一种石英玻璃亚表面损伤深度样件制作及检测方法

    公开(公告)号:CN115372090A

    公开(公告)日:2022-11-22

    申请号:CN202210907405.8

    申请日:2022-07-29

    Abstract: 本发明涉及一种石英玻璃亚表面损伤深度样件制作及检测方法,步骤为:1、对样件上表面进行超精密磨削加工,清洗加工后的样件;2、将清洗烘干后的单面抛光硅片的抛光面与样件加工面均匀粘接,待胶层固化后,进行横纵方向的分切,分成多个小样件;3、取一块形状方正的小样件,仅一个侧面外露的方式包固在外套件内;4、固定住外套件,对样件外露侧面进行无损渐进式抛光,抛光后清洗、烘干;5、将样件放入氢氟酸腐蚀溶液中腐蚀,并进行清洗烘干;6、利用离子溅射仪对抛光腐蚀后的侧面喷金处理,形成导电层;7、通过扫描电子显微镜观察样件截面并拍摄截面图像,通过图像数据处理软件测得材料亚表面损伤深度。本方法可获取样件表面损伤深度信息。

    一种半球谐振陀螺电极切换间隙检测线路

    公开(公告)号:CN112729334B

    公开(公告)日:2022-07-26

    申请号:CN202011361171.9

    申请日:2020-11-27

    Abstract: 本发明涉及一种半球谐振陀螺电极切换间隙检测线路,包括正弦激励恒压源、谐振子、电容检测模块、模拟开关和上位机,所述正弦激励恒压源的输出端与谐振子相连,所述谐振子安装在基座上,在基座上均布安装有多个电极,每个电极分别与模拟开关的一个输入通道相连,所述模拟开关的信号输入端与上位机的信号输出端相连,模拟开关的输出端与电容检测模块相连,电容检测模块的输出端与上位机的输入端相连。本发明通过谐振子与基座形成的电容,利用电信号对间隙进行测量,传输到上位机,计算获得误差量,并通过上位机,对各个测量电极进行切换测量,获得整体谐振子电极的均匀性信息。

    一种用于低阻尼谐振子参数测试的敲击装置

    公开(公告)号:CN110595509A

    公开(公告)日:2019-12-20

    申请号:CN201910942804.6

    申请日:2019-09-30

    Abstract: 本发明涉及一种用于低阻尼谐振子参数测试的敲击装置,包括敲击杆,敲击杆的上端设置有敲击头,敲击头采用圆弧形结构,敲击头部的刚度与谐振子谐振频率相匹配;包括电磁继电器,电磁继电器的衔铁与敲击杆的下端固定连接;包括单脉冲供给信号源,所述单脉冲供给信号源与电磁继电器电连接;包括可实现电磁继电器左右位置调整和前后位置调整的电磁继电器安装结构;包括用于安装待测元件的元件安装座,元件安装座设置在敲击杆的敲击头伸出的一侧外,元件安装座安装在旋转装置的上方,旋转装置安装在上下位移装置的上方。本装置实现了待测元件的快速起振、方便操作、节省了测试时间、且便于控制敲击力度。

    扩大金属谐振陀螺量程的压电电极设计结构

    公开(公告)号:CN109470231A

    公开(公告)日:2019-03-15

    申请号:CN201811391953.X

    申请日:2018-11-21

    Abstract: 本发明涉及一种扩大金属谐振陀螺量程的压电电极设计结构,在金属筒形谐振子上沿圆周方向均匀布置有八个压电陶瓷片,在相邻两个压电陶瓷片之间的金属筒形谐振子上制出圆孔,每对称设置的两个压电陶瓷片是一对一样的压电陶瓷片,该八个压电陶瓷片分为四对,其分别是驱动电极对、幅值检测电极对、力反馈施力电极对和节点检测电极对;驱动电极对和幅值检测电极对中的压电陶瓷片间隔90°设置,力反馈施力电极对和节点检测电极对中的压电陶瓷片间隔90°设置。本发明对压电陶瓷进行非对称设计,在不改变分辨率等指标的情况下,可以提高金属谐振陀螺仪的闭环量程,同时精度损失较小。

