一种高振型稳定性的宽频响硅微机械加速度计

    公开(公告)号:CN112881755B

    公开(公告)日:2022-06-14

    申请号:CN202110071869.5

    申请日:2021-01-19

    Abstract: 本发明公开了一种具有高振型稳定性、宽频率响应特征的电容式硅微机械加速度计结构,属于惯性技术和微机电系统(MEMS)领域。该加速度计依次包括基底硅体3、锚点2和器件层1。器件层1通过锚点2悬置于基底硅体3上方;所述器件层1由框架式结构4和弹性梁组5构成;所述框架式结构4为方形外围框架结构4‑2和连接中央横梁4‑1组成的“日”字形结构。该加速度计结构具有易于加工、结构误差免疫工艺误差等特点,八爪构型特征的结构显著提高面内振型稳定性,内框架的弹性梁和锚点约束抑制面外振动,该器件结构能够有效压缩有用振型至一阶模态,将多个有害振型排挤至二阶及以上的高阶模态,有效隔离高阶有害振型对一阶有用振型的影响,显著提升了加速度计结构在高频响应范围的振型稳定性,提高了器件精度。

    一种高振型稳定性的宽频响硅微机械加速度计

    公开(公告)号:CN112881755A

    公开(公告)日:2021-06-01

    申请号:CN202110071869.5

    申请日:2021-01-19

    Abstract: 本发明公开了一种具有高振型稳定性、宽频率响应特征的电容式硅微机械加速度计结构,属于惯性技术和微机电系统(MEMS)领域。该加速度计依次包括基底硅体3、锚点2和器件层1。器件层1通过锚点2悬置于基底硅体3上方;所述器件层1由框架式结构4和弹性梁组5构成;所述框架式结构4为方形外围框架结构4‑2和连接中央横梁4‑1组成的“日”字形结构。该加速度计结构具有易于加工、结构误差免疫工艺误差等特点,八爪构型特征的结构显著提高面内振型稳定性,内框架的弹性梁和锚点约束抑制面外振动,该器件结构能够有效压缩有用振型至一阶模态,将多个有害振型排挤至二阶及以上的高阶模态,有效隔离高阶有害振型对一阶有用振型的影响,显著提升了加速度计结构在高频响应范围的振型稳定性,提高了器件精度。

    一种确定多柱并联金属氧化物限压器均匀性的方法及系统

    公开(公告)号:CN113468468B

    公开(公告)日:2024-09-10

    申请号:CN202110592905.2

    申请日:2021-05-28

    Abstract: 本发明公开了一种确定多柱并联金属氧化物限压器均匀性的方法及系统,包括:分别对多柱并联金属氧化物限压器进行冲击测试和直流电压测试,获取所述多柱并联金属氧化物限压器的冲击动作电流数据集和直流稳态电流数据集;分别对所述冲击动作电流数据集和直流稳态电流数据集进行z分数变换处理;计算经过z分数变换处理的冲击动作电流数据集和直流稳态电流数据集间的相关性系数;当所述相关性系数大于等于预设的相关性系数阈值时,根据经过z分数变换处理的冲击动作电流数据集和直流稳态电流数据集进行信息融合,以获取电流平均数据集;根据所述电流平均数据集计算均匀性系数,以根据所述均匀性系数确定所述多柱并联金属氧化物限压器的均匀性。

    一种非复用式电力电子有载分接开关切换的过渡电路

    公开(公告)号:CN112447383B

    公开(公告)日:2022-11-25

    申请号:CN202011138031.5

    申请日:2020-10-22

    Abstract: 本发明公开了一种非复用式电力电子有载分接开关切换的过渡电路,包括:主触头MC1、MC2,旁路电力电子开关GM1、GM2,环路电力电子开关GR1、GR2,保护真空开关V1、V2,过渡电阻R1、R2,极间非线性电阻MOA;主触头MC1、旁路电力电子开关GM1和过渡电阻R1与变压器调压绕组的奇数分接连接;主触头MC2、旁路电力电子开关GM2和过渡电阻R2与变压器调压绕组的偶数分接连接;过渡电阻R1与环路电力电子开关GR1串联,过渡电阻R2与环路电力电子开关GR2串联;保护真空开关V1与旁路电力电子开关GM1和环路电力电子开关GR1相连接,保护真空开关V2与旁路电力电子开关GM2和环路电力电子开关GR2相连接;主触头MC1、MC2、保护真空开关V1、V2与变压器中性点相连接,以输出负载电流。

    一种限压器阀片网络的动态特征系数的确定方法及系统

    公开(公告)号:CN111025026A

    公开(公告)日:2020-04-17

    申请号:CN201911174487.4

    申请日:2019-11-26

    Abstract: 本发明公开了一种限压器阀片网络的动态特征系数的确定方法及系统,包括:获取测量冲击电流下处于预设的连接方式下的第一阀片和第二阀片的动作电压数据和电流数据;对所述获取的动作电压和电流数据进行去噪处理;对所述经过去噪处理的动作电压数据和电流数据进行降采样和滑动平均滤波处理;基于坐标变换的冲击信号周期延拓,根据经过滤波处理的动作电压和电流数据,确定所述第一阀片和第二阀片的分析系数。本发明能够应用于并联阀片、也可应用于串联阀片之间的动态特征曲线比较分析,同时适用于均压及均流性分析,适用性较为广泛;基于阀片单次动作的电压、电流信号实现,无需多次冲击构造拟合曲线,简化了测试难度。

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