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公开(公告)号：CN110970794B
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN201911334588.3
申请日：2019-12-20
申请人： 中国科学院半导体研究所 , 长沙航空职业技术学院
摘要： 一种用于提高激光器功率的声光Q开关、谐振腔及脉冲激光器，该声光Q开关包括透明光学元件，用于形成对激光起到衍射作用的相位光栅；压电换能器，设置在透明光学元件的一端，用于将电能转换成超声波能使透明光学元件内形成相位光栅；以及吸收体，设置在透明光学元件的另一端，用于吸收超声波能。本发明的声光Q内部光学晶体入射面设计成凹型曲面，可以对谐振腔内部振荡的聚焦光束进行扩束，使穿过声光Q光学晶体内部的光束体积变大，实现间接提高穿过振荡光束的光栅数目的，由于声光Q对振荡级激光关断激光能力与穿过其光栅数成正比，因此本发明可以提高声光Q开关关断振荡级激光的能力。
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公开(公告)号：CN118595079A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410737555.8
申请日：2024-06-07
摘要： 本发明公开了一种高低不平板材表面的激光清洗装置及其方法，包括：激光器、聚焦机构和光路导向机构；激光器设置于聚焦机构的一侧，激光器发射的光束能够通过聚焦机构聚焦整形，经过聚焦机构聚焦后的光束能够通过光路导向机构照射于清洗物上；激光器、聚焦机构、光路导向机构水平方向逐一设置。该激光清洗装置在激光器的输出光路上设置有可调整的聚焦机构，通过聚焦机构能够对射向待清洗物体的光束焦点位置进行调整，这就使得该激光清洗装置在清洗表面不平整的物体时可以通过对光束焦点的位置调整来避免待清洗物体上焦点位置偏移的问题，使激光作用力度最大化，提高清洗效率及清洗一致性。
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公开(公告)号：CN110976439A
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201911353814.2
申请日：2019-12-24
申请人： 中国科学院半导体研究所 , 长沙航空职业技术学院
IPC分类号： B08B7/00 , B23K26/073 , B23K26/064
摘要： 本发明公开了一种提高激光清洗表面均匀程度的激光清洗方式和设备，其中，该激光清洗方式和设备包括：对电机施加尖顶正弦波信号；通过该电机控制振镜摆动；通过该振镜的摆动将激光器发出的激光光束进行整形；利用整形后的光束进行激光清洗。本发明提供的该激光清洗方式和设备，可使整体光斑分布较为均匀，总体上可以让整个区域接受到较为均匀的激光能量。
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公开(公告)号：CN110970794A
公开(公告)日：2020-04-07
申请号：CN201911334588.3
申请日：2019-12-20
申请人： 中国科学院半导体研究所 , 长沙航空职业技术学院
摘要： 一种用于提高激光器功率的声光Q开关、谐振腔及脉冲激光器，该声光Q开关包括透明光学元件，用于形成对激光起到衍射作用的相位光栅；压电换能器，设置在透明光学元件的一端，用于将电能转换成超声波能使透明光学元件内形成相位光栅；以及吸收体，设置在透明光学元件的另一端，用于吸收超声波能。本发明的声光Q内部光学晶体入射面设计成凹型曲面，可以对谐振腔内部振荡的聚焦光束进行扩束，使穿过声光Q光学晶体内部的光束体积变大，实现间接提高穿过振荡光束的光栅数目的，由于声光Q对振荡级激光关断激光能力与穿过其光栅数成正比，因此本发明可以提高声光Q开关关断振荡级激光的能力。
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公开(公告)号：CN118616422A
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202410737771.2
申请日：2024-06-07
摘要： 本发明公开了一种多波长激光复合清洗装置、系统及其方法，包括：壳体、第一光路机构、第二光路机构和光路复合机构；第一光路机构、第二光路机构和光路复合件均设置于壳体内，壳体能够通入和/或射出激光；第一光路机构、第二光路机构均设置于光路复合机构的上方，第一光路机构和第二光路机构均能够将射入的激光传播至光路复合机构上，光路复合机构能够将经第一光路机构和第二光路机构传播的激光射向待清洗物体。该多波长激光复合清洗装置中通过光路复合机构的设置使得两束激光均能够同步射向待清洗物体的同一处或不同处，实现对多束激光的同时利用，在激光清洗的过程中充分发挥了不同波长、不同类型的激光的优势，提高了清洗质量和清洗效率。
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公开(公告)号：CN110976439B
