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公开(公告)号：CN102820319A
公开(公告)日：2012-12-12
申请号：CN201210186683.5
申请日：2012-06-07
申请人： 乐金显示有限公司
IPC分类号： H01L29/04 , H01L29/22 , H01L29/786 , H01L21/336
CPC分类号： H01L29/7869 , H01L21/00 , H01L27/1225 , H01L27/1288 , H01L29/24 , H01L29/66765
摘要： 提供了一种氧化物薄膜晶体管（TFT）及其制造方法。第一数据布线和第二数据布线由不同的金属材料制备，并且有源层形成在所述第一数据布线上，以实现短沟道，因而增强TFT的性能。与有源层接触的第一数据布线由具有优良接触特性的金属材料制备，并且剩下另一第二数据布线（第二数据布线）由具有优良导电性的金属材料制备，以便用于大规模氧化物TFT工艺。并且，可以通过使用半色调曝光来一起形成第一数据布线和第二数据布线，以简化工艺。
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公开(公告)号：CN100528563C
公开(公告)日：2009-08-19
申请号：CN200610094340.0
申请日：2006-06-30
申请人： 乐金显示有限公司
IPC分类号： B41F17/00 , B41N3/00 , G02F1/1333
CPC分类号： B41F3/36 , B41F23/04 , B41F35/00 , B41P2235/27
摘要： 公开了一种印刷设备系统和利用其的构图方法，以防止包覆层的体积因图案材料中包括的溶剂的溶解而变化，由此实现精确的图案，其中，印刷系统包括具有粘附至其外表面的包覆层的印刷辊；和用于干燥印刷辊的包覆层的干燥装置。
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公开(公告)号：CN101733258B
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN200910173152.0
申请日：2009-09-11
申请人： 乐金显示有限公司
CPC分类号： H01L21/67034 , B08B3/10 , B08B7/0035 , G02F2001/1316 , H01L21/67028 , H01L21/67051 , H01L21/67115 , H01L21/6776 , H01L21/6838
摘要： 本发明公开了一种清洗装置，其能够防止由于基板下垂所造成的对基板的损伤。所述清洗装置包括：等离子体照射部，其被提供有来自基板装载部的基板以通过向基板照射等离子体从基板去除污物；清污部，其被提供有来自等离子体照射部的基板以去除留在基板上的污物；最后清洗部，其清洗基板；烘干部，其烘干基板；以及基板卸载部，其卸载基板，其中等离子体照射部包括向基板照射等离子体的等离子体照射单元，以及使所述基板保持处于浮动状态的浮动单元。等离子体照射单元和浮动单元以预定间隔彼此面对，从而在他们之间形成了用于让基板通过的传输空间，浮动单元向传输空间喷射空气并同时抽回所喷射出的空气，从而保持基板的浮动状态。
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公开(公告)号：CN101733258A
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：CN200910173152.0
申请日：2009-09-11
申请人： 乐金显示有限公司
CPC分类号： H01L21/67034 , B08B3/10 , B08B7/0035 , G02F2001/1316 , H01L21/67028 , H01L21/67051 , H01L21/67115 , H01L21/6776 , H01L21/6838
摘要： 本发明公开了一种清洗装置，其能够防止由于基板下垂所造成的对基板的损伤。所述清洗装置包括：等离子体照射部，其被提供有来自基板装载部的基板以通过向基板照射等离子体从基板去除污物；清污部，其被提供有来自等离子体照射部的基板以去除留在基板上的污物；最后清洗部，其被提供有来自清污部的基板以清洗基板；烘干部，其被提供有来自最后清洗部的基板以烘干基板；以及基板卸载部，其被提供有来自烘干部的基板以卸载基板，其中等离子体照射部包括向基板照射等离子体的等离子体照射单元，以及使所述基板保持处于浮动状态的浮动单元。
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公开(公告)号：CN1991578B
公开(公告)日：2010-05-12
申请号：CN200610085024.7
申请日：2006-05-30
申请人： 乐金显示有限公司
IPC分类号： G03F7/00 , G02F1/1333
CPC分类号： H05K3/1275 , B41F3/36 , B41F27/08 , B41F35/00 , B41P2235/26 , G02B5/201 , H05K3/26 , H05K2203/0143 , H05K2203/0534
摘要： 公开了一种印刷装置和使用该印刷装置的印刷方法，其中在底板台中形成气穴，以防止清洗液渗透到底板台和底板之间的空间中，由此防止底板的下表面被污染，该印刷装置包括：底板台，用于固定底板；多个真空孔，其形成在底板台中，用于真空抽吸和固定底板；以及气穴，其包围该多个真空孔，以防止清洗液渗透到底板和底板台之间的空间中。
