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公开(公告)号:CN101655379A
公开(公告)日:2010-02-24
申请号:CN200910144955.3
申请日:2009-09-15
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
Abstract: 本发明公开了一种陶瓷双电容式压力变送器电路,包括双电容陶瓷感压膜片,所述双电容陶瓷感压膜片的公共电极、参考电极和测量电极经其引线分别与电容-电压转换芯片的输入端联接,电容-电压转换芯片的输出端与仪表放大器的输入端联接,仪表放大器的输出端与单运放的输入联接,单运放的输出再与电压-电流转换芯片的输入端联接。本电路将压力变化引起的电容变化经过电容-电压转换芯片,转化为电压信号,再经放大电路调整、电压-电流转换芯片进行V-I转换和非线性修正,最后输出4~20mA的直流电流信号。本发明的电路结构简洁,较好地解决了陶瓷双电容感压膜片的微小电容测量问题,满足了小规模生产的需要。
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公开(公告)号:CN101504426B
公开(公告)日:2011-01-05
申请号:CN200910116228.6
申请日:2009-02-23
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
IPC: G01P15/125 , B81B7/02 , B81C5/00
CPC classification number: G01P2015/082
Abstract: 本发明涉及梳齿电容式双轴加速度计,包括有基片,基片上有敏感质量块,所述敏感质量块上分别安装有固定梳齿,所述敏感质量块的每个周边与对应的固定梳齿之间还有可动梳齿,所述敏感质量块的四个边角处还分别连接有四个支撑架,所述四个支撑架沿敏感质量块中心对称,其另一端连接至基片上。本发明体积小,重量轻,可实现高灵敏度、高分辨率的二维加速度测量。
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公开(公告)号:CN101504426A
公开(公告)日:2009-08-12
申请号:CN200910116228.6
申请日:2009-02-23
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
IPC: G01P15/125 , B81B7/02 , B81C5/00
CPC classification number: G01P2015/082
Abstract: 本发明涉及梳齿电容式双轴加速度计,包括有基片,基片上有敏感质量块,所述敏感质量块上分别安装有固定梳齿,所述敏感质量块的每个周边与对应的固定梳齿之间还有可动梳齿,所述敏感质量块的四个边角处还分别连接有四个支撑架,所述四个支撑架沿敏感质量块中心对称,其另一端连接至基片上。本发明体积小,重量轻,可实现高灵敏度、高分辨率的二维加速度测量。
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