公开(公告)号：CN112313240A

公开(公告)日：2021-02-02

申请号：CN201980040227.X

申请日：2019-07-26

Applicant: 优美科股份公司及两合公司

Inventor： N·拉乌 ,  J·松德迈尔 ,  H·舒曼 ,  A·里瓦斯纳斯 ,  A·弗雷 ,  W·朔恩 ,  E·韦尔纳 ,  R·卡希 ,  A·多皮乌

IPC: C07F15/00 ,  H01L33/00 ,  H01L21/00

Abstract: 本发明涉及符合通式[Ru(芳烃)(Ra‑N＝CR1‑CR3＝N‑Rb)]或[Ru(芳烃)((Rc,Rd)N‑N＝CRH1‑CRH3＝N‑N(Re,Rf))]的化合物。在这种情况下，芳烃选自由以下项组成的组：单核和多核芳烃以及杂芳烃。R1、R3、RH1、RH3和Ra‑Rf独立地选自由以下项组成的组：H、烷基基团(C1‑C10)和芳基基团。本发明还涉及用于制备这些化合物的方法、能够根据这些方法获得的化合物、它们的用途以及在其表面上具有钌层或含钌层的衬底。此外，本发明涉及用于制备化合物[Ru(芳烃)X2]2的方法、能够根据该方法获得的该类型的化合物以及它们的用途，其中芳烃选自由以下项组成的组：单核和多核芳烃，并且X＝卤素。上述钌(0)化合物可以简单、经济有效和可再现的方式以高纯度和良好收率制备。由于它们的高纯度，它们适合用作钌(0)前体。