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公开(公告)号：CN113227110B
公开(公告)日：2023-12-05
申请号：CN202080006978.2
申请日：2020-01-07
Applicant: 优美科股份公司及两合公司
Abstract: 本发明涉及式(I)的钌络合物：[(芳烃)RuXL]式(I)，其中所述钌包括以下配体：可被任选取代的(芳烃)芳烃、X H或C1‑C8烃基团，并且2 1 3LR N‑CR＝NR ，其中R1选自H、可被任选取代的C1‑C8烃基团和‑NR4R5，其中R4和R5彼此独立地选自H和可被任选取代的C1‑C8烃基团，R2和R3彼此独立地选自可被任选取代的C1‑C8烃基团，其中1 2R2和R3彼此相同或不同，并且R 与R 可直接连接，R1与R3可直接连接和/或R2与R3可直接连接。
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公开(公告)号：CN111712506A
公开(公告)日：2020-09-25
申请号：CN201880089213.2
申请日：2018-12-12
Applicant: 优美科股份公司及两合公司
Abstract: 本发明涉及金属络合物用于从气相沉积所述金属或所述金属的化合物的用途，所述金属络合物具有至少一个式R1-N3-R2的配体，其中R1和R2为烃部分。本发明还涉及用于沉积所述金属络合物中的金属的方法，并且涉及金属络合物、取代的三氮烯化合物及其制备方法。
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公开(公告)号：CN113242860B
公开(公告)日：2024-01-02
申请号：CN201980082139.6
申请日：2019-11-28
Applicant: 优美科股份公司及两合公司
Abstract: 本发明涉及根据通式Li[AlR4]的铝酸烷基锂以及从非质子溶剂中的LiAlH4和RLi开始制备所述铝酸烷基锂的方法。本发明还涉及可使用受权利要求书保护的方法获得的根据通式Li[AlR4]的化合物及其用途。本发明还涉及铝酸烷基锂Li[AlR4]作为用于将至少一个基团R转移到元素卤化物或金属卤化物的转移试剂的用途，以及用于将至少一个基团R转移到化合物E(X)q以便制备根据通式E(X)q‑pRp的化合物的方法，其中E＝铝、镓、铟、铊、锗、锡、铅、锑、铋、锌、镉、汞或磷，X＝卤素，q＝2、3或4，并且p＝1、2、3或4。本发
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公开(公告)号：CN106103454B
公开(公告)日：2019-06-14
申请号：CN201580013576.4
申请日：2015-03-12
Applicant: 优美科股份公司及两合公司
IPC: C07F5/00
Abstract: 本发明涉及一种以环境友好的方式并且以高产率和选择性廉价地制备具有通式R3Ga的三烷基镓化合物的改善的方法，其中R是具有1到4个碳原子的烷基。根据本发明，三烷基镓是通过中间阶段烷基镓二氯化物(RGaCl2)或二烷基镓氯化物/烷基镓二氯化物的混合物(R2GaCl/RGaCl2)制备的。本发明还涉及所产生的RGaCl2或R2GaCl/RGaCl2混合物。根据本发明的新颖的方法特征在于改善的实施。通过以受控的方式普遍使用具有低环境影响的廉价起始材料和试剂，该方法还适用于工业规模。所获得的三烷基镓化合物由于其高纯度作为在半导体和微型系统技术中用于金属‑有机化学气相沉积法(MOCVD)或金属‑有机气相外延法(MOVPE)的金属有机前体是特别适合的。
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公开(公告)号：CN112805290A
公开(公告)日：2021-05-14
申请号：CN201980065963.0
申请日：2019-11-28
Applicant: 优美科股份公司及两合公司
IPC: C07F11/00 , C23C16/34 , H01L21/768
