一种闪蒸装置及闪蒸方法
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116657136A

    公开(公告)日:2023-08-29

    申请号:CN202310630819.5

    申请日:2023-05-30

    IPC分类号: C23C26/00 H10K71/12 H10K30/50

    摘要: 本申请公开了一种闪蒸装置及闪蒸方法,通过在腔室内设置阀门,将腔室划分为至少两个子腔室,开启阀门,子腔室连通为较大的腔室,关闭阀门,子腔室相互隔离,且不同子腔室连接的抽气泵的抽气速率可以不同。在闪蒸初始阶段,开启阀门,并开启抽气速率较小的抽气泵,使得待闪蒸薄膜可以在较大的腔室内,被以较小的抽气速率进行抽气,避免了产生巨大的气体扰动而造成制备的薄膜不均匀的问题;当腔室内的气压达到预设气压后,关闭阀门和抽气速率较小的抽气泵,开启抽气速率较大的抽气泵,使得待闪蒸薄膜可以在较小的子腔室中快速完成闪蒸,此阶段中,子腔室的气体量较小,因此快速抽真空对获得的薄膜的均匀性影响较小。