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公开(公告)号：CN102820319B
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201210186683.5
申请日：2012-06-07
申请人： 乐金显示有限公司
IPC分类号： H01L29/04 , H01L29/22 , H01L29/786 , H01L21/336
CPC分类号： H01L29/7869 , H01L21/00 , H01L27/1225 , H01L27/1288 , H01L29/24 , H01L29/66765
摘要： 提供了一种氧化物薄膜晶体管（TFT）及其制造方法。第一数据布线和第二数据布线由不同的金属材料制备，并且有源层形成在所述第一数据布线上，以实现短沟道，因而增强TFT的性能。与有源层接触的第一数据布线由具有优良接触特性的金属材料制备，并且剩下另一第二数据布线（第二数据布线）由具有优良导电性的金属材料制备，以便用于大规模氧化物TFT工艺。并且，可以通过使用半色调曝光来一起形成第一数据布线和第二数据布线，以简化工艺。
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公开(公告)号：CN102956691B
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201210284418.0
申请日：2012-08-06
申请人： 乐金显示有限公司
IPC分类号： H01L29/423 , H01L29/786 , H01L21/28 , H01L21/336 , G02F1/1362 , G02F1/1368
CPC分类号： H01L21/28008 , G02F1/136286 , G02F1/1368 , G02F2001/133357 , H01L27/1244 , H01L27/1248 , H01L27/1288 , H01L29/78636
摘要： 本发明提供了一种薄膜晶体管及其制造方法和液晶显示装置及其制造方法。公开了根据本发明实施方式的薄膜晶体管及其制造方法，以形成中间绝缘层，从而减小在栅极的后续工艺期间发生的失败。根据本发明的薄膜晶体管可包括：基板；栅极，形成在基板上；平整绝缘层，形成在栅极的侧面部分和基板的上部；栅绝缘层，形成在包含栅极的上部的平整绝缘层上；有源层，形成在位于栅极的上面的平整绝缘层的上部；以及源极和漏极，形成在有源层上，并基于沟道区彼此分开。
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公开(公告)号：CN101664748B
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN200810186209.6
申请日：2008-12-17
申请人： 乐金显示有限公司
摘要： 公开了一种稳定地清洗基板的清洗装置。该清洗装置包括引导从外部供给的基板沿正确方向进入的基板入口引导单元；由所述基板入口引导单元供给所述基板以清除在所述基板上形成的灰尘的灰尘清除单元；由所述灰尘清除单元供给所述基板以清洗掉残留在所述基板上的残余灰尘的灰尘清洗单元；和控制从所述灰尘清洗单元卸下的所述基板的位置的位置控制单元。
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公开(公告)号：CN101612847B
公开(公告)日：2011-11-23
申请号：CN200910151437.4
申请日：2006-06-27
申请人： 乐金显示有限公司
IPC分类号： B41M5/025 , B41M3/00 , B41F35/00 , B41F3/36 , G02F1/1335
CPC分类号： B41F35/00 , B41F3/36 , B41M3/003 , B41M5/0256 , B41P2235/26 , G02F1/133512 , G02F1/133516 , H05K3/1275 , H05K2203/0108 , H05K2203/0126 , H05K2203/0143
摘要： 本发明公开了一种构图方法以及利用该构图方法制造液晶显示器件的方法。所述构图方法包括：通过印刷喷嘴在涂敷辊上涂敷图案材料；从所述涂敷辊上将图案材料转移到印刷辊上，所述印刷辊具有附在其表面上的橡皮布；将具有多个凸起的印版、基板以及清洁单元设置在传动装置上；在所述印版上滚动所述印刷辊，以将部分所述图案材料印刷到所述印版的所述凸起上，使有预定图案的图案材料留在所述印刷辊上；使用印刷喷嘴槽清洁所述印刷喷嘴，并且使用清洁喷嘴清洁所述涂敷辊；以及在所述基板上滚动其上涂敷有具有所述预定图案的所述图案材料的所述印刷辊，将具有所述预定图案的图案材料印刷到所述基板上。
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公开(公告)号：CN101204870B
公开(公告)日：2010-10-27
申请号：CN200710195977.3
申请日：2007-12-14
申请人： 乐金显示有限公司
IPC分类号： B41F13/193 , B41F3/34 , B41N10/02 , B41M1/06
CPC分类号： G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00
摘要： 本发明公开了一种被制造为大尺寸的印刷器件及使用该类器件构图薄膜的方法，其中印刷器件包含在衬底上滚动并在衬底上形成薄膜的印花滚筒；以及多个粘附在印花滚筒上并涂覆用于薄膜的有机液体的橡皮布。
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