Abstract: 本发明涉及用于从[W(NtBu)2(NHtBu)2]开始制备根据通式[W(NtBu)2(NRARB)2](I)的双(叔丁基酰亚胺基)双(二烷基酰胺基)钨化合物的两阶段合成。本发明还涉及根据受权利要求书保护的方法可获得的根据通式[W(NtBu)2(NRARB)2](I)的化合物、根据通式[W(NtBu)2(NRARB)2](I)的化合物([W(NtBu)2(NMe2)2]和[W(NtBu)2(NEtMe)2]除外)、化合物[W(NtBu)2(NRARB)2](I)的用途以及在表面上具有钨层或含钨层的衬底。通过所述方法，[W(NtBu)2(NRARB)2](I)型的限定的双(叔丁基酰亚胺基)双(二烷基酰胺基)钨化合物可以容易地、经济地且可再现地以高纯度和良好收率制备。由于其高纯度，所述化合物适于制备具有钨层或含钨层的高质量衬底。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112313240A
公开(公告)日：2021-02-02
申请号：CN201980040227.X
申请日：2019-07-26
Applicant: 优美科股份公司及两合公司
Abstract: 本发明涉及符合通式[Ru(芳烃)(Ra‑N＝CR1‑CR3＝N‑Rb)]或[Ru(芳烃)((Rc,Rd)N‑N＝CRH1‑CRH3＝N‑N(Re,Rf))]的化合物。在这种情况下，芳烃选自由以下项组成的组：单核和多核芳烃以及杂芳烃。R1、R3、RH1、RH3和Ra‑Rf独立地选自由以下项组成的组：H、烷基基团(C1‑C10)和芳基基团。本发明还涉及用于制备这些化合物的方法、能够根据这些方法获得的化合物、它们的用途以及在其表面上具有钌层或含钌层的衬底。此外，本发明涉及用于制备化合物[Ru(芳烃)X2]2的方法、能够根据该方法获得的该类型的化合物以及它们的用途，其中芳烃选自由以下项组成的组：单核和多核芳烃，并且X＝卤素。上述钌(0)化合物可以简单、经济有效和可再现的方式以高纯度和良好收率制备。由于它们的高纯度，它们适合用作钌(0)前体。
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公开(公告)号：CN111712506B
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN201880089213.2
申请日：2018-12-12
Applicant: 优美科股份公司及两合公司
Abstract: 本发明涉及金属络合物用于从气相沉积所述金属或所述金属的化合物的用途，所述金属络合物具有至少一个式R1‑N3‑R2的配体，其中R1和R2为烃部分。本发明还涉及用于沉积所述金属络合物中的金属的方法，并且涉及金属络合物、取代的三氮烯化合物及其制备方法。
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公开(公告)号：CN113242860A
公开(公告)日：2021-08-10
申请号：CN201980082139.6
申请日：2019-11-28
Applicant: 优美科股份公司及两合公司
Abstract: 本发明涉及根据通式Li[AlR4]的铝酸烷基锂以及从非质子溶剂中的LiAlH4和RLi开始制备所述铝酸烷基锂的方法。本发明还涉及可使用受权利要求书保护的方法获得的根据通式Li[AlR4]的化合物及其用途。本发明还涉及铝酸烷基锂Li[AlR4]作为用于将至少一个基团R转移到元素卤化物或金属卤化物的转移试剂的用途，以及用于将至少一个基团R转移到化合物E(X)q以便制备根据通式E(X)q‑pRp的化合物的方法，其中E＝铝、镓、铟、铊、锗、锡、铅、锑、铋、锌、镉、汞或磷，X＝卤素，q＝2、3或4，并且p＝1、2、3或4。本发明还涉及可使用这种方法获得的化合物、其用途以及在一个表面上具有铝层或含铝层的衬底。
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公开(公告)号：CN113227110A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN202080006978.2
申请日：2020-01-07
Applicant: 优美科股份公司及两合公司
Abstract: 本发明涉及式(I)的钌络合物：[(芳烃)RuXL]式(I)，其中所述钌包括以下配体：可被任选取代的(芳烃)芳烃、X H或C1‑C8烃基团，并且LR2N‑CR1＝NR3，其中R1选自H、可被任选取代的C1‑C8烃基团和‑NR4R5，其中R4和R5彼此独立地选自H和可被任选取代的C1‑C8烃基团，R2和R3彼此独立地选自可被任选取代的C1‑C8烃基团，其中R2和R3彼此相同或不同，并且R1与R2可直接连接，R1与R3可直接连接和/或R2与R3可直接连接。
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