一种柔性共形仿生触须传感器

    公开(公告)号:CN117147040B

    公开(公告)日:2024-01-26

    申请号:CN202311433044.9

    申请日:2023-11-01

    申请人: 中北大学

    IPC分类号: G01L5/162 G01B7/16

    摘要: 本发明涉及测量值、信号的传输技术领域,尤其涉及一种柔性共形仿生触须传感器,解决了现有触须压力传感器柔性化程度低、灵敏度低、感知压力方向单一的技术问题,其包括圆柱形底座、圆锥台支撑件、活动顶盖以及柔性薄膜球形罩,圆柱形底座的侧壁上开有环形槽,圆锥台支撑件连接至圆柱形底座的顶部,圆锥台支撑件的顶部固连有球体,活动顶盖中开有与球体装配的球形腔,球体与球形腔共同组成转动组件,活动顶盖的顶部中心固定连接有纤毛,柔性薄膜球形罩的顶部开有用于穿置纤毛的通孔,柔性薄膜球形罩将活动顶盖、球体、圆锥台支撑件罩在其内且其底部卡箍至圆柱形底座侧壁的环形槽中;柔性薄膜球形罩上固定设置有与多根波浪形的压

    一种基于磁柱的仿生柔性力传感器

    公开(公告)号:CN117723172A

    公开(公告)日:2024-03-19

    申请号:CN202311758631.5

    申请日:2023-12-20

    申请人: 中北大学

    IPC分类号: G01L1/12 G01L5/00

    摘要: 本发明涉及磁体、磁性材料的选择技术领域,尤其涉及一种基于磁柱的仿生柔性力传感器,解决现有电磁式柔性传感器由于受限的磁微粒数量及磁化强度再加上部分机械能被弹性衬底吸收,导致线圈内的磁场强度减小的技术缺陷;其包括柔性顶部罩层、柔性支撑层、磁体组件和至少一组相导通的堆叠线圈,柔性顶部罩层罩设在柔性支撑层上表面且与柔性支撑层固定连接,二者之间形成空腔结构;磁体组件位于空腔结构的中间区域且与柔性顶部罩层的顶部固定连接,磁体组件包括至少一根位于竖直方向的磁柱;柔性支撑层的中间开有通孔,当磁体组件在柔性顶部罩层的带动下向下运动时通孔用于避让磁体组件;堆叠线圈相堆叠后粘接至柔性支撑层的下表面。

    一种d11工作模式驱动的PMUT单元及其制备方法

    公开(公告)号:CN116944006A

    公开(公告)日:2023-10-27

    申请号:CN202311203223.3

    申请日:2023-09-19

    申请人: 中北大学

    IPC分类号: B06B1/06 B81C3/00

    摘要: 本发明属于半导体技术领域,尤其涉及一种d11工作模式驱动的PMUT单元及其制备方法,解决了现有PMUT性能较低的技术问题,该方法包括在SOI片上表面制备压电层;在压电层上制作上电极;在SOI片下表面沉积二氧化硅层,在二氧化硅层的下表面向上刻蚀漏出SOI片的埋层;对二氧化硅层和SOI片中的埋层进行腐蚀,得到PMUT单元的空腔结构。本发明提供的PMUT单元采用压电材料表面横向伸缩工作模式膜薄压电层与振动层产生位移差,实现弯曲振动,可用于超声成像,同时可提高输出电压及相应灵敏度;该方法避免了压电层图形化过程中刻蚀工艺复杂、困难问题,该方法简单,可应用于医疗、工业、生物特征识别等领域。

    一种摩擦磁电复合微能源采集器
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114826016A

    公开(公告)日:2022-07-29

    申请号:CN202210570103.6

    申请日:2022-05-24

    申请人: 中北大学

    IPC分类号: H02N1/04 H02N2/18 H02K35/02

    摘要: 本申请公开了一种摩擦磁电复合微能源采集器,包括:用于将风能转化为机械能的风能捕获装置以及与所述风能捕获装置组装的发电装置,所述发电装置包括:摩擦‑电磁发电单元、外壳以及密封盖,所述摩擦‑电磁发电单元安装在所述外壳内并由所述密封盖密封。本申请将摩擦和电磁发电单元集成在同一器件上,实现对不同频率风能的高效采集,相对于传统的能源采集器件,具有更高的能源采集效率,解决了电子设备的自供电问题,特别是在无人值守环境中的监测、物联网等领域的供电和传感。

