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公开(公告)号：CN104246003B9
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201380019524.9
申请日：2013-07-11
Applicant: 三菱综合材料株式会社
Inventor： 除補正则
IPC: C23C14/34
CPC classification number: C23C14/3407 , H01J37/3414 , H01J37/342 , H01J37/3435
Abstract: 容易且可靠地接合圆筒形靶材和衬管，防止圆筒形溅射靶的破损并提高使用效率。通过塞子(60)封闭衬管(40)的一端部而作为密封端部(42)，使熔融状态的接合材料(30)存留于可插入设置在接合材料填充夹具(70)上的衬管的横截面大致呈圆形的凹状的接合材料保持部(72)，将密封端部(42)朝下方的衬管(40)隔开间隙(g)而插入到载置于接合材料填充夹具(72)上的靶材(20)的内部，并通过该靶材(20)而插入到接合材料保持部(72)，从而，将熔融状态的接合材料(30)从接合材料保持部(72)压出，填充到靶材(20)的内周面与衬管(40)的外周面之间的间隙(g)之后使其固化，并从接合材料填充夹具(70)卸下，除去塞子(60)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104246003B
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201380019524.9
申请日：2013-07-11
Applicant: 三菱综合材料株式会社
Inventor： 除補正则
IPC: C23C14/34
CPC classification number: C23C14/3407 , H01J37/3414 , H01J37/342 , H01J37/3435
Abstract: 容易且可靠地接合圆筒形靶材和衬管，防止圆筒形溅射靶的破损并提高使用效率。通过空塞子(60)封闭衬管(40)的一端部而作为密封端部(42)，使熔融状态的接合材料(30)存留于可插入设置在接合材料填充夹具(70)上的衬管的横截面大致呈圆形的凹状的接合材料保持部(72)，将密封端部(42)朝下方的衬管(40)隔开间隙(g)而插入到载置于接合材料填充夹具(72)上的靶材(20)的内部，并通过该靶材(20)而插入到接合材料保持部(72)，从而，将熔融状态的接合材料(30)从接合材料保持部(72)压出，填充到靶材(20)的内周面与衬管(40)的外周面之间的间隙(g)之后使其固化，并从接合材料填充夹具(70)卸下，除去空塞子(60)。
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公开(公告)号：CN109234689B
公开(公告)日：2022-05-06
申请号：CN201810745849.X
申请日：2018-07-09
Applicant: 三菱综合材料株式会社
Abstract: 本发明涉及陶瓷膜、溅射靶以及溅射靶的制造方法。陶瓷膜为通过溅射形成的膜，其包含：8.5质量％以上且36质量％以下的Ti、0.10质量％以上且8.0质量％以下的Y、以及Si、Al、N(氮)、O(氧)和C(碳)，其中所含的C在0.15质量％以上且1.8质量％以下的范围内。溅射靶为包含：8.5质量％以上且35质量％以下的Ti、0.10质量％以上且6.0质量％以下的Y、以及Si、Al、N、O和C的溅射靶，其中所含的C在0.20质量％以上且2.0质量％以下的范围内。
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公开(公告)号：CN108699676A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201780008119.5
申请日：2017-04-11
Applicant: 三菱综合材料株式会社
CPC classification number: C22C9/06 , B21C1/24 , B21C23/002 , B21C23/085 , C22C9/02 , C22C9/04 , C22F1/08 , C23C14/34 , C23C14/3414
Abstract: 本发明的铜合金制衬管由以下组成的铜合金构成：含有Co：0.10质量％以上且0.30质量％以下、P：0.030质量％以上且0.10质量％以下、Sn：0.01质量％以上且0.50质量％以下、Ni：0.02质量％以上且0.10质量％以下及Zn：0.01质量％以上且0.10质量％以下，Co的含量与P的含量的质量比〔Co〕/〔P〕在3.0以上且6.0以下的范围内，且剩余部分为铜及不可避免的杂质，所述铜合金制衬管的导热率为250W/m·K以上，在250℃下保持1小时的条件下进行加热处理之后的显微维氏硬度为100Hv以上，并且从加热处理前的硬度的降低率为5％以下。
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公开(公告)号：CN109234689A
公开(公告)日：2019-01-18
申请号：CN201810745849.X
申请日：2018-07-09
Applicant: 三菱综合材料株式会社
CPC classification number: C23C14/3414 , C23C14/0676
Abstract: 本发明涉及陶瓷膜、溅射靶以及溅射靶的制造方法。陶瓷膜为通过溅射形成的膜，其包含：8.5质量％以上且36质量％以下的Ti、0.10质量％以上且8.0质量％以下的Y、以及Si、Al、N(氮)、O(氧)和C(碳)，其中所含的C在0.15质量％以上且1.8质量％以下的范围内。溅射靶为包含：8.5质量％以上且35质量％以下的Ti、0.10质量％以上且6.0质量％以下的Y、以及Si、Al、N、O和C的溅射靶，其中所含的C在0.20质量％以上且2.0质量％以下的范围内。
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公开(公告)号：CN104246003A
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201380019524.9
申请日：2013-07-11
Applicant: 三菱综合材料株式会社
Inventor： 除補正则
IPC: C23C14/34
CPC classification number: C23C14/3407 , H01J37/3414 , H01J37/342 , H01J37/3435
Abstract: 容易且可靠地接合圆筒形靶材和衬管，防止圆筒形溅射靶的破损并提高使用效率。通过空塞子(60)封闭衬管(40)的一端部而作为密封端部(42)，使熔融状态的接合材料(30)存留于可插入设置在接合材料填充夹具(70)上的衬管的横截面大致呈圆形的凹状的接合材料保持部(72)，将密封端部(42)朝下方的衬管(40)隔开间隙(g)而插入到载置于接合材料填充夹具(72)上的靶材(20)的内部，并通过该靶材(20)而插入到接合材料保持部(72)，从而，将熔融状态的接合材料(30)从接合材料保持部(72)压出，填充到靶材(20)的内周面与衬管(40)的外周面之间的间隙(g)之后使其固化，并从接合材料填充夹具(70)卸下，除去空塞子(60)。
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