阵列基板的制备方法
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107170710B

    公开(公告)日:2020-02-07

    申请号:CN201710448475.0

    申请日:2017-06-14

    IPC分类号: H01L21/77

    摘要: 本发明提供一种阵列基板的制备方法,包括:提供基板;在所述基板上形成栅绝缘层;在所述栅绝缘层上形成第一钝化层;在所述第一钝化层上形成有机层;在所述有机层上形成第一导体层;在所述第一导体层上沉积光刻胶;以所述光刻胶和所述第一导体层为双重掩模刻蚀所述有机层。本发明提供的阵列基板的制备方法,以光刻胶和导体层制成的硬掩模层为双重掩模进行刻蚀,降低了刻蚀难度,减少了对光刻胶的依赖,降低了工艺复杂性。

    一种功能图形的制作方法、阵列基板及显示装置

    公开(公告)号:CN106548978B

    公开(公告)日:2018-12-18

    申请号:CN201611056244.7

    申请日:2016-11-22

    IPC分类号: H01L21/77 H01L27/12

    摘要: 本发明提供一种功能图形的制作方法、阵列基板及显示装置,涉及显示领域。其中,制作方法包括:在衬底基板上形成具有凹槽结构的基层,所述凹槽结构的形状对应待形成的功能图形的形状;将用于形成功能图形的流变性材料填充至所述凹槽结构;固化所述凹槽结构中的流变性材料,得到功能图形;去除所述基层。本发明可以直接沉积出具有图形化的流变性材料,在流变性材料固化后即可作为功能图形,相比于现有技术,不需要再对功能图形进行刻蚀,因此简化了制作工序,从而提高制作效率,并降低制作成本。

    金属线及金属线栅的制备方法以及线栅偏振片、电子装置

    公开(公告)号:CN108919407A

    公开(公告)日:2018-11-30

    申请号:CN201810759614.6

    申请日:2018-07-11

    IPC分类号: G02B5/30

    摘要: 一种金属线的制备方法、金属线栅的制备方法以及线栅偏振片、电子装置。该金属线的制备方法包括:在衬底基板上形成金属材料层;采用包括刻蚀气体与涂层反应气体的复合气体对金属材料层进行刻蚀以形成金属线以及金属线的表面的保护涂层。采用该制备方法形成金属线时,金属线的表面在刻蚀过程中即可形成保护涂层,该保护涂层可以对金属线形成保护,例如可以使所形成的金属线的形貌更接近于目标形貌。

    氧化物半导体及氧化物薄膜晶体管制备方法和显示面板

    公开(公告)号:CN106941082A

    公开(公告)日:2017-07-11

    申请号:CN201710171104.2

    申请日:2017-03-21

    摘要: 本文公开了一种氧化物半导体及氧化物薄膜晶体管制备方法和显示面板,包括:在进行第一层沉积之前,利用还原性气体对裸露的氧化物半导体进行处理,以消除初始耗尽层;进行第一层沉积。通过本申请提供的氧化物半导体制备方法,利用还原性气体对氧化物有源层表面的氧负离子进行反应,消除初始耗尽层,大大降低了半导体氧化物阻值的变化量,进而减小了Vth漂移,提高了作为有源层的氧化物的稳定性,从而增加氧化物TFT的信赖性。而且,本申请提供的技术方案工艺简单,有利于产线的大规模生产。

    柔性阵列基板及其制备方法

    公开(公告)号:CN107664890A

    公开(公告)日:2018-02-06

    申请号:CN201710859318.9

    申请日:2017-09-20

    摘要: 本发明公开了一种柔性阵列基板及其制备方法,属于液晶显示技术领域。该阵列基板包括设置在基膜上的薄膜晶体管阵列结构层,所述薄膜晶体管阵列结构层形成多个阵列排布的像素区域,所述像素区域内设置有液晶偏转层。液晶偏转层上设置有多个用于承载液晶的凹槽。本发明实施例提出的柔性阵列基板,可以将液晶滴注在凹槽中,使得液晶分开在不同的区域。这样,就避免了阵列基板在柔性显示时的液晶偏转异常,避免了漏光、变色等不良,提高了柔性LCD面板的显示效果。本发明实施例还提出了该柔性阵列基板的制备方法。

    一种线栅偏振器、其制作方法及显示面板

    公开(公告)号:CN107102394A

    公开(公告)日:2017-08-29

    申请号:CN201710534874.9

    申请日:2017-07-03

    IPC分类号: G02B5/30 G03F7/00

    摘要: 本发明涉及一种线栅偏振器、其制作方法及显示面板,用以解决现有的金属线栅偏振器,在使用过程中金属线栅很容易被氧化或者腐蚀,进而导致线栅偏振器的反射率下降的问题。该线栅偏振器包括:设置在衬底基板上的若干条线栅;其中,线栅相互平行排列、且每相邻两条线栅之间的间距相等;至少一条线栅包括线栅主体、以及包覆在线栅主体表面的保护膜;保护膜材料的硬度和抗腐蚀能力大于线栅主体材料的硬度和抗腐蚀能力。其中线栅包括线栅主体、以及包覆在线栅主体表面的保护膜,由于保护膜材料的硬度和抗腐蚀能力均大于线栅主体材料的硬度和抗腐蚀能力,因此保护膜可以有效的保护线栅主体不被氧化或者腐蚀,而且可以提高线栅的硬度以及耐磨损能力。