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公开(公告)号：CN105473755B
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201580001520.7
申请日：2015-02-20
Applicant: 三菱综合材料株式会社
IPC: C22F1/08 , C23C14/34 , C22C9/00 , C22C9/01 , C22C9/02 , C22C9/04 , C22C9/05 , C22C9/06 , C22F1/00
CPC classification number: C23C14/3414 , B22D11/004 , C21D8/10 , C21D9/0068 , C22C9/00 , C22C9/01 , C22C9/02 , C22C9/04 , C22C9/05 , C22C9/06 , C22F1/00 , C22F1/08 , C23C14/3407 , H01J37/3423 , H01J37/3426 , H01J37/3491
Abstract: 一种由铜或铜合金构成的圆筒型溅射靶用原材料的制造方法，所述制造方法具备：连续铸造工序，使用连续铸造机或半连续铸造机而铸造平均晶体粒径为20mm以下的圆筒状铸块；及冷加工工序与热处理工序，通过对该圆筒状铸块重复地实施冷加工和热处理而成型所述圆筒型溅射靶用原材料，该圆筒型溅射靶用原材料的外周面上的平均晶体粒径为10μm以上且150μm以下，并且相对于平均晶体粒径为2倍以上的晶粒所占的面积比例小于总晶体面积的25％。
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公开(公告)号：CN105473755A
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201580001520.7
申请日：2015-02-20
Applicant: 三菱综合材料株式会社
IPC: C22F1/08 , C23C14/34 , C22C9/00 , C22C9/01 , C22C9/02 , C22C9/04 , C22C9/05 , C22C9/06 , C22F1/00
CPC classification number: C23C14/3414 , B22D11/004 , C21D8/10 , C21D9/0068 , C22C9/00 , C22C9/01 , C22C9/02 , C22C9/04 , C22C9/05 , C22C9/06 , C22F1/00 , C22F1/08 , C23C14/3407 , H01J37/3423 , H01J37/3426 , H01J37/3491
Abstract: 一种由铜或铜合金构成的圆筒型溅射靶用原材料的制造方法，所述制造方法具备：连续铸造工序，使用连续铸造机或半连续铸造机而铸造平均晶体粒径为20mm以下的圆筒状铸块；及冷加工工序与热处理工序，通过对该圆筒状铸块重复地实施冷加工和热处理而成型所述圆筒型溅射靶用原材料，该圆筒型溅射靶用原材料的外周面上的平均晶体粒径为10μm以上且150μm以下，并且相对于平均晶体粒径为2倍以上的晶粒所占的面积比例小于总晶体面积的25％。
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公开(公告)号：CN105209658A
公开(公告)日：2015-12-30
申请号：CN201580000747.X
申请日：2015-02-20
Applicant: 三菱综合材料株式会社
IPC: C23C14/34 , C22C9/00 , H01L21/28 , H01L21/285 , C22C9/01 , C22C9/02 , C22C9/04 , C22C9/05 , C22C9/06 , C22F1/00 , C22F1/08
CPC classification number: H01J37/3426 , C22C9/01 , C22C9/02 , C22C9/04 , C22C9/05 , C22C9/06 , C22F1/00 , C22F1/08 , C23C14/0036 , C23C14/087 , C23C14/14 , C23C14/34 , C23C14/3414 , H01J37/342 , H01J37/3423 , H01L21/285
Abstract: 一种由铜或铜合金构成的圆筒型溅射靶用原材料，在外周面的晶体组织中，根据通过EBSD法测定的每1mm2单位面积的单位总晶界长度LN和每1mm2单位面积的单位总特殊晶界长度LσN而定义特殊晶界长度比率LσN/LN的情况下，在轴线O方向的两端部的外周面和中央部的外周面测定的所述特殊晶界长度比率LσN/LN的平均值为0.5以上，并且各测定值相对于所述特殊晶界长度比率LσN/LN的平均值在±20％的范围内，另外，作为杂质元素的Si和C的含量总计为10质量ppm以下、O含量为50质量ppm以下。
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公开(公告)号：CN108603285B
公开(公告)日：2019-08-23
申请号：CN201780011284.6
申请日：2017-09-26
Applicant: 三菱综合材料株式会社
Abstract: 本发明的圆筒型溅射靶用热挤压原材料中，铜的纯度设在99.99质量％以上且99.9995质量％以下的范围内，Al的含量设为0.5质量ppm以下，Si的含量设为1质量ppm以下，C的含量设为1质量ppm以下，O的含量设为2质量ppm以下，H的含量设为1质量ppm以下，S的含量设为5质量ppm以下，在轴线O方向的一端部、中间部及另一端部的与轴线O方向正交的3个截面上，在周向的4个位置的表层部、从表层部向径向的1/4位置、从表层部向径向的1/2位置这3个位置的共36处测定出的平均晶体粒径设在10μm以上且110μm以下的范围内，且维氏硬度设在40Hv以上且100Hv以下的范围内。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105209658B
