一种闪蒸装置及闪蒸方法
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116657136A

    公开(公告)日:2023-08-29

    申请号:CN202310630819.5

    申请日:2023-05-30

    IPC分类号: C23C26/00 H10K71/12 H10K30/50

    摘要: 本申请公开了一种闪蒸装置及闪蒸方法,通过在腔室内设置阀门,将腔室划分为至少两个子腔室,开启阀门,子腔室连通为较大的腔室,关闭阀门,子腔室相互隔离,且不同子腔室连接的抽气泵的抽气速率可以不同。在闪蒸初始阶段,开启阀门,并开启抽气速率较小的抽气泵,使得待闪蒸薄膜可以在较大的腔室内,被以较小的抽气速率进行抽气,避免了产生巨大的气体扰动而造成制备的薄膜不均匀的问题;当腔室内的气压达到预设气压后,关闭阀门和抽气速率较小的抽气泵,开启抽气速率较大的抽气泵,使得待闪蒸薄膜可以在较小的子腔室中快速完成闪蒸,此阶段中,子腔室的气体量较小,因此快速抽真空对获得的薄膜的均匀性影响较小。

    一种玻璃基板的连续式隧道炉
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115536255A

    公开(公告)日:2022-12-30

    申请号:CN202211150362.X

    申请日:2022-09-21

    IPC分类号: C03B25/08

    摘要: 本发明公开了一种玻璃基板的连续式隧道炉,其包括:隧道炉体,所述隧道炉具有进口和出口,且所述进口到所述出口的方向为输送方向;加热装置,所述加热装置沿所述隧道炉体的所述输送方向布置,用于对隧道炉体内部加热;输送装置,所述输送装置用于输送玻璃基板,且所述输送装置沿所述输送方向移动,所述输送装置上安装的所述玻璃基板的最大面与所述输送方向相交。本申请中改变了玻璃基板的输送方式,具体的,将玻璃基板沿长度方向进入隧道炉体内的运输方式改变为将玻璃基板的长度方向相对于隧道炉体的进口倾斜的进入隧道炉体内,如此可缩短玻璃基板两端的距离,有效减小两端之间的温差,降低了玻璃基板的裂片率。