    一种与无人飞行器机翼一体式集成的振动能量采集器件

    公开(公告)号:CN117895823A

    公开(公告)日:2024-04-16

    申请号:CN202410294478.3

    申请日:2024-03-15

    申请人: 中北大学

    摘要: 本发明涉及用于与飞机配合或装到飞机上的设备技术领域,尤其涉及一种与无人飞行器机翼一体式集成的振动能量采集器件,解决了现有无人飞行器通过太阳能供能不够稳定,电池供电续航有限,且机翼自激振动产生的振动能无法有效收集利用的技术问题,其包括一个或多个筒体,所有筒体连接形成蜂窝状结构,筒体中设有柔性薄膜。每个筒体中均包括两个摩擦电能量采集器、两个压电式能量采集器以及两个电磁式能量采集器;将摩擦电式、压电式及电磁式三种换能机制相结合,能将异形机翼的振动能高效采集并转换为电能,可为无人飞行器的小型电子系统供电,将有效减小其固有供能单元的负荷,在保证高机动性条件下有望提升整体航时。

    一种柔性共形仿生触须传感器
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117147040A

    公开(公告)日:2023-12-01

    申请号:CN202311433044.9

    申请日:2023-11-01

    申请人: 中北大学

    IPC分类号: G01L5/162 G01B7/16

    摘要: 本发明涉及测量值、信号的传输技术领域,尤其涉及一种柔性共形仿生触须传感器,解决了现有触须压力传感器柔性化程度低、灵敏度低、感知压力方向单一的技术问题,其包括圆柱形底座、圆锥台支撑件、活动顶盖以及柔性薄膜球形罩,圆柱形底座的侧壁上开有环形槽,圆锥台支撑件连接至圆柱形底座的顶部,圆锥台支撑件的顶部固连有球体,活动顶盖中开有与球体装配的球形腔,球体与球形腔共同组成转动组件,活动顶盖的顶部中心固定连接有纤毛,柔性薄膜球形罩的顶部开有用于穿置纤毛的通孔,柔性薄膜球形罩将活动顶盖、球体、圆锥台支撑件罩在其内且其底部卡箍至圆柱形底座侧壁的环形槽中;柔性薄膜球形罩上固定设置有与多根波浪形的压敏电阻。

    柔性可穿戴传感器及其相应的可穿戴设备及制备方法

    公开(公告)号:CN109700440A

    公开(公告)日:2019-05-03

    申请号:CN201811553258.9

    申请日:2018-12-18

    申请人: 中北大学

    IPC分类号: A61B5/02

    摘要: 本发明提供了一种尺寸小巧、柔性程度高且输出能力高的柔性可穿戴传感器以及相应的可穿戴设备和制备方法,其中的柔性可穿戴传感器包括:依次设置的第一电极层、第一摩擦层、间隔层、第二电极层以及第二摩擦层,第一摩擦层和第二摩擦层中均含有至少由硅橡胶组成的柔性混合材料,间隔层采用柔性材料制备而成,第一摩擦层的内表面和第二摩擦层的内表面相对应的区域上均形成有由多个凸起结构排布而成的凸起部分,且该两个内表面相对设置,第一电极层覆盖在第一摩擦层的外表面上,间隔层具有与第一摩擦层的内表面上的凸起部分对应的中空部分,第二电极层覆盖在第二摩擦层的内表面上。

    一种与无人飞行器机翼一体式集成的振动能量采集器件

    公开(公告)号:CN117895823B

    公开(公告)日:2024-05-14

    申请号:CN202410294478.3

    申请日:2024-03-15

    申请人: 中北大学

    摘要: 本发明涉及用于与飞机配合或装到飞机上的设备技术领域,尤其涉及一种与无人飞行器机翼一体式集成的振动能量采集器件,解决了现有无人飞行器通过太阳能供能不够稳定,电池供电续航有限,且机翼自激振动产生的振动能无法有效收集利用的技术问题,其包括一个或多个筒体,所有筒体连接形成蜂窝状结构,筒体中设有柔性薄膜。每个筒体中均包括两个摩擦电能量采集器、两个压电式能量采集器以及两个电磁式能量采集器;将摩擦电式、压电式及电磁式三种换能机制相结合,能将异形机翼的振动能高效采集并转换为电能,可为无人飞行器的小型电子系统供电,将有效减小其固有供能单元的负荷,在保证高机动性条件下有望提升整体航时。

    一种d11工作模式驱动的PMUT单元及其制备方法

    公开(公告)号:CN116944006B

    公开(公告)日:2023-12-15

    申请号:CN202311203223.3

    申请日:2023-09-19

    申请人: 中北大学

    IPC分类号: B06B1/06 B81C3/00

    摘要: 本发明属于半导体技术领域,尤其涉及一种d11工作模式驱动的PMUT单元及其制备方法,解决了现有PMUT性能较低的技术问题,该方法包括在SOI片上表面制备压电层;在压电层上制作上电极;在SOI片下表面沉积二氧化硅层,在二氧化硅层的下表面向上刻蚀漏出SOI片的埋层;对二氧化硅层和SOI片中的埋层进行腐蚀,得到PMUT单元的空腔结构。本发明提供的PMUT单元采用压电材料表面横向伸缩工作模式膜薄压电层与振动层产生位移差,实现弯曲振动,可用于超声成像,同时可提高输出电压及相应灵敏度;该方法避免了压电层图形化过程中刻蚀工艺复杂、困难