公开(公告)日：2017-01-18
申请号：CN201580000747.X
申请日：2015-02-20
Applicant: 三菱综合材料株式会社
IPC: C23C14/34 , C22C9/00 , H01L21/28 , H01L21/285 , C22C9/01 , C22C9/02 , C22C9/04 , C22C9/05 , C22C9/06 , C22F1/00 , C22F1/08
CPC classification number: H01J37/3426 , C22C9/01 , C22C9/02 , C22C9/04 , C22C9/05 , C22C9/06 , C22F1/00 , C22F1/08 , C23C14/0036 , C23C14/087 , C23C14/14 , C23C14/34 , C23C14/3414 , H01J37/342 , H01J37/3423 , H01L21/285
Abstract: 一种由铜或铜合金构成的圆筒型溅射靶用原材料，在外周面的晶体组织中，根据通过EBSD法测定的每1mm2单位面积的单位总晶界长度LN和每1mm2单位面积的单位总特殊晶界长度LσN而定义特殊晶界长度比率LσN/LN的情况下，在轴线O方向的两端部的外周面和中央部的外周面测定的所述特殊晶界长度比率LσN/LN的平均值为0.5以上，并且各测定值相对于所述特殊晶界长度比率LσN/LN的平均值在±20％的范围内，另外，作为杂质元素的Si和C的含量总计为10质量ppm以下、O含量为50质量ppm以下。
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公开(公告)号：CN105829554B
公开(公告)日：2018-12-18
申请号：CN201480068286.5
申请日：2014-12-08
Applicant: 三菱综合材料株式会社
Abstract: 本发明的含Ca铜合金的制造方法，其特征在于，具有在铜熔融液中添加Ca的Ca添加工序，该Ca添加工序中，使用在金属Ca(21)的表面包覆有铜(22)的铜包覆Ca材(20)。该铜包覆Ca材(20)中，优选包覆金属Ca(21)的铜(22)的氧含量小于100质量ppm。
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公开(公告)号：CN108699676A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201780008119.5
申请日：2017-04-11
Applicant: 三菱综合材料株式会社
CPC classification number: C22C9/06 , B21C1/24 , B21C23/002 , B21C23/085 , C22C9/02 , C22C9/04 , C22F1/08 , C23C14/34 , C23C14/3414
Abstract: 本发明的铜合金制衬管由以下组成的铜合金构成：含有Co：0.10质量％以上且0.30质量％以下、P：0.030质量％以上且0.10质量％以下、Sn：0.01质量％以上且0.50质量％以下、Ni：0.02质量％以上且0.10质量％以下及Zn：0.01质量％以上且0.10质量％以下，Co的含量与P的含量的质量比〔Co〕/〔P〕在3.0以上且6.0以下的范围内，且剩余部分为铜及不可避免的杂质，所述铜合金制衬管的导热率为250W/m·K以上，在250℃下保持1小时的条件下进行加热处理之后的显微维氏硬度为100Hv以上，并且从加热处理前的硬度的降低率为5％以下。
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公开(公告)号：CN108603285A
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201780011284.6
申请日：2017-09-26
Applicant: 三菱综合材料株式会社
Abstract: 本发明的圆筒型溅射靶用热挤压原材料中，铜的纯度设在99.99质量％以上且99.9995质量％以下的范围内，Al的含量设为0.5质量ppm以下，Si的含量设为1质量ppm以下，C的含量设为1质量ppm以下，O的含量设为2质量ppm以下，H的含量设为1质量ppm以下，S的含量设为5质量ppm以下，在轴线O方向的一端部、中间部及另一端部的与轴线O方向正交的3个截面上，在周向的4个位置的表层部、从表层部向径向的1/4位置、从表层部向径向的1/2位置这3个位置的共36处测定出的平均晶体粒径设在10μm以上且110μm以下的范围内，且维氏硬度设在40Hv以上且100Hv以下的范围内。
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公开(公告)号：CN105829554A
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：CN201480068286.5
申请日：2014-12-08
Applicant: 三菱综合材料株式会社
CPC classification number: C22B15/006 , B22D1/00 , B22D7/005 , B22D11/00 , B22D11/004 , B22D11/108 , B22D11/11 , B22D11/116 , B22D21/00 , B22D21/005 , C22B9/103 , C22C1/02 , C22C9/00 , C23C14/14 , C23C14/3414 , H01J37/3429
Abstract: 本发明的含Ca铜合金的制造方法，其特征在于，具有在铜熔融液中添加Ca的Ca添加工序，该Ca添加工序中，使用在金属Ca(21)的表面包覆有铜(22)的铜包覆Ca材(20)。该铜包覆Ca材(20)中，优选包覆金属Ca(21)的铜(22)的氧含量小于100质量ppm。
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