一种化学水浴法制备大尺寸硫化镉薄膜的方法

    公开(公告)号:CN103643225B

    公开(公告)日:2015-11-11

    申请号:CN201310617879.X

    申请日:2013-11-27

    IPC分类号: C23C18/16

    摘要: 本发明涉及一种化学水浴法制备大尺寸硫化镉薄膜的方法,包括:将至少一块衬底以将其中不需镀膜的一面封闭的方式固定于反应容器中;向所述反应容器内注入含有镉盐、硫源、氨水、和去离子水的反应溶液后将所述反应容器密封,其中所述反应溶液的体积小于所述反应容器的容积;将密封好的反应容器水平浸入到恒温水浴振荡器中,加热水浴并使所述反应容器以水平方向上回旋往复或者以中轴为轴心上下摆动的运动方式不停地将反应溶液混合均匀,从而在所述至少一块衬底的未封闭的一面上沉积均匀的硫化镉薄膜;以及硫化镉薄膜沉积至所需厚度后取出并清洗、干燥即制得大尺寸硫化镉薄膜。

    铜铟镓硒硫薄膜太阳电池光吸收层的制备方法

    公开(公告)号:CN101789469A

    公开(公告)日:2010-07-28

    申请号:CN201010118290.1

    申请日:2010-03-05

    CPC分类号: Y02P70/521

    摘要: 本发明涉及铜铟镓硒硫(CIGSS)光吸收层薄膜的制备方法。特征在于首先采用磁控溅射法在基片沉积Cu膜,然后采用蒸发法沉积In-Ga膜,形成Cu-In-Ga合金膜,再次将Cu-In-Ga合金膜与固态Se源或气态H2Se源反应生成铜铟镓硒(CIGS)薄膜,最后将CIGS薄膜与固态S单质或气态H2S源反应生成铜铟镓硒硫(CIGSS)吸光层薄膜。本发明所提供的CIGSS薄膜的制备方法,不仅避免了三步共蒸发法中的大面积薄膜成分难以控制的问题,也克服了磁控溅射法中成膜速率过慢的问题,而且改善了CIGSS薄膜的表面状态,减少了CIGSS电池的界面复合,有利于高效率CIGSS薄膜太阳电池的规模化生产。