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    保护膜形成用化学溶液
    1.
    发明授权
    保护膜形成用化学溶液 有权

    公开(公告)号：CN107068538B

    公开(公告)日：2020-09-08

    申请号：CN201611028598.0

    申请日：2010-10-20

    申请人： 中央硝子株式会社

    发明人： 斋藤真规 ,  荒田忍 ,  斋尾崇 ,  公文创一 ,  七井秀寿 ,  赤松佳则

    IPC分类号： H01L21/02 ,  H01L21/306

    摘要： 本发明涉及保护膜形成用化学溶液。本发明公开了一种晶片的拒水性保护膜形成用化学溶液，其特征在于，其为包含拒水性保护膜形成剂的化学溶液，所述拒水性保护膜形成剂用于在表面形成有微细的凹凸图案且该凹凸图案的至少凹部表面的一部分包含选自由钛、氮化钛、钨、铝、铜、锡、氮化钽、钌以及硅组成的组中的至少1种物质的晶片的清洗时至少在前述凹部表面形成拒水性保护膜，该拒水性保护膜形成剂为非水溶性的表面活性剂。利用该化学溶液形成的拒水性保护膜可以防止清洗工序中的晶片的图案倾塌。

    保护膜形成用化学溶液
    8.
    发明公开
    保护膜形成用化学溶液 有权

    公开(公告)号：CN103299403A

    公开(公告)日：2013-09-11

    申请号：CN201180064801.9

    申请日：2011-12-28

    申请人： 中央硝子株式会社

    发明人： 斋尾崇 ,  公文创一 ,  斋藤真规 ,  荒田忍 ,  七井秀寿 ,  赤松佳则

    IPC分类号： H01L21/304

    CPC分类号： H01L21/02068 ,  C11D11/0047

    摘要： 本发明的课题在于提供一种形成拒水性保护膜(10)的保护膜形成用化学溶液，其用于改善容易诱发表面形成有凹凸图案且该凹凸图案的凹部(4)表面具有钛、钨、铝、铜、锡、钽和钌中的至少1种元素的晶片(金属系晶片)的图案倾塌的清洗工序。[解决方案]一种拒水性保护膜形成用化学溶液，其特征在于，其为包含下述拒水性保护膜形成剂和溶剂的化学溶液，所述拒水性保护膜形成剂用于在前述金属系晶片的清洗工序之后且干燥工序之前在至少凹部(4)表面形成拒水性保护膜(10)，该拒水性保护膜形成剂为通式[1]表示的化合物。(R1是一部分或全部氢元素任选被氟元素取代的碳原子数为1～18的1价烃基，R2各自相互独立地是包含一部分或全部氢元素任选被氟元素取代的碳原子数为1～18的烃基的1价有机基团，a是0至2的整数。)

    吸水性物品的制造方法
    9.
    发明授权
    吸水性物品的制造方法 失效

    公开(公告)号：CN101980795B

    公开(公告)日：2013-07-10

    申请号：CN200980111034.5

    申请日：2009-02-24

    申请人： 中央硝子株式会社

    发明人： 滨口滋生 ,  扇谷幸宏 ,  赤松佳则 ,  荒田忍

    IPC分类号： B05D5/00 ,  B05D1/30 ,  B05D7/24 ,  B32B27/40

    CPC分类号： C03C17/002 ,  C03C17/322

    摘要： 本发明第1方案涉及吸水性物品的制造方法，其特征在于，所述吸水性物品具有基材和在该基材上形成的、由具有吸水性的聚氨酯树脂形成的覆膜，该制造方法具有将涂布液涂布在基材上的涂布工序，该涂布工序具有从配置在该基材上方的喷嘴向被水平输送的基材的基材面上供给涂布液的工序，将所述涂布液制成具有固体成分和溶剂的物质，并将涂布液的固体成分浓度调制为5～30质量％、粘度为1～3mPa·s，所述固体成分由多异氰酸酯、具有环氧乙烷的多元醇和疏水性多元醇混合而成。