的多个齿部、以及收纳基板的贯通孔，该移载装置包括：移载部，用于将载体移载；摄像部，用于取得内齿轮的多个齿部中的至少一部分以及太阳齿轮的多个齿部中的至少一部分的图像；以及控制部，用于控制移载部。

公开(公告)号：CN116262328A

公开(公告)日：2023-06-16

申请号：CN202211594491.8

申请日：2022-12-13

申请人： 胜高股份有限公司

发明人： 森田优

IPC分类号： B24B37/08 ,  B24B37/28 ,  B24B7/22 ,  B24B37/015 ,  B24B27/00

摘要： 提供一种双面研磨装置(1)，前述双面研磨装置(1)具备上平台(2)、下平台(3)、使上平台(2)旋转的旋转轴(4)、使上平台(2)变形的形状变形机构部(9)，形状变形机构部(9)具有与旋转轴(4)的下端连接且被在上平台(2)的上表面固定的上平台用凸缘(10)、对上平台用凸缘(10)加热来使其变形的热变形机构(20)。

公开(公告)号：CN111558895B

公开(公告)日：2022-10-14

申请号：CN201911319916.2

申请日：2019-12-19

申请人： 胜高股份有限公司

发明人： 森田优

IPC分类号： B24B37/08 ,  B24B37/28 ,  B24B37/34

摘要： 晶圆回收装置(3)具备吸附晶圆的周边部的吸附垫(41)、使吸附垫(41)移动的晶圆搬运机构(5)，还具备将液体压入设置于双面研磨装置的下定盘上的研磨垫(221)和晶圆(W)的间隙(S)的液体压入机构(6)。

公开(公告)号：CN111558895A

公开(公告)日：2020-08-21

申请号：CN201911319916.2

申请日：2019-12-19

申请人： 胜高股份有限公司

发明人： 森田优

IPC分类号： B24B37/08 ,  B24B37/28 ,  B24B37/34

摘要： 晶圆回收装置(3)具备吸附晶圆的周边部的吸附垫(41)、使吸附垫(41)移动的晶圆搬运机构(5)，还具备将液体压入设置于双面研磨装置的下定盘上的研磨垫(221)和晶圆(W)的间隙(S)的液体压入机构(6)。

公开(公告)号：CN115297997A

公开(公告)日：2022-11-04

申请号：CN202080098991.5

申请日：2020-12-28

申请人： 胜高股份有限公司

发明人： 宫崎裕司 ,  森田优

IPC分类号： B24B37/013 ,  B24B37/08 ,  B24B37/28 ,  B24B49/12 ,  H01L21/304

摘要： 本发明的双面抛光装置中，在上平台或下平台具有从该上平台或该下平台的上表面贯穿至下表面的1个以上的贯穿孔，该双面抛光装置还包括1个以上的工件厚度测量仪器，所述工件厚度测量仪器能够在工件的双面抛光中，从所述1个以上的贯穿孔实时测量所述工件的厚度，在所述上平台或所述下平台的被所述贯穿孔分区的内周面设有金属制的筒状构件，所述双面抛光装置还包括设于设置在所述上平台的所述筒状构件的下部的下侧窗材、及设成覆盖设于所述上平台的所述贯穿孔的上侧的上侧窗材，或者，设于设置在所述下平台的所述筒状构件的上部的上侧窗材、及设成覆盖设于所述下平台的所述贯穿孔的下侧的下侧窗材。