    基于分时复用的谐振陀螺快速频率追踪系统及实现方法

    公开(公告)号:CN114964198B

    公开(公告)日:2022-11-25

    申请号:CN202210924208.7

    申请日:2022-08-03

    Abstract: 本发明涉及一种基于分时复用的谐振陀螺快速频率追踪系统及实现方法,根据用户预设的脉冲形式,生成宽频脉冲信号;将宽频脉冲信号和频率驱动信号相加,通过信号调制单元生成混合驱动信号;混合驱动信号经由数模转换器变为模拟量,经驱动放大器进行功率放大后,在驱动周期施加于谐振子;在检测周期,经I/V转换器及模数转换器检测得到谐振子振动信号;测量谐振子振动信号的频率;根据测得的谐振子振动频率,生成频率驱动信号;将频率驱动信号与宽频脉冲信号相加,用于下一周期谐振子驱动,完成频率追踪闭环。本发明直接测量自由态谐振子振动频率,实现频率的快速准确追踪,减少起振过程锁频时间开销,提升陀螺频率特性。

    陀螺仪用半球谐振子干式清洗系统及干式清洗方法

    公开(公告)号:CN115069685A

    公开(公告)日:2022-09-20

    申请号:CN202210859773.X

    申请日:2022-07-22

    Abstract: 本发明涉及陀螺仪用半球谐振子干式清洗系统及干式清洗方法,方法为:1:将工件固定在清洗腔内工件夹持驱动机构的工件安装位上;2:开启液体CO2储罐上出液口处阀门后,清洗介质通过介质输入管路向清洗腔输送过程中,经过高压和加热变成超临界CO2流体,流入到清洗腔中,对工件进行冲洗;3:启动驱动电机带动工件在清洗介质中旋转并自转,增强超临界CO2流体清洗效果;4:待清洗腔内充满超临界CO2流体时,关闭进液阀门,启动兆声波发生器;5:清洗设定时间后,打开排液阀门使携带污垢的超临界CO2流体从清洗腔流入到分离腔内,CO2流体气化,经排气口排出,并液化回流至液体CO2储罐内,污垢经排污口排出;6:对清洗容器泄压,取出工件。本发明清洗效果好。

    一种用于谐振子Q值测试的真空设备

    公开(公告)号:CN110726421A

    公开(公告)日:2020-01-24

    申请号:CN201910904918.1

    申请日:2019-09-24

    Abstract: 本发明涉及一种用于谐振子Q值测试的真空设备,包括前级泵、真空阀门、主抽泵、电控可调节插板阀、内设真空腔的真空容器、电磁阀、质量流量控制器、电离规;真空容器上设有第一排气接口和第二排气结构,两排气接口分别连接第一排气支路和第二排气支路;第一排气支路由前级泵和电磁阀通过管路串联构成,电磁阀的进气端与第一排气接口通过管路连接;第二排气支路由前级泵、真空阀门、主抽泵和电控可调节插板阀依次通过管路串联构成,电控可调节插板阀的进气端与第二排气接口通过管路连接;质量流量控制器和电离规分别与设置在真空容器上的控制器接口及真空计接口连接。本真空设备能调节并保持真空度。

    用于球形电极真空镀膜的专用工装及镀膜方法

    公开(公告)号:CN113913772B

    公开(公告)日:2023-03-24

    申请号:CN202111013984.3

    申请日:2021-08-31

    Abstract: 本发明涉及用于球形电极真空镀膜的专用工装及镀膜方法,工装包括工装底座、弧面压盖、背面压盖、中心杆、定位销;在进行工件弧面镀膜时,弧面压盖通过螺纹配合与工装底座同轴连接,中心杆由上向下穿经工件的中心孔,并通过下部螺纹端与工装底座的中心螺孔形成螺纹配合;定位销插装于工件底座上的安装孔和工装底座上的定位孔内,使工件以弧面朝上且其中心孔被压盖的方式固定于工装上;在进行工件内孔镀膜时,背面压盖通过螺纹配合与工装底座连接,定位销插装于工件上的定位孔和工装底座上的定位孔内,使工件以中心孔上露且圆弧面朝下的方式固定于工装上。本发明实现了工件表面金属化镀膜和内孔金属化镀膜,节省了模具成本。

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