公开(公告)日：2020-10-20
申请号：CN201911353814.2
申请日：2019-12-24
申请人： 中国科学院半导体研究所 , 长沙航空职业技术学院
IPC分类号： B08B7/00 , B23K26/073 , B23K26/064
摘要： 本发明公开了一种提高激光清洗表面均匀程度的激光清洗方式和设备，其中，该激光清洗方式和设备包括：对电机施加尖顶正弦波信号；通过该电机控制振镜摆动；通过该振镜的摆动将激光器发出的激光光束进行整形；利用整形后的光束进行激光清洗。本发明提供的该激光清洗方式和设备，可使整体光斑分布较为均匀，总体上可以让整个区域接受到较为均匀的激光能量。
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公开(公告)号：CN111420939A
公开(公告)日：2020-07-17
申请号：CN202010382042.1
申请日：2020-05-08
申请人： 长沙航空职业技术学院
摘要： 本发明提供了一种多路激光合束清洗装置，包括壳体、第一振境片、第二振境片、第一激光场境、第二激光场境、第一电机和第二电机；相对设置的第一振镜片和第二振镜片，且分别与第一激光场境和第二激光场境配合形成两路扫描清洗光束，两路清洗光束同时清洗有效提高装置的清洗效率，同时第一振镜片和第二振镜片分别通过对称设置的第一电机和第二电机同步驱动摆动，且第一振镜片和第二振镜片摆动角度始终相反，使得第一振镜片形和第一激光场境形成的第一路扫描清洗光束能够与第二振镜片和第二激光场境形成的第二路扫描清洗光束交叉叠加组成一复合的扫描清洗区域，有效避免了清洗光束间间距大导致待清洗物体污染物残留及清洁程度较差的问题。
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公开(公告)号：CN110976440A
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201911410787.8
申请日：2019-12-31
申请人： 长沙航空职业技术学院
摘要： 本发明提供了一种激光清洗装置。包括上镜筒臂、下镜筒臂、固定镜腔、摆动镜腔、末端镜腔、固定镜、摆动镜、积分镜、转轴和激光器；上镜筒臂一端与激光器连接，上镜筒臂另一端与固定镜腔连接；下镜筒臂一端与摆动镜腔连接，下镜筒臂另一端与末端镜腔连接；固定镜腔与摆动镜腔通过转轴连接，转轴同时垂直于上镜筒臂和下镜筒臂；固定镜安装在固定镜腔内，摆动镜安装在摆动镜腔内，积分镜安装在末端镜腔内。本发明还提供了一种清洗方法，通过调节下镜筒臂，实现待清洗内部结构的清洗。本发明可以自动调节清洗光斑的角度，实现内部空间结构的上、下及侧面的全部清洗，使内部结构无死角清洗，扩大了清洗范围，提高了清洗效率。
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公开(公告)号：CN115478272B
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202211066905.X
申请日：2022-09-01
申请人： 中国科学院半导体研究所
IPC分类号： C23C24/10
摘要： 本公开提出一种激光熔覆方法、装置、电子设备和介质，其中，方法包括：同步开启目标送粉器和可移动装置，以通过目标送粉器的多孔送粉喷嘴将熔覆粉末喷送至激光熔覆基材，并通过可移动装置带动激光器移动；其中，激光器的激光光斑为条状光斑，多孔送粉喷嘴中线和激光熔覆基材表面的交点与激光光斑中线和激光熔覆基材表面的交点之间的间距为目标长度；响应于目标送粉器开启目标时长，开启激光器，以通过激光器发射激光光斑，对激光熔覆基材上的熔覆粉末进行激光熔覆。由此，采用条状光斑的激光对熔覆粉末进行激光熔覆，可以有效获得高平整度的激光熔覆层，从而可以降低后期机械加工的工作量，并可以降低熔覆粉末的损耗。
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公开(公告)号：CN117260027A
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202311220823.0
申请日：2023-09-20
申请人： 中国科学院半导体研究所
IPC分类号： B23K26/402 , B23K26/06 , B23K26/70 , B23K37/04 , B23K26/14
摘要： 本公开提出一种用于脆硬构件分离的激光系统和方法，其中，激光系统包括：载台，载台用于承载脆硬构件；第一光路，第一光路用于载台沿第一路径移动时出射聚焦激光束，以利用聚焦激光束在脆硬构件中形成多个位于同一平面内且间隔分布的空隙；第二光路，第二光路用于沿第二路径出射第二平行激光束，以利用第二平行激光束扩展空隙，从而使多个空隙连通并形成改质层。在本公开的一种用于脆硬构件分离的激光系统和方法中，不仅避免了外部较大载荷的介入，保证了脆硬构件较高的加工质量，而且避免了聚焦控制、精密移动控制等操作，从而有效简化了脆硬构件的分离过程，提高了脆硬构件的加工效率，降低了脆硬构件的加工成本。
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