显示面板及其晶体管的制造方法、显示装置

    公开(公告)号:CN114628410A

    公开(公告)日:2022-06-14

    申请号:CN202210272543.3

    申请日:2022-03-18

    IPC分类号: H01L27/12 H01L21/77 H01L27/32

    摘要: 提供了一种显示面板及其晶体管的制造方法、显示装置,属于显示技术领域。该方法中,在衬底的一侧形成第一栅金属层、有源层、栅绝缘层和第二栅金属层后,可以对有源层的目标部分进行导体化处理,然后再形成层间介定层和源漏金属层,并将源漏金属层通过贯穿层间介定层和栅绝缘层的过孔与导体化处理后的有源层搭接,得到晶体管。其中,因层间介定层包括至少两层绝缘材料层,故致密性和耐刻蚀性均较好。如此,避免了形成过孔时,层间介定层与第二栅金属层接触部分发生断裂,进而避免了显示面板出现显示异常的问题。

    显示面板及其显示装置
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115224072A

    公开(公告)日:2022-10-21

    申请号:CN202110427389.8

    申请日:2021-04-15

    IPC分类号: H01L27/32

    摘要: 本公开的实施例提供了一种显示基板和显示装置。所述显示基板包括衬底基板、位于显示区的多个子像素以及位于周边区的多个接触垫、周边区绝缘层和周边区无机层,所述多个接触垫中的至少一个包括第一导体部、第二导体部和第三导体部,所述第一导体部位于所述衬底基板上,所述第二导体部位于所述第一导体部背离所述衬底基板的一侧并且与所述第一导体部电连接,所述第三导体部位于所述第二导体部背离所述衬底基板的一侧并且与所述第二导体部电连接,所述第三导体部通过设置在所述周边区无机层中的第二过孔与所述第二导体部电连接,其中所述第一导体部在所述衬底基板上的投影位于所述第二过孔在所述衬底基板的投影内。

    一种显示基板及其制备方法、显示装置

    公开(公告)号:CN117637755A

    公开(公告)日:2024-03-01

    申请号:CN202210979830.8

    申请日:2022-08-16

    IPC分类号: H01L27/12 H01L21/77

    摘要: 本公开实施例提供一种显示基板及其制备方法、显示装置。显示基板包括衬底基板、位于衬底基板一侧的第一薄膜晶体管和第二薄膜晶体管,第一薄膜晶体管的第一有源层的材质包括多晶硅半导体,第二薄膜晶体管的第二有源层的材质包括氧化物半导体,层间绝缘层位于第一有源层和第二有源层的背离衬底基板的一侧,源漏金属层位于层间绝缘层的背离衬底基板的一侧,层间绝缘层至少在所述源漏金属层图案位置包括依次叠层设置的第一子绝缘层、第二子绝缘层、第三子绝缘层和第四子绝缘层,第三子绝缘层的材质包括氧化硅,第四子绝缘层的材质包括氮化硅,第四子绝缘层靠近源漏金属层。

    显示基板及其制作方法及显示装置

    公开(公告)号:CN114725015A

    公开(公告)日:2022-07-08

    申请号:CN202210303696.X

    申请日:2022-03-24

    IPC分类号: H01L21/77 H01L27/12

    摘要: 本申请提供一种显示基板及其制作方法及显示装置,显示基板的制作方法包括:提供衬底基板;在衬底基板上依次形成第一有源层、第一栅绝缘层、第一栅极、第二栅绝缘层、第二栅极、第一层间介质层和第三栅绝缘层;在第一有源层的上方形成过孔,其中过孔贯穿第三栅绝缘层且延伸至第一有源层;沉积金属氧化物层,其中金属氧化物层覆盖位于过孔位置的第一有源层;进行高温退火,改善第一有源层的亚阈值摆幅;对金属氧化物层进行图案化,形成第二有源层。本申请省去了刻蚀工艺制程,基本避免了因刻蚀所导致的低工艺稳定性及产品显示不良的问题。

    薄膜晶体管及其制作方法、显示基板和显示装置

    公开(公告)号:CN117954495A

    公开(公告)日:2024-04-30

    申请号:CN202211353473.0

    申请日:2022-10-31

    摘要: 本公开提供一种薄膜晶体管及其制作方法、显示基板、显示装置,薄膜晶体管包括:设置在衬底上的栅极、有源层、源极和漏极,有源层位于源极远离衬底的一侧,栅极位于有源层远离衬底的一侧;源极和漏极均与有源层连接;缓冲层,设置在有源层与源极所在层之间;栅极绝缘层,设置在有源层与栅极所在层之间,栅极绝缘层具有镂空部;转接电极,位于有源层远离衬底的一侧,转接电极的一部分通过镂空部与有源层电连接,且另一部分通过第一过孔与源极电连接,其中,第一过孔至少贯穿有源层和缓冲层;第一过孔在衬底上的正投影与镂空部在衬底上的正投影存在交叠。

    显示基板及其制备方法、显示面板、显示装置

    公开(公告)号:CN114094030A

    公开(公告)日:2022-02-25

    申请号:CN202111371612.8

    申请日:2021-11-18

    IPC分类号: H01L51/52 H01L27/32 H01L21/77

    摘要: 本申请公开了一种显示基板及其制备方法、显示面板显示装置,涉及显示技术领域。该显示基板包括的第一透明连接层位于第一金属层靠近衬底的一侧,因此至少一个隔离柱的第二金属层与第一金属层位于同层时,该至少一个隔离柱可以在第一透明连接层之后形成。进一步的,能够使得该至少一个隔离柱在形成第一像素电极时被刻蚀为工字型结构,而不会在形成第一像素电极之前就被刻蚀为工字型结构。由此,可以避免形成第一像素电极的材料残留在至少一个隔离柱的工字型结构内,能够确保该至少一个隔离柱阻隔水汽和氧气的可靠性,保证显示装置的显示效果。

    显示面板及其显示装置
    9.
    实用新型

    公开(公告)号:CN215955282U

    公开(公告)日:2022-03-04

    申请号:CN202120778905.7

    申请日:2021-04-15

    IPC分类号: H01L27/32

    摘要: 本实用新型提供了一种显示基板和显示装置。一种显示基板包括衬底基板、位于显示区的多个子像素以及位于周边区的多个接触垫、周边区绝缘层和周边区无机层,所述多个接触垫中的至少一个包括第一导体部、第二导体部和第三导体部,所述第一导体部位于所述衬底基板上,所述第二导体部位于所述第一导体部背离所述衬底基板的一侧并且与所述第一导体部电连接,所述第三导体部位于所述第二导体部背离所述衬底基板的一侧并且与所述第二导体部电连接,所述第三导体部通过设置在所述周边区无机层中的第二过孔与所述第二导体部电连接,其中所述第一导体部在所述衬底基板上的投影位于所述第二过孔在所述衬底基板的投影内。