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公开(公告)号:CN112805290A
公开(公告)日:2021-05-14
申请号:CN201980065963.0
申请日:2019-11-28
Applicant: 优美科股份公司及两合公司
IPC: C07F11/00 , C23C16/34 , H01L21/768
Abstract: 本发明涉及用于从[W(NtBu)2(NHtBu)2]开始制备根据通式[W(NtBu)2(NRARB)2](I)的双(叔丁基酰亚胺基)双(二烷基酰胺基)钨化合物的两阶段合成。本发明还涉及根据受权利要求书保护的方法可获得的根据通式[W(NtBu)2(NRARB)2](I)的化合物、根据通式[W(NtBu)2(NRARB)2](I)的化合物([W(NtBu)2(NMe2)2]和[W(NtBu)2(NEtMe)2]除外)、化合物[W(NtBu)2(NRARB)2](I)的用途以及在表面上具有钨层或含钨层的衬底。通过所述方法,[W(NtBu)2(NRARB)2](I)型的限定的双(叔丁基酰亚胺基)双(二烷基酰胺基)钨化合物可以容易地、经济地且可再现地以高纯度和良好收率制备。由于其高纯度,所述化合物适于制备具有钨层或含钨层的高质量衬底。
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公开(公告)号:CN113242860B
公开(公告)日:2024-01-02
申请号:CN201980082139.6
申请日:2019-11-28
Applicant: 优美科股份公司及两合公司
Abstract: 本发明涉及根据通式Li[AlR4]的铝酸烷基锂以及从非质子溶剂中的LiAlH4和RLi开始制备所述铝酸烷基锂的方法。本发明还涉及可使用受权利要求书保护的方法获得的根据通式Li[AlR4]的化合物及其用途。本发明还涉及铝酸烷基锂Li[AlR4]作为用于将至少一个基团R转移到元素卤化物或金属卤化物的转移试剂的用途,以及用于将至少一个基团R转移到化合物E(X)q以便制备根据通式E(X)q‑pRp的化合物的方法,其中E=铝、镓、铟、铊、锗、锡、铅、锑、铋、锌、镉、汞或磷,X=卤素,q=2、3或4,并且p=1、2、3或4。本发
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公开(公告)号:CN113242860A
公开(公告)日:2021-08-10
申请号:CN201980082139.6
申请日:2019-11-28
Applicant: 优美科股份公司及两合公司
Abstract: 本发明涉及根据通式Li[AlR4]的铝酸烷基锂以及从非质子溶剂中的LiAlH4和RLi开始制备所述铝酸烷基锂的方法。本发明还涉及可使用受权利要求书保护的方法获得的根据通式Li[AlR4]的化合物及其用途。本发明还涉及铝酸烷基锂Li[AlR4]作为用于将至少一个基团R转移到元素卤化物或金属卤化物的转移试剂的用途,以及用于将至少一个基团R转移到化合物E(X)q以便制备根据通式E(X)q‑pRp的化合物的方法,其中E=铝、镓、铟、铊、锗、锡、铅、锑、铋、锌、镉、汞或磷,X=卤素,q=2、3或4,并且p=1、2、3或4。本发明还涉及可使用这种方法获得的化合物、其用途以及在一个表面上具有铝层或含铝层的衬底。
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公开(公告)号:CN112888656A
公开(公告)日:2021-06-01
申请号:CN201980066226.2
申请日:2019-09-05
Applicant: 优美科股份公司及两合公司
IPC: C01B21/082 , C01B21/087 , C07F11/00 , C07C211/65 , C07F7/00 , C07F9/00 , C23C16/18 , C23C16/30 , H01L21/02 , C07F5/06 , C07F7/28 , C07F9/06 , C07F9/68 , C07F9/90 , C07F9/94
Abstract: 本发明涉及一种用于制备二烷基酰氨基元素化合物的方法。具体地讲,本发明涉及一种用于制备E(NRR')X型二烷基酰氨基元素化合物的方法,其中首先使M[AlH4]与HNRR'反应以形成M[Al(NRR')4]和氢,然后使形成的M[Al(NRR')4]与EXx反应以便形成E(NRR')x和M[AlX4],其中M=Li、Na或K,R=CnH2n+1,其中n=1至20,并且其独立地R'=CnH2n+1,其中n=1至20,E为元素周期表第3至15族中的元素,X=F、Cl、Br或I,并且x=2、3、4或5。
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