公开(公告)号：CN102187277A

公开(公告)日：2011-09-14

申请号：CN200980140757.8

申请日：2009-10-15

申请人： 住友电木株式会社

发明人： 折原秀树 ,  番场敏夫

IPC分类号： G03F7/023 ,  C09D5/00 ,  C09D7/12 ,  C09D177/12 ,  C09D179/04 ,  C09D179/08 ,  C09D201/00 ,  H01L21/312 ,  H01L21/3205 ,  H01L23/12 ,  H01L23/52

CPC分类号： H01L21/76825 ,  C08G73/22 ,  C09D7/20 ,  C09D179/04 ,  C09D179/08 ,  G03F7/0048 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/16 ,  H01L21/02118 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/312 ,  H01L21/76831 ,  H01L21/76898

摘要： 本发明提供一种包含碱溶性树脂、光致产酸化合物和溶剂，并且粘度是0.5～200cP的喷涂用正型感光性树脂组合物。通过使用该正型感光性树脂组合物，可在具有高长宽比的孔的内面，形成均匀的涂膜。对所获得涂膜的规定区域进行曝光、显影而获得涂膜图案，将该涂膜图案作为绝缘膜或绝缘膜的图案形成用掩模使用，由此可抑制孔内部漏电流的产生，并且以良好的成品率形成贯通电极。

公开(公告)号：CN101765810A

公开(公告)日：2010-06-30

申请号：CN200880100464.2

申请日：2008-07-22

申请人： 住友电木株式会社

发明人： 番场敏夫 ,  折原秀树

IPC分类号： G03F7/023 ,  G03F7/004 ,  G03F7/16 ,  H01L21/027

CPC分类号： H01L21/02282 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/16 ,  H01L21/02118 ,  H01L21/0212 ,  H01L21/02126 ,  H01L21/3121 ,  H01L21/3122 ,  H01L21/3127

摘要： 在半导体元件搭载基板、陶瓷基板、铝基板等基板上喷涂喷涂用正型感光性树脂组合物而形成涂布膜时，前述涂布用正型感光性树脂组合物的特征在于，含有(A)碱溶性树脂、(B)通过光产生酸的化合物和(C)溶剂，并且，该涂布用正型感光性树脂组合物的粘度为2～200cP。

公开(公告)号：CN102187277B

公开(公告)日：2014-07-09

申请号：CN200980140757.8

申请日：2009-10-15

申请人： 住友电木株式会社

发明人： 折原秀树 ,  番场敏夫

IPC分类号： G03F7/023 ,  C09D5/00 ,  C09D7/12 ,  C09D177/12 ,  C09D179/04 ,  C09D179/08 ,  C09D201/00 ,  H01L21/312 ,  H01L21/3205 ,  H01L23/12 ,  H01L23/52

CPC分类号： H01L21/76825 ,  C08G73/22 ,  C09D7/20 ,  C09D179/04 ,  C09D179/08 ,  G03F7/0048 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/16 ,  H01L21/02118 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/312 ,  H01L21/76831 ,  H01L21/76898

摘要： 本发明提供一种包含碱溶性树脂、光致产酸化合物和溶剂，并且粘度是0.5～200cP的喷涂用正型感光性树脂组合物。通过使用该正型感光性树脂组合物，可在具有高长宽比的孔的内面，形成均匀的涂膜。对所获得涂膜的规定区域进行曝光、显影而获得涂膜图案，将该涂膜图案作为绝缘膜或绝缘膜的图案形成用掩模使用，由此可抑制孔内部漏电流的产生，并且以良好的成品率形成贯通电极。