公开(公告)号：CN101504426B

公开(公告)日：2011-01-05

申请号：CN200910116228.6

申请日：2009-02-23

Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院

Inventor： 鲍路路 ,  孔德义 ,  李庄 ,  江儒龙 ,  林丙涛 ,  郭攀 ,  朱荣华 ,  熊剑平 ,  赵贵 ,  徐艳华 ,  陈池来 ,  程玉鹏

IPC: G01P15/125 ,  B81B7/02 ,  B81C5/00

CPC classification number: G01P2015/082

Abstract: 本发明涉及梳齿电容式双轴加速度计，包括有基片，基片上有敏感质量块，所述敏感质量块上分别安装有固定梳齿，所述敏感质量块的每个周边与对应的固定梳齿之间还有可动梳齿，所述敏感质量块的四个边角处还分别连接有四个支撑架，所述四个支撑架沿敏感质量块中心对称，其另一端连接至基片上。本发明体积小，重量轻，可实现高灵敏度、高分辨率的二维加速度测量。

公开(公告)号：CN101504426A

公开(公告)日：2009-08-12

申请号：CN200910116228.6

申请日：2009-02-23

Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院

Inventor： 鲍路路 ,  孔德义 ,  李庄 ,  江儒龙 ,  林丙涛 ,  郭攀 ,  朱荣华 ,  熊剑平 ,  赵贵 ,  徐艳华 ,  陈池来 ,  程玉鹏

IPC: G01P15/125 ,  B81B7/02 ,  B81C5/00

CPC classification number: G01P2015/082

Abstract: 本发明涉及梳齿电容式双轴加速度计，包括有基片，基片上有敏感质量块，所述敏感质量块上分别安装有固定梳齿，所述敏感质量块的每个周边与对应的固定梳齿之间还有可动梳齿，所述敏感质量块的四个边角处还分别连接有四个支撑架，所述四个支撑架沿敏感质量块中心对称，其另一端连接至基片上。本发明体积小，重量轻，可实现高灵敏度、高分辨率的二维